特許6663823プラズマ光源

発明の名称　プラズマ光源

出願人　株式会社ＩＨＩ　（識別番号 99）

　　　　特許公開件数ランキング 334 位（97件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 171 位（168件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人東京工業大学　（識別番号 304021417）

　　　　特許公開件数ランキング 346 位（156件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 357 位（149件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6663823

公報発行日　2020年3月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6663823

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