特許 6657376 振動提示装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6657376

(24)【登録日】2020年2月7日

(45)【発行日】2020年3月4日

(54)【発明の名称】振動提示装置

(51)【国際特許分類】

   H04R 1/00 20060101AFI20200220BHJP

   H04R 17/00 20060101ALI20200220BHJP

   H04R 19/02 20060101ALI20200220BHJP

【ＦＩ】

   H04R1/00 310G

   H04R17/00

   H04R19/02

【請求項の数】17

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2018-508356(P2018-508356)

(86)(22)【出願日】2016年9月30日

(86)【国際出願番号】JP2016079018

(87)【国際公開番号】WO2017168793

(87)【国際公開日】20171005

【審査請求日】2019年6月5日

(31)【優先権主張番号】特願2016-64024(P2016-64024)

(32)【優先日】2016年3月28日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000219602

【氏名又は名称】住友理工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】特許業務法人 共立

(72)【発明者】

【氏名】中野 克彦

(72)【発明者】

【氏名】村瀬 貴範

【審査官】 大石 剛

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２００５／０９４１２１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１４−１９５１３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平５−１１５８４６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０４Ｒ １／００

Ｈ０４Ｒ １７／００

Ｈ０４Ｒ １９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第一電極、第二電極、及び、前記第一電極と前記第二電極の間に配置される誘電体又は圧電体を備える静電型又は圧電型のアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記第一電極側に配置される第一弾性体と、
前記アクチュエータの前記第二電極側に配置される第二弾性体と、
前記アクチュエータに対して前記第二弾性体を介して積層されるマスと、
前記マスにおける前記第二弾性体の反対側に配置される第三弾性体と、
前記アクチュエータ、前記第一弾性体、前記第二弾性体、前記マス及び前記第三弾性体により形成される積層体を積層方向に圧縮した状態で保持するカバーと、
を備え、
前記第一弾性体、前記第二弾性体及び前記第三弾性体の積層方向の弾性率は、前記アクチュエータの積層方向の弾性率より小さく設定され、
前記第一弾性体、前記第二弾性体及び前記第三弾性体は、前記アクチュエータより大きく圧縮された状態で保持される、振動提示装置。

【請求項2】

前記マスは、面状に形成される部分を有し、前記マスの前記面状の部分における面法線方向に前記アクチュエータに対して積層され、
前記マスは、前記アクチュエータの駆動によって前記面法線方向に振動する、請求項１に記載の振動提示装置。

【請求項3】

前記マスは、面状に形成される部分を有し、前記マスの前記面状の部分における面方向に前記アクチュエータに対して積層され、
前記マスは、前記アクチュエータの駆動によって前記面方向に振動する、請求項１に記載の振動提示装置。

【請求項4】

前記第一弾性体及び前記第二弾性体の損失係数ｔａｎδは、所定条件下において、前記アクチュエータの損失係数ｔａｎδと同等以下である、請求項１−３の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項5】

前記第三弾性体の弾性率は、前記第一弾性体及び前記第二弾性体の弾性率と同等に設定される、請求項１−４の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項6】

前記第三弾性体の損失係数ｔａｎδは、所定条件下において、前記第一弾性体及び前記第二弾性体の損失係数ｔａｎδ以下である、請求項１−５の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項7】

前記振動提示装置は、前記第一弾性体と前記カバーとの対向面間に配置され、前記アクチュエータと前記カバーの対向面積より小さな面積を有するプッシャーを備える、請求項１−６の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項8】

前記振動提示装置は、前記マスと前記第二弾性体との対向面間に、前記アクチュエータと前記マスの対向面積より小さな面積を有するプッシャーを備える、請求項１−６の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項9】

前記プッシャーは、前記アクチュエータの中央に対向する位置に配置される、請求項７又は８に記載の振動提示装置。

【請求項10】

前記プッシャーは、前記アクチュエータ側の面を球面凸状に形成される、請求項７−９の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項11】

前記第一弾性体及び前記第二弾性体は、エラストマーにより形成され、
前記第三弾性体は、金属バネにより形成される、請求項１−１０の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項12】

前記振動提示装置は、前記カバーにおける少なくとも前記積層体の積層方向に対向する２面の外側に積層される第四弾性体を備え、
前記振動提示装置は、前記積層体の積層方向に取付部材により挟まれた状態で保持され、
前記第四弾性体は、前記取付部材と前記カバーとの間で、前記第四弾性体の積層方向に圧縮された状態で保持される、請求項１−１１の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項13】

前記第四弾性体の積層方向の弾性率は、前記アクチュエータの積層方向の弾性率より小さく設定される、請求項１２に記載の振動提示装置。

【請求項14】

前記第四弾性体の損失係数ｔａｎδは、所定条件下において、前記アクチュエータの損失係数ｔａｎδと同等以下である、請求項１２又は１３に記載の振動提示装置。

【請求項15】

前記第四弾性体は、さらに、前記カバーにおける前記積層体の積層方向に交差する方向に対向する面の外側に配置される、請求項１２−１４の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項16】

前記カバーは、携帯端末の筐体であり、
前記マスは、前記携帯端末の構成部品である、請求項１−１１の何れか一項に記載の振動提示装置。

【請求項17】

前記取付部材は、携帯端末の筐体であり、
前記マスは、前記携帯端末の構成部品である、請求項１２−１５の何れか一項に記載の振動提示装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動提示装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

振動を提示（発生）する装置には、部材を振動させる装置（加振器）、音を発生する装置（スピーカ）などがある。部材を振動させる装置は、人間に触覚振動を付与する装置、構造物の制振のために構造物に逆位相の振動を付与する装置などである。音を発生する装置は、人間の聴覚にて感じる音波を発生する装置、ノイズ音をキャンセルするサウンドマスキング装置などである。

