特許6670246エッジ領域で支持された基板の変形を防止する方法及び装置

発明の名称　エッジ領域で支持された基板の変形を防止する方法及び装置

出願人　ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング　（識別番号 591004412）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9051 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6670246

公報発行日　2020年3月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6670246

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