特許6656480プラズマ処理装置および方法

発明の名称　プラズマ処理装置および方法

出願人　キヤノンアネルバ株式会社　（識別番号 227294）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3848 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6656480

公報発行日　2020年3月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6656480

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