【0003】

例えば、振動を提示するアクチュエータとして、以下のように、エラストマーを用いた静電型アクチュエータが知られている。特表２０１３−５１９１５３号公報（図２Ａ−図２Ｃ）に記載の装置は、触覚振動を提示する装置であって、電極対とその間の誘電体とにより構成されるカートリッジ（静電型アクチュエータ）を２個以上積層された電気活性高分子アクチュエータと、電気活性高分子アクチュエータに固定されるマスとを備える。特表２０１４−５１９７９１号公報（図６−図８）に記載の装置は、静電型の電気活性ポリマアクチュエータと、当該アクチュエータに固定されるマスとを備え、可聴周波数帯域の機械的振動を発生させる。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明は、静電型又は圧電型のアクチュエータを用い、従来とは異なる構成からなる振動提示装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係る振動提示装置は、第一電極、第二電極、及び、前記第一電極と前記第二電極の間に配置される誘電体又は圧電体を備える静電型又は圧電型のアクチュエータと、前記アクチュエータの前記第一電極側に配置される第一弾性体と、前記アクチュエータの前記第二電極側に配置される第二弾性体と、前記アクチュエータに対して前記第二弾性体を介して積層されるマスと、前記マスにおける前記第二弾性体の反対側に配置される第三弾性体と、前記アクチュエータ、前記第一弾性体、前記第二弾性体、前記マス及び前記第三弾性体により形成される積層体を積層方向に圧縮した状態で保持するカバーとを備える。

【0006】

前記第一弾性体、前記第二弾性体及び前記第三弾性体の積層方向の弾性率は、前記アクチュエータの積層方向の弾性率より小さく設定される。そして、前記第一弾性体、前記第二弾性体及び前記第三弾性体は、前記アクチュエータより大きく圧縮された状態で保持される。

【0007】

つまり、積層体は、第一弾性体、アクチュエータ、第二弾性体、マス、第三弾性体の順で、積層されている。この積層体が、カバーによって、積層方向に圧縮されている。カバーによって積層体が保持された初期状態は、以下のようになる。

【0008】

第一弾性体、第二弾性体及び第三弾性体の積層方向の弾性率は、アクチュエータの積層方向の弾性率より小さい。従って、積層体がカバーにより圧縮された初期状態において、第一弾性体、第二弾性体及び第三弾性体がアクチュエータより大きく圧縮された状態となる。

【0009】

そして、アクチュエータの第一電極及び第二電極に電圧を印加すると、アクチュエータは、積層方向に伸縮する。アクチュエータの伸縮動作によって生じるアクチュエータの変位が、第二弾性体を介して、マスに伝達される。ただし、マスは、第三弾性体を介してカバーに支持されている。そのため、マスは、アクチュエータの変位に起因して、振動する。特に、アクチュエータ単体としては小さな振動であったとしても、マスは、アクチュエータが発生する振動を増幅することができる。

【0010】

加えて、アクチュエータの伸縮動作によって第一弾性体及び第二弾性体の弾性変形力が変化し、第一弾性体及び第二弾性体の弾性変形力の変化がマスに伝達される。従って、初期状態として、第一弾性体及び第二弾性体が圧縮されていることにより、マスに効率的に力を付与することができる。

【0011】

上記のようにマスが振動することによって、マスの振動が、第三弾性体を介してカバーに伝達される。従って、アクチュエータ単体による振動発生力が小さいとしても、カバーは、マスの振動によって大きく振動することができる。つまり、大きな振動を外部に発生することができる。

【0012】

さらに、アクチュエータの弾性率は、第一弾性体及び第二弾性体の弾性率より大きい。そのため、初期状態において、第一弾性体及び第二弾性体の圧縮量に比べて、アクチュエータの圧縮量は小さい。従って、カバーにより積層体を圧縮した状態であっても、圧縮力がアクチュエータの伸縮動作に与える影響は小さい。つまり、アクチュエータは、所望の振動を発生することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1A】第一実施形態の振動提示装置の断面図である。

【図1B】図１ＡにおけるI(B)-I(B)断面図である。

【図2】図１Ａの振動提示装置を構成するアクチュエータの詳細構成図である。

【図3A】アクチュエータが変化した状態の一態様を示す振動提示装置の断面図である。

【図3B】アクチュエータが変化した状態の他の態様を示す振動提示装置の断面図である。

【図4】第二実施形態の振動提示装置の断面図である。

【図5】第三実施形態の振動提示装置の断面図である。

【図6A】第四実施形態の振動提示装置の断面図である。

【図6B】図６ＡにおけるVI(B)-VI(B)断面図である。

【図7】第五実施形態の振動提示装置の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

＜１．第一実施形態＞
（１−１．振動提示装置１の用途）
振動提示装置１は、部材を振動させる装置（加振器）、音を発生する装置（スピーカ）に適用できる。部材を振動させる装置としては、例えば、人間に触覚振動を付与する装置、構造物の制振のために構造物に逆位相の振動を付与する装置などである。音を発生する装置としては、人間の聴覚にて感じる音波を発生する装置、ノイズ音をキャンセルするサウンドマスキング装置などである。

【0015】

加振装置が発生する振動は、相対的に低周波振動であり、音発生装置が発生する音は、相対的に高周波振動である。本実施形態の振動提示装置１は、バネマス系の振動を利用するため、低周波振動の加振器、及び、低周波音の発生器に適している。

【0016】

ただし、本実施形態の振動提示装置１は、人間に触覚振動を付与する装置を例に挙げて説明する。特に、振動提示装置１は、携帯端末に設けられ、当該携帯端末を携帯している人間に対して触覚振動を付与する装置である。携帯端末としては、例えば、腕時計、携帯電話（スマートフォンを含む）、タブレット端末、介護用の携帯振動発生器などである。なお、本実施形態の振動提示装置１は、腕時計を例に挙げて説明する。

【0017】

（１−２．振動提示装置１の構成）
振動提示装置１の構成について図１Ａ及び図１Ｂを参照して説明する。振動提示装置１は、腕時計の構成する部品である。つまり、振動提示装置１は、腕時計を装着している人間に対して、触覚振動を付与する。

【0018】

振動提示装置１は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、アクチュエータ１０、第一弾性体２０、第二弾性体３０、マス４０、第三弾性体５０、腕時計の筐体としてのカバー６０を備える。そして、カバー６０の内部において、第一弾性体２０、アクチュエータ１０、第二弾性体３０、マス４０、第三弾性体５０の順に積層されている。第一弾性体２０、アクチュエータ１０、第二弾性体３０、マス４０及び第三弾性体５０が、積層体を形成する。以下において、積層方向とは、カバー６０の内部における積層体１０−５０の積層方向を意味する。なお、図示しないが、腕時計の時計機能の構成部品が、カバー６０の内部に存在する。

【0019】

アクチュエータ１０は、静電型のアクチュエータ、又は、圧電型のアクチュエータである。アクチュエータ１０は、面状（扁平形状）に形成される。アクチュエータ１０の外形は、長方形として図示するが、任意の形状とすることができる。アクチュエータ１０の面方向が積層方向に直交する方向に一致するように、アクチュエータ１０は、カバー６０の内部に配置される。

