特許6659422塗布装置、マスクブランクの製造方法

発明の名称　塗布装置、マスクブランクの製造方法

出願人　アルバック成膜株式会社　（識別番号 101710）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6659422

公報発行日　2020年3月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6659422

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