特許6660176真空ポンプ及びそれに使用される分割静翼部

発明の名称　真空ポンプ及びそれに使用される分割静翼部

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1000 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1020 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6660176

公報発行日　2020年3月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6660176

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