【0020】

ここで、アクチュエータ１０は、弾性率Ｅ_（１０）を有すると共に、損失係数ｔａｎδ_（１０）を有する材料が用いられる。例えば、アクチュエータ１０が静電型の場合には、アクチュエータ１０はエラストマーにより形成されており、厚み方向に伸縮する構造を有する。アクチュエータ１０は、静電型の場合には、印加電圧に応じて厚みを変化させるように、伸縮変形する。そして、アクチュエータ１０は、静電型の場合には、後述する支持構造によって、積層方向の伸縮に伴い曲げ変形する。また、アクチュエータ１０は、圧電型の場合には、印加電圧に応じて、曲げ変形する。

【0021】

つまり、アクチュエータ１０は、静電型及び圧電型の何れの場合にも、印加電圧に応じて曲げ変形する。そして、アクチュエータ１０は、印加電圧に応じた曲げ変形によって、アクチュエータ１０は積層方向に力を発生する。なお、アクチュエータ１０の動作については後述する。

【0022】

第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、面状（扁平形状）に形成される。第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、同一材料により同一形状に形成される。ただし、第一弾性体２０と第二弾性体３０とは、異なる材料としてもよく、異なる形状としてもよい。また、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の外周縁形状は、アクチュエータ１０の外周縁形状と同一である。第一弾性体２０は、アクチュエータ１０の積層方向（厚み方向）の第一面（図１Ａ及び図１Ｂの下面）の全面に接触して配置される。第二弾性体３０は、アクチュエータ１０の積層方向の第二面（図１Ａ及び図１Ｂの上面）の全面に接触して配置される。なお、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、アクチュエータ１０の第一面及び第二面の一部に接触するようにしてもよい。

【0023】

第一弾性体２０及び第二弾性体３０には、小さな弾性率Ｅ_（２０），Ｅ_（３０）を有すると共に、小さな損失係数ｔａｎδ_（２０），ｔａｎδ_（３０）を有する材料が用いられる。言い換えると、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、柔らかく、且つ、減衰特性が低い材料が好適である。

【0024】

特に、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）より小さな弾性率Ｅ_（２０），Ｅ_（３０）を有する。アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）に対する第一弾性体２０の弾性率Ｅ_（２０）の比は、１５％以下である。また、アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）に対する第二弾性体３０の弾性率Ｅ_（３０）の比は、１５％以下である。これらの比は、好ましくは、１０％以下である。

【0025】

さらに、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、所定条件下において、アクチュエータ１０の損失係数ｔａｎδ_（１０）と同等以下の損失係数ｔａｎδ_（２０），ｔａｎδ_（３０）を有する。所定条件下とは、温度を−１０〜５０℃、振動周波数を３００Ｈｚ以下とする使用環境下を意味する。

【0026】

上記を満たす材料として、第一弾性体２０及び第二弾性体３０には、例えば、シリコーンゴムが好適である。例えば、ウレタンゴムは、シリコーンゴムに比べて減衰特性が良いため、第一弾性体２０及び第二弾性体３０には、ウレタンゴムはシリコーンゴムに比べてあまり適しない。ただし、目的の特性によっては、第一弾性体２０及び第二弾性体３０に、ウレタンゴムを使用することも可能である。

【0027】

マス４０は、面状（扁平形状）に形成される部分を有する。マス４０の面状の部分は、矩形状に形成される場合を図示するが、任意の形状とすることができる。マス４０は、マス４０の面状の部分における面法線方向に、アクチュエータ１０に対して第二弾性体３０を介して積層される。つまり、マス４０の面法線方向と、アクチュエータ１０の面法線方向とが、一致する。図１Ａ及び図１Ｂにおいて、マス４０は、第二弾性体３０の図１Ａ及び図１Ｂの上面に接触した状態で配置される。さらに、アクチュエータ１０の重心とマス４０の重心とが、アクチュエータ１０の面法線方向の１つの軸上に位置する。

【0028】

ここで、本実施形態においては、マス４０は、腕時計の制御基板４１を収容する部品である。つまり、マス４０は、制御基板４１と、制御基板４１を収容する筐体４２とにより構成される。制御基板４１は、時計機能を制御するための回路の他に、アクチュエータ１０を駆動するための駆動回路、及び、当該駆動回路に電力を供給するバッテリが含まれている。つまり、マス４０は、単なる材料の塊ではなく、腕時計の構成部品を兼用している。なお、マス４０は、単なる材料の塊としてもよい。また、マス４０は、面状の部分の他に、例えば、面状の部分から、アクチュエータ１０、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の周囲へ延びる部分を有するようにしてもよい。この場合、マス４０は、Ｕ字形状、又は、開口を有する箱形状に形成される。

【0029】

第三弾性体５０は、マス４０における第二弾性体３０とは反対側に配置され、マス４０の面をアクチュエータ１０側に付勢する。第三弾性体５０は、例えば、金属製又は樹脂製のバネである。第三弾性体５０は、板バネ、コイルバネ、皿バネなど種々のバネ、及び、エラストマーを適用できる。

【0030】

第三弾性体５０には、弾性率Ｅ_（５０）を有すると共に、損失係数ｔａｎδ_（５０）を有する材料が用いられる。第三弾性体５０の弾性率Ｅ_（５０）は、アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）より小さく設定されている。さらに、第三弾性体５０の弾性率Ｅ_（５０）は、第一弾性体２０の弾性率Ｅ_（２０）及び第二弾性体３０の弾性率Ｅ_（３０）と同等に設定される。

【0031】

ここで、「同等」とは、完全に同一である場合に限られず、僅かに異なる程度を含み意味である。第三弾性体５０の弾性率Ｅ_（５０）は、カバー６０に収容された初期状態（後述する）において第一弾性体２０及び第二弾性体３０が十分に圧縮変形される程度の弾性率であればよい。

【0032】

本実施形態においては、第三弾性体５０には、上記のような弾性率Ｅ_（５０）の条件を満たすように、板バネが好適である。図１Ａ及び図１Ｂに示すように、第三弾性体５０を構成する４個の板バネが、マス４０の上面を下方に付勢している。

【0033】

さらに、第三弾性体５０は、所定条件下において、アクチュエータ１０の損失係数ｔａｎδ_（１０）以下の損失係数ｔａｎδ_（５０）を有する。所定条件下とは、温度を−１０〜５０℃、振動周波数を３００Ｈｚ以下とする使用環境下を意味する。

