特許6653703ホイルチャンバ内の搬送ガスを用いた気密性試験

発明の名称　ホイルチャンバ内の搬送ガスを用いた気密性試験

出願人　インフィコン　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング　（識別番号 500469855）

　　　　特許公開件数ランキング 1734 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2579 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6653703

公報発行日　2020年2月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6653703

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