特許6670487誘導結合プラズマ源用のコネクタアセンブリ

発明の名称　誘導結合プラズマ源用のコネクタアセンブリ

出願人　アジレント・テクノロジーズ・インク　（識別番号 399117121）

　　　　特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6670487

公報発行日　2020年3月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6670487

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