【0034】

カバー６０は、腕時計の筐体を兼用する。カバー６０には、金属、樹脂など、種々の材料が適用される。カバー６０は、第一弾性体２０、アクチュエータ１０、第二弾性体３０、マス４０、第三弾性体５０の順で積層された積層体を積層方向に圧縮した状態で、当該積層体を内部に保持する。この状態において、各部材の弾性率Ｅの関係から、第一弾性体２０、第二弾性体３０及び第三弾性体５０が、アクチュエータ１０より大きく圧縮された状態となる。

【0035】

（１−３．アクチュエータ１０の詳細構成）
アクチュエータ１０の詳細構成について、図２を参照して説明する。ここで、図２の上下方向と、図１Ａ及び図１Ｂの上下方向とは、共通する。図２に示すように、アクチュエータ１０は、第一電極１１、第二電極１２、誘電層１３、第一絶縁層１４及び第二絶縁層１５を備え、これらは全て面状（扁平形状）に形成される。アクチュエータ１０は、第一絶縁層１４、第一電極１１、誘電層１３、第二電極１２、第二絶縁層１５の順に積層されて構成されている。アクチュエータ１０の層１１−１５は、積層体１０−５０の積層方向に積層されている。

【0036】

アクチュエータ１０は、材質が異なるが静電型、圧電型の何れ場合にも、各層１１−１５により構成される。アクチュエータ１０全体としての厚み方向（上述した層１１−１５の積層方向に等しい）の弾性率は、Ｅ_（１０）である。また、アクチュエータ１０全体としての損失係数ｔａｎδは、ｔａｎδ_（１０）である。

【0037】

第一電極１１と第二電極１２は、アクチュエータ１０の厚み方向に距離を隔てて対向して配置される。第一電極１１には、制御基板４１に含まれるアクチュエータ１０の駆動回路によって、周期的な電圧を供給する一方の端子が接続される。第二電極１２には、周期的な電圧を供給する他方の端子が接続される。

【0038】

誘電層１３が、第一電極１１と第二電極１２との間に挟まれる。誘電層１３には、アクチュエータ１０が静電型の場合には、誘電体が適用される。一方、誘電層１３は、アクチュエータ１０が圧電型の場合には、圧電体が適用される。本実施形態においては、誘電体と圧電体を総称する意味として、誘電層の表現を用いる。

【0039】

また、第一絶縁層１４は、第一電極１１のうち誘電層１３とは反対の面に接触して配置され、第一電極１１を被覆する。第二絶縁層１５は、第二電極１２のうち誘電層１３とは反対の面に接触して配置され、第二電極１２を被覆する。

【0040】

つまり、図１Ａ−図２に示すように、第一弾性体２０は、アクチュエータ１０における第一電極１１側の面、すなわち第一絶縁層１４に接触した状態となる。一方、第二弾性体３０は、アクチュエータ１０における第二電極１２側の面、すなわち第二絶縁層１５に接触した状態となる。

【0041】

アクチュエータ１０が静電型の場合には、各層１１−１５は、以下のように形成される。第一電極１１及び第二電極１２は、同形状に形成され、エラストマー中に導電性フィラーを配合させることにより成形する。そして、第一電極１１及び第二電極１２は、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。第一電極１１及び第二電極１２を構成するエラストマーには、例えば、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合ゴム、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴムなどが適用できる。また、第一電極１１及び第二電極１２に配合される導電性フィラーは、導電性を有する粒子であればよく、例えば、炭素材料や金属等の微粒子を適用できる。

【0042】

誘電層１３、第一絶縁層１４及び第二絶縁層１５は、いずれもエラストマーにより成形される。そして、誘電層１３、第一絶縁層１４及び第二絶縁層１５は、可撓性を有し且つ伸縮自在な性質を有する。誘電層１３には、静電型のアクチュエータ１０として誘電層として機能する材料が適用される。特に、誘電層１３が、アクチュエータ１０を構成する部材の中で最も厚みが厚く形成され、厚み方向の伸縮及び扁平面方向の伸縮を可能とする。また、第一絶縁層１４及び第二絶縁層１５には、絶縁性を有する材料が適用される。

【0043】

誘電層１３、第一絶縁層１４及び第二絶縁層１５を構成するエラストマーには、例えば、シリコーンゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合ゴム、アクリルゴム、エピクロロヒドリンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、ウレタンゴムなどが適用できる。

【0044】

（１−４．振動提示装置１の動作）
次に、振動提示装置１の動作について、図２、図３Ａ及び図３Ｂを参照して説明する。振動提示装置１の動作について、（ａ）アクチュエータ１０によってマス４０を振動させる動作、（ｂ）マス４０の振動によってカバー６０を振動させる動作とに分けて説明する。

【0045】

（１−４−１．マス４０の振動動作）
アクチュエータ１０によってマス４０が振動する動作について、図２、図３Ａ及び図３Ｂを参照して説明する。第一電極１１及び第二電極１２に周期的な電圧が印加される。ここで、周期的な電圧は、交流電圧（正負を含む周期的な電圧）としてもよいし、正値にオフセットされた周期的な電圧としてもよい。

【0046】

そして、第一電極１１と第二電極１２に蓄積される電荷が増加すると、誘電層１３が圧縮変形する。つまり、図２に示すように、アクチュエータ１０の厚みが小さくなり、アクチュエータ１０の面方向の大きさ（幅及び奥行き）が大きくなる。反対に、第一電極１１及び第二電極１２に蓄積される電荷が減少すると、誘電層１３が元の厚みに戻る。つまり、図２に示すように、アクチュエータ１０の厚みが大きくなり、アクチュエータ１０の面方向の大きさが小さくなる。このように、アクチュエータ１０は、厚み方向に伸縮すると共に、面方向に伸縮する。

【0047】

アクチュエータ１０が伸縮動作を行うときに、振動提示装置１は、以下のように動作する。振動提示装置１は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、第一弾性体２０及び第二弾性体３０が圧縮された状態を初期状態とする。従って、電荷の増加によってアクチュエータ１０の厚みが小さくなると、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、初期状態に対して圧縮量が小さくなるように変形する。反対に、電荷の減少によってアクチュエータ１０の厚みが大きくなると、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は初期状態に戻るように動作する。つまり、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、電荷の増加の場合に比べて、圧縮量が大きくなるように変形する。

【0048】

印加電圧は周期的に変化するため、上記動作が繰り返される。そうすると、図３Ａに示すようにアクチュエータ１０の中央がマス４０側に凹となる状態と、図３Ｂに示すようにアクチュエータ１０の中央がマス４０側に凸となる状態とを繰り返すことになる。アクチュエータ１０は、第一弾性体２０及び第二弾性体３０を介してマス４０及びカバー６０によって規制されているために、上記動作となる。

【0049】

アクチュエータ１０の上記変形動作に伴って、アクチュエータ１０の第二絶縁層１５側の面の変位が、第二弾性体３０を介して、マス４０に伝達される。加えて、アクチュエータ１０の伸縮動作によって第二弾性体３０の弾性変形力が変化する。第二弾性体３０の弾性変形力の変化が、マス４０に伝達される。従って、初期状態として、第一弾性体２０及び第二弾性体３０が圧縮されていることにより、マス４０に効率的に振動が付与される。つまり、アクチュエータ１０単体としては小さな振動であっても、マス４０は、マス４０の面法線方向に大きな振動を発生する。

【0050】

ここで、仮に、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の損失係数ｔａｎδ_（２０），ｔａｎδ_（３０）が非常に大きいとすると、アクチュエータ１０が伸縮動作を行ったとしても、第一弾性体２０及び第二弾性体３０によって振動が吸収されてしまう。この場合、アクチュエータ１０が伸縮動作を行ったとしても、アクチュエータ１０の振動がマス４０に伝達されにくい。

【0051】

しかし、本実施形態においては、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、損失係数ｔａｎδ_（２０），ｔａｎδ_（３０）の小さな材料を用いる。従って、アクチュエータ１０の伸縮動作による振動が、第一弾性体２０及び第二弾性体３０にほとんど吸収されることなく、マス４０に伝達される。

【0052】

さらに、第一弾性体２０、第二弾性体３０及び第三弾性体５０の弾性率Ｅ_（１０），Ｅ_（２０），Ｅ_（５０）は、アクチュエータ１０の厚み方向の弾性率Ｅ_（１０）より小さい。そのため、第一電極１１及び第二電極１２に電圧を印加していない初期状態において、アクチュエータ１０はほとんど圧縮されていない状態となる。従って、マス４０とカバー６０がアクチュエータ１０を押圧したとしても、アクチュエータ１０の伸縮動作に影響を与えることはない。つまり、アクチュエータ１０は確実に伸縮動作を行うことができる。

【0053】

（１−４−２．カバー６０の振動動作）
次に、マス４０の振動によってカバー６０が振動する動作について説明する。マス４０は、第三弾性体５０を介してカバー６０に支持されている。つまり、マス４０と第三弾性体５０とが、バネマス系を構成する。そのため、マス４０の振動周波数が、マス４０と第三弾性体５０によるバネマス系の共振周波数付近になると、非常に大きな振動を発生する。

【0054】

マス４０の振動が、第三弾性体５０を介してカバー６０に伝達される。ここで、第三弾性体５０は、初期状態においてカバー６０により圧縮されている。従って、マス４０の振動が初期状態付近の振動であっても、マス４０の振動がカバー６０に確実に伝達される。

【0055】

ここで、仮に、第三弾性体５０の損失係数ｔａｎδ_（５０）が非常に大きいとすると、マス４０が振動したとしても、第三弾性体５０によって振動が吸収されてしまう。この場合、マス４０が振動したとしても、マス４０の振動がカバー６０に伝達されにくくなる。しかし、本実施形態においては、第三弾性体５０は、損失係数ｔａｎδ_（５０）の小さな材料を用いる。従って、マス４０の振動が、第三弾性体５０にほとんど吸収されることなく、カバー６０に伝達される。

【0056】

そして、第三弾性体５０の損失係数ｔａｎδ_（５０）は、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の損失係数ｔａｎδ_（２０），ｔａｎδ_（３０）以下である。このことからも、マス４０の振動が、第三弾性体５０を介して、カバー６０に確実に伝達される。

【0057】

＜２．第二実施形態＞
第二実施形態の振動提示装置２について、図４を参照して説明する。振動提示装置２は、第一実施形態の振動提示装置１に対して、プッシャー２７０を備える点が相違する。両者の同一構成については、同一符号を付して説明を省略する。

【0058】

プッシャー２７０は、カバー６０と第一弾性体２０との対向面間に配置される。第二実施形態においては、プッシャー２７０は、カバー６０に固定されており、第一弾性体２０に対しては接触した状態となる。プッシャー２７０は、金属、樹脂などの硬質の材料であればよく、種々の材料により形成される。

【0059】

さらに、プッシャー２７０における第一弾性体２０との接触面積は、アクチュエータ１０とカバー６０との対向面積に比べて小さな面積を有する。第二実施形態においては、プッシャー２７０におけるアクチュエータ１０側は、球面凸状に形成される。従って、プッシャー２７０と第一弾性体２０との接触面積は、アクチュエータ１０とカバー６０との対向面積に比べて、極めて小さい。さらに、プッシャー２７０は、アクチュエータ１０の中央に対向する位置に配置されている。

【0060】

ここで、第二弾性体３０はマス４０に接着されている。従って、アクチュエータ１０は、第二弾性体３０を介してマス４０に規制された状態で支持されている。そのため、アクチュエータ１０は、第一実施形態にて説明したように、マス４０側に凸となる状態と凹となる状態とを確実に繰り返す。つまり、アクチュエータ１０の中央が最も振幅が大きくなる。プッシャー２７０がアクチュエータ１０の中央の一部分に対向する位置に配置されることで、アクチュエータ１０の振動がマス４０に効果的に伝達される。その結果、カバー６０は効果的に振動する。

【0061】

＜３．第三実施形態＞
第三実施形態の振動提示装置３について、図５を参照して説明する。振動提示装置３は、第二実施形態の振動提示装置２に対して、プッシャー３７０の位置が相違すると共に、カバー３６０が制御基板３６１を備える点が相違する。両者の同一構成については、同一符号を付して説明を省略する。

【0062】

プッシャー３７０は、マス４０と第二弾性体３０との対向面間に配置される。第三実施形態においては、プッシャー３７０は、マス４０に固定されており、第二弾性体３０に対しては接触した状態となる。プッシャー３７０は、金属、樹脂などの硬質の材料であればよく、種々の材料により形成される。

【0063】

さらに、プッシャー３７０における第二弾性体３０との接触面積は、アクチュエータ１０とマス４０との対向面積に比べて小さな面積を有する。第三実施形態においては、プッシャー３７０におけるアクチュエータ１０側は、球面凸状に形成される。従って、プッシャー３７０と第二弾性体３０との接触面積は、アクチュエータ１０とマス４０との対向面積に比べて、極めて小さい。さらに、プッシャー３７０は、アクチュエータ１０の中央に対向する位置に配置されている。

【0064】

また、第一弾性体２０はカバー３６０に接着されている。従って、アクチュエータ１０は、第一弾性体２０を介してカバー３６０に規制された状態で支持されている。そのため、アクチュエータ１０は、第一実施形態にて説明したように、マス４０側に凸となる状態と凹となる状態とを確実に繰り返す。この場合にも、第二実施形態と同様に、アクチュエータ１０の振動がマス４０に効果的に伝達され、その結果、カバー３６０が効果的に振動する。

【0065】

カバー３６０は、制御基板３６１を内蔵する。つまり、制御基板３６１とアクチュエータ１０とは、電気的な接続が必要となる。プッシャー３７０と第二弾性体３０との接触面積は非常に小さい。そのため、プッシャー３７０の部分に、アクチュエータ１０と制御基板３６１とを接続する配線を設置するのは容易でない。そこで、アクチュエータ１０と制御基板３６１との間にプッシャー３７０が介在しないように、制御基板３６１をカバー３６０に配置することとした。これにより、制御基板３６１とアクチュエータ１０との電気的な接続が容易となる。

【0066】

この場合、マス４０は、制御基板４１（図１Ａに示す）を備えないため、単なる材料の塊としてもよい。ただし、本実施形態において、制御基板３６１は、カバー３６０に設けることとしたが、電気的な接続ができれば、第一実施形態と同様に、マス４０に制御基板４１を配置するようにしてもよい。

【0067】

＜４．第四実施形態＞
第四実施形態の振動提示装置４について図６Ａ及び図６Ｂを参照して説明する。振動提示装置４は、第一実施形態の振動提示装置１に対して、マス４４０の向きが相違すると共に、カバー４６０の形状が相違する。

【0068】

マス４４０は、面状に形成される部分を有し、マス４４０の面状の部分における面方向にアクチュエータ１０に対して積層されている。また、アクチュエータ１０、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、マス４４０の厚み方向に対応する形状に形成されている。さらに、第三弾性体５０は、マス４４０の厚み方向の面を付勢する。そのため、第四実施形態においては、第三弾性体５０を構成する２個の板バネが、マス４０の上面を下方に付勢している。カバー４６０は、マス４４０の面状の部分における面方向に対応するような扁平形状に形成される。この場合、マス４４０は、アクチュエータ１０の駆動によって、面方向（図６Ａの上下方向）に振動する。

【0069】

＜５．第五実施形態＞
第五実施形態の振動提示装置５について図７を参照して説明する。振動提示装置５は、第一実施形態の振動提示装置１に対して、第四弾性体５８０をさらに備える点が相違する。さらに、振動提示装置５は、取付部材６，７に固定される。そこで、本実施形態においては、カバー６０に代えて取付部材６，７が、例えば、携帯端末の一例としての腕時計の筐体の一部を構成する。振動提示装置５において、第一実施形態の振動提示装置１と同一構成については、同一符号を付して説明を省略する。

【0070】

第四弾性体５８０は、カバー６０の外面を被覆する。つまり、第四弾性体５８０は、積層面部５８０ａ，５８０ｂと、積層方向に交差する方向に対向する面の外側に配置される非積層面部５８０ｃ，５８０ｄとを備える。

【0071】

第四弾性体５８０は、小さな弾性率Ｅ_{（５８０）}を有すると共に、小さな損失係数ｔａｎδ_{（５８０）}を有する材料が用いられる。言い換えると、第四弾性体５８０は、柔らかく、且つ、減衰特性が低い材料が好適である。特に、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ、５８０ｂの積層方向の弾性率Ｅ_{（５８０）}は、アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）より小さく設定される。アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）に対する第四弾性体５８０の一方の積層面部５８０ａの弾性率Ｅ_{（５８０）}の比は、１５％以下である。また、アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）に対する第四弾性体５８０の他方の積層面部５８０ｂの弾性率Ｅ_{（５８０）}の比は、１５％以下である。これらの比は、好ましくは、１０％以下である。

【0072】

さらに、第四弾性体５８０の損失係数ｔａｎδ_{（５８０）}は、所定条件下において、アクチュエータ１０の損失係数ｔａｎδ_（１０）と同等以下である。所定条件下とは、温度を−１０〜５０℃、振動周波数を３００Ｈｚ以下とする使用環境下を意味する。

【0073】

上記を満たす材料として、第四弾性体５８０には、例えば、シリコーンゴムが好適である。例えば、ウレタンゴムは、シリコーンゴムに比べて減衰特性が良いため、第四弾性体５８０には、ウレタンゴムはシリコーンゴムに比べてあまり適しない。ただし、目的の特性によっては、第四弾性体５８０に、ウレタンゴムを使用することも可能である。なお、本実施形態においては、第四弾性体５８０は、第一弾性体２０及び第二弾性体３０と同一の材料により形成されている。

【0074】

振動提示装置５は、第一取付部材６及び第二取付部材７に挟まれた状態で保持されている。第一取付部材６及び第二取付部材７は、例えば、樹脂又は金属などにより形成される。ここで、第一取付部材６は、平面状の取付面を有している。第一取付部材６の取付面には、第四弾性体５８０の積層面部５８０ｂが接触した状態で設けられる。

【0075】

第二取付部材７は、振動提示装置５を第一取付部材６に押さえる部材として機能する。第二取付部材７は、鍵状に形成されている。第二取付部材７は、第一取付部材６に接地される固定部７ａ、固定部７ａから立設される立設部７ｂ、立設部７ｂから屈曲形成された挟持部７ｃ、及び、挟持部７ｃから屈曲形成された引っ掛け端部７ｄを備える。

【0076】

固定部７ａは、ボルト８により、第一取付部材６に固定される。立設部７ｂには、振動提示装置５の第四弾性体５８０の非積層面部５８０ｃが接触した状態で設けられる。挟持部７ｃは、第一取付部材６の取付面に対向する。挟持部７ｃは、振動提示装置５の第四弾性体５８０の積層面部５８０ａが接触した状態とされる。つまり、振動提示装置５は、第一取付部材６と挟持部７ｃとにより、積層体１０−５０の積層方向に挟まれた状態で保持する。ここで、立設部７ｂの長さは、振動提示装置５における積層方向の幅より僅かに短い。そのため、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ，５８０ｂが、取付部材６，７とカバー６０との間で、積層面部５８０ａ，５８０ｂの積層方向に圧縮された状態で保持される。

【0077】

引っ掛け端部７ｄは、立設部７ｂに対向する。引っ掛け端部７ｄには、第四弾性体５８０の非積層面部５８０ｄの一部が接触した状態で設けられる。ここで、挟持部７ｃの長さは、振動提示装置５における積層方向に直交する方向の幅より僅かに短い。そのため、第四弾性体５８０の非積層面部５８０ｃ，５８０ｄが、立設部７ｂとカバー６０との間、及び、引っ掛け端部７ｄとカバー６０との間で、圧縮された状態で保持される。

【0078】

上述したように、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ，５８０ｂが圧縮された状態で、振動提示装置５は、取付部材６，７に挟まれた状態で保持されている。つまり、カバー６０の振動は、第四弾性体５８０を介して取付部材６，７に伝達される。第四弾性体５８０の存在により、振動提示装置５の振動の共振周波数は、第四弾性体５８０が存在しない場合に比べて、より低周波となる。従って、取付部材６，７の振幅が小さいとしても、低周波であることにより、人間は触覚振動を感じやすくなる。また、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ，５８０ｂ及び非積層面部５８０ｃ，５８０ｄが圧縮された状態で、取付部材６，７に保持されている。従って、振動提示装置５を取付部材６，７に取り付けたときに、振動提示装置５の保持状態が安定する。

【0079】

なお、第五実施形態の振動提示装置５の一部は、第一実施形態の振動提示装置１を用いたが、第二実施形態−第四実施形態の振動提示装置２−４を用いることもできる。また、取付部材６，７は、上記構成に限られず、種々の構成を適用することができる。

【0080】

＜５．実施形態の効果＞
第一実施形態−第五実施形態の振動提示装置１−５は、第一電極１１、第二電極１２、及び、第一電極１１と第二電極１２の間に配置される誘電体又は圧電体を備える静電型又は圧電型のアクチュエータ１０と、アクチュエータ１０の第一電極１１側に配置される第一弾性体２０と、アクチュエータ１０の第二電極１２側に配置される第二弾性体３０と、アクチュエータ１０に対して第二弾性体３０を介して積層されるマス４０，４４０と、マス４０，４４０における第二弾性体３０の反対側に配置される第三弾性体５０と、アクチュエータ１０、第一弾性体２０、第二弾性体３０、マス４０，４４０及び第三弾性体５０により形成される積層体を積層方向に圧縮した状態で保持するカバー６０，３６０，４６０とを備える。

【0081】

つまり、第一弾性体２０、アクチュエータ１０、第二弾性体３０、マス４０，４４０、第三弾性体５０の順で、積層されている。この積層体が、カバー６０，３６０，４６０によって、積層方向に圧縮されている。カバー６０，３６０，４６０によって積層体が保持された初期状態は、以下のようになる。

【0082】

第一弾性体２０、第二弾性体３０及び第三弾性体５０の積層方向の弾性率Ｅ_（２０），Ｅ_（３０），Ｅ_（５０）は、アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）より小さく設定されている。従って、積層体がカバー６０，３６０，４６０により圧縮された初期状態において、第一弾性体２０、第二弾性体３０及び第三弾性体５０がアクチュエータ１０より大きく圧縮された状態となる。

【0083】

そして、アクチュエータ１０の第一電極１１及び第二電極１２に電圧を印加すると、アクチュエータ１０は、積層方向に伸縮する。アクチュエータ１０の伸縮動作によって生じるアクチュエータ１０の変位が、第二弾性体３０を介して、マス４０，４４０に伝達される。ただし、マス４０，４４０は、第三弾性体５０によってカバー６０，３６０，４６０に支持されている。そのため、マス４０，４４０は、アクチュエータ１０の変位に起因して、振動する。特に、アクチュエータ１０単体としては小さな振動であったとしても、マス４０，４４０によって、発生する振動を増幅することができる。

【0084】

加えて、アクチュエータ１０の伸縮動作によって第一弾性体２０及び第二弾性体３０の弾性変形力が変化し、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の弾性変形力の変化がマス４０，４４０に伝達される。従って、初期状態として、第一弾性体２０及び第二弾性体３０が圧縮されていることにより、マス４０，４４０に効率的に力を付与することができる。

【0085】

上記のようにマス４０，４４０が振動することによって、第三弾性体５０を介してカバー６０，３６０，４６０に伝達される。従って、アクチュエータ１０単体による振動発生力が小さいとしても、カバー６０，３６０，４６０は、マス４０，４４０の振動によって大きく振動することができる。つまり、大きな振動を外部に発生することができる。

【0086】

さらに、アクチュエータ１０の弾性率Ｅ_（１０）は、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の弾性率Ｅ_（２０），Ｅ_（３０）より大きい。そのため、初期状態において、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の圧縮量に比べて、アクチュエータ１０の圧縮量は小さい。従って、カバー６０，３６０，４６０により積層体を圧縮した状態であっても、圧縮力がアクチュエータ１０の伸縮動作に与える影響は小さい。つまり、アクチュエータ１０は、所望の振動を発生することができる。

【0087】

また、第一実施形態−第三実施形態，第五実施形態の振動提示装置１−３，５においては、マス４０は、面状に形成される部分を有し、マス４０の面状の部分における面法線方向にアクチュエータ１０に対して積層されている。そして、マス４０は、アクチュエータ１０の駆動によって、マス４０の面状の部分の面法線方向に振動する。つまり、振動提示装置１−３，５は、面状の部材の積層体により構成される。さらに、個々の構成部品の厚みを薄くすることで、振動提示装置１−３，５は、全体として扁平形状に形成できる。すなわち、カバー６０，３６０は、扁平形状に形成できる。従って、振動提示装置１−３，５は、種々の装置に対する搭載自由度を高くできる。

【0088】

また、第四実施形態の振動提示装置４においては、マス４４０は、面状に形成される部分を有し、マス４４０の面状の部分における面方向にアクチュエータ１０に対して積層されている。そして、マス４４０は、アクチュエータ１０の駆動によって、マス４４０の面状の部分の面方向に振動する。つまり、振動提示装置４は、マス４４０の面状の部分の厚みの範囲内で、アクチュエータ１０、第一弾性体２０、第二弾性体３０及び第三弾性体５０を配置することで、振動提示装置４は、全体として扁平形状に形成できる。すなわち、カバー４６０は、扁平形状に形成できる。従って、振動提示装置４は、種々の装置に対する搭載自由度を高くできる。

【0089】

また、第一実施形態−第五実施形態の振動提示装置１−５において、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の損失係数ｔａｎδ_（２０），ｔａｎδ_（３０）は、所定条件下において、アクチュエータ１０の損失係数ｔａｎδ_（１０）と同等以下としている。従って、アクチュエータ１０の変形動作による振動が、第一弾性体２０及び第二弾性体３０にほとんど吸収されることなく、マス４０に確実に伝達される。その結果、確実に、カバー６０，３６０，４６０を振動させることができる。

【0090】

また、第一実施形態−第五実施形態の振動提示装置１−５において、第三弾性体５０の弾性率Ｅ_（５０）は、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の弾性率Ｅ_（１０），Ｅ_（２０）と同等に設定される。これにより、初期状態において、第一弾性体２０、第二弾性体３０及び第三弾性体５０が、確実に、圧縮変形した状態にできる。

【0091】

また、第一実施形態−第五実施形態の振動提示装置１−５において、第三弾性体５０の損失係数ｔａｎδ_（５０）は、所定条件下において、第一弾性体２０及び第二弾性体３０の損失係数ｔａｎδ_（２０），ｔａｎδ_（３０）以下としている。これにより、マス４０の振動が、第三弾性体５０を介して、カバー６０に確実に伝達される。

【0092】

また、第二実施形態の振動提示装置２は、第一弾性体２０とカバー６０との対向面間に配置され、アクチュエータ１０とカバー６０の対向面積より小さな面積を有するプッシャー２７０を備える。また、第三実施形態の振動提示装置３は、マス４０と第二弾性体３０との対向面間に配置され、アクチュエータ１０とマス４０の対向面積より小さな面積を有するプッシャー３７０を備える。これにより、アクチュエータ１０の振動を、マス４０に効果的に伝達できる。その結果、カバー６０は、効果的に振動できる。

【0093】

プッシャー２７０，３７０は、アクチュエータ１０の中央に対向する位置に配置されている。アクチュエータ１０の中央が最も振幅が大きくなる。プッシャー２７０，３７０がアクチュエータ１０の中央の一部分に対向する位置に配置されることで、アクチュエータ１０の振動がマス４０に効果的に伝達される。

【0094】

また、プッシャー２７０，３７０は、アクチュエータ１０側の面を球面凸状に形成されている。これにより、プッシャー２７０，３７０とアクチュエータ１０側と接触する面積が非常に小さくなる。従って、アクチュエータ１０の振動を、マス４０に確実に伝達できる。

【0095】

また、第一実施形態−第五実施形態の振動提示装置１−５において、第一弾性体２０及び第二弾性体３０は、エラストマーにより形成され、第三弾性体５０は、金属バネにより形成されている。これにより、第一弾性体２０、第二弾性体３０及び第三弾性体５０は、所望の弾性率及び損失係数ｔａｎδの材料を確実に且つ容易に選択できる。

【0096】

第五実施形態の振動提示装置５は、カバー６０における少なくとも積層体１０−５０の積層方向に対向する２面の外側に積層される第四弾性体５８０を備える。さらに、振動提示装置５は、積層体１０−５０の積層方向に取付部材６，７により挟まれた状態で保持される。そして、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ，５８０ｂは、取付部材６，７とカバー６０との間で、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ，５８０ｂの積層方向に圧縮された状態で保持される。つまり、カバー６０の振動は、第四弾性体５８０を介して取付部材６，７に伝達される。そして、第四弾性体５８０の存在により、振動提示装置５の振動の共振周波数は、第四弾性体５８０が存在しない場合に比べて、より低周波となる。従って、取付部材６，７の振幅が小さいとしても、低周波であることにより、人間が認識可能な触覚振動が発生される。さらに、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ，５８０ｂを介して取付部材６，７に取り付けられることで、振動提示装置５の保持状態が安定する。

【0097】

特に、第四弾性体５８０の積層方向の弾性率Ｅ_{（５８０）}は、アクチュエータ１０の積層方向の弾性率Ｅ_（１０）より小さく設定される。当然に、第四弾性体５８０の積層方向の弾性率Ｅ_{（５８０）}は、カバー６０の弾性率より小さく設定される。そのため、第四弾性体５８０の積層面部５８０ａ，５８０ｂは、確実に圧縮された状態となる。

【0098】

さらに、第四弾性体５８０の損失係数ｔａｎδ_{（５８０）}は、所定条件下において、アクチュエータ１０の損失係数ｔａｎδ_（１０）と同等以下である。従って、アクチュエータ１０の変形動作に伴うカバー６０の振動が、第四弾性体５８０にほとんど吸収されることなく、取付部材６，７に確実に伝達される。その結果、確実に、取付部材６，７を振動させることができる。

【0099】

また、第四弾性体５８０の非積層面部５８０ｃ，５８０ｄは、カバー６０における積層体１０−５０の積層方向に交差する方向に対向する面の外側に配置される。これにより、振動提示装置５が、取付部材６，７に、より安定して保持される。なお、振動提示装置５は、第四弾性体５８０の非積層面部５８０ｃ，５８０ｄを有しない構成でもよい。この場合にも、振動提示装置５は、積層面部５８０ａ，５８０ｂによる効果を奏することができる。

【0100】

また、第一実施形態，第二実施形態，第四実施形態の振動提示装置１，２，４において、カバー６０，４６０は、携帯端末の筐体であって、マス４０，４４０は、携帯端末の構成部品としている。また、第五実施形態の振動提示装置５において、取付部材６，７は、携帯端末の筐体であって、マス４０は、携帯端末の構成部品としている。これらにおいては、携帯端末の構成部品をマス４０，４４０として兼用することができ、専用のマスを設置する必要がない。

【符号の説明】

【0101】

１，２，３，４，５：振動提示装置、 ６，７：取付部材、 １０：アクチュエータ、 １１：第一電極、 １２：第二電極、 １３：誘電層（誘電体、圧電体）、 １４：第一絶縁層、 １５：第二絶縁層、 ２０：第一弾性体、 ３０：第二弾性体、 ４０，４４０：マス、 ４１，３６１：制御基板、 ５０：第三弾性体、 ６０，３６０，４６０：カバー、 ２７０，３７０：プッシャー、 ５８０：第四弾性体、 Ｅ：弾性率、 ｔａｎδ：損失係数

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図7】