特許 6670528 破損検出機能付き位置決め装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6670528

(24)【登録日】2020年3月4日

(45)【発行日】2020年3月25日

(54)【発明の名称】破損検出機能付き位置決め装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 3/06 20060101AFI20200316BHJP

   B23Q 3/18 20060101ALI20200316BHJP

【ＦＩ】

   B23Q3/06 304K

   B23Q3/18 B

   B23Q3/06 304F

【請求項の数】4

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2016-17519(P2016-17519)

(22)【出願日】2016年1月14日

(65)【公開番号】特開2017-124482(P2017-124482A)

(43)【公開日】2017年7月20日

【審査請求日】2018年9月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】391003989

【氏名又は名称】株式会社コスメック

(72)【発明者】

【氏名】梶 健太

【審査官】 中川 康文

(56)【参考文献】

【文献】 特開昭６２−１９９３４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０３−００７４４８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００５−０５９１２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００５／０１４２２５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２００５／０３０４３５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００６／０２７３５０４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／０００１３６０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１４／００２６８４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１５／０１５１３９４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１５／０１６５５７５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２３Ｑ ３／００−３／１５４

Ｂ２３Ｑ ３／１６−３／１８

Ｂ２３Ｑ １７／００−２３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

可動部材（５）に設けられた孔（６）に挿入可能となるように基準部材（４）から先端方向へ突出された環状の心柱（７）と、
前記基準部材（４）に軸方向へ移動可能で保密状に挿入されたピストン（１１）と、
前記ピストン（１１）に連結されると共に、前記心柱（７）の内周孔（１８）に挿入される出力ロッド（１９）と、
前記心柱（７）の外周に先端側に向かうにつれて軸心に近づくように設けられた外傾斜面（２８）と、
前記外傾斜面（２８）に先端側から楔係合すると共に、半径方向へ拡大及び縮小可能とされる押圧部材（２９）であって、前記出力ロッド（１９）の先端部に連結される押圧部材（２９）と、
前記孔（６）の内周壁に密着可能となるように前記押圧部材（２９）の外周壁に開口される検出孔（５７）を有する破損検出用の流路（５８）であって、その検出孔（５７）に圧力流体を供給可能とされる破損検出用の流路（５８）と、を備え、
前記ピストン（１１）が前記出力ロッド（１９）を介して前記押圧部材（２９）を先端側へリリース駆動させたときに、前記押圧部材（２９）の内周面によって前記流路（５８）が閉鎖されることにより前記検出孔（５７）に圧力流体が供給されることが停止され、
前記ピストン（１１）が前記出力ロッド（１９）を介して前記押圧部材（２９）を基端側へロック駆動させたときに、前記流路（５８）の前記閉鎖状態が解除されることにより前記検出孔（５７）に圧力流体が供給される、
ことを特徴とする位置決め装置。

【請求項2】

可動部材（５）に設けられた孔（６）に挿入可能となるように基準部材（４）から先端方向へ突出された環状の心柱（７）と、
前記基準部材（４）に軸方向へ移動可能で保密状に挿入されたピストン（１１）と、
前記ピストン（１１）に連結されると共に、前記心柱（７）の内周孔（１８）に挿入される出力ロッド（１９）と、
前記心柱（７）の外周に形成されるストレート面（６１）と、
前記ストレート面（６１）に周方向に環状に配置されると共に、前記心柱（７）の外周に前記軸方向に移動可能に設けられた中間部材（６２）と、
前記中間部材（６２）の外周に先端側に向かうにつれて軸心に近づくように設けられた外傾斜面（２８）と、
前記外傾斜面（２８）に先端側から楔係合すると共に、半径方向へ拡大及び縮小可能とされる押圧部材（２９）であって、前記出力ロッド（１９）の先端部に連結される押圧部材（２９）と、
前記孔（６）の内周壁に密着可能となるように前記押圧部材（２９）の外周壁に開口される検出孔（５７）を有する破損検出用の流路（５８）であって、その検出孔（５７）に圧力流体を供給可能とされる破損検出用の流路（５８）と、を備え、
前記ピストン（１１）が前記出力ロッド（１９）を介して前記押圧部材（２９）を先端側へリリース駆動させたときに、前記押圧部材（２９）の内周面によって前記流路（５８）が閉鎖されることにより前記検出孔（５７）に圧力流体が供給されることが停止され、
前記ピストン（１１）が前記出力ロッド（１９）を介して前記押圧部材（２９）を基端側へロック駆動させたときに、前記流路（５８）の前記閉鎖状態が解除されることにより前記検出孔（５７）に圧力流体が供給される、
ことを特徴とする位置決め装置。

【請求項3】

請求項１の位置決め装置において、
前記検出孔（５７）は、前記押圧部材（２９）に周方向に所定の間隔をあけて複数設けられる、
ことを特徴とする位置決め装置。

【請求項4】

請求項１の位置決め装置において、
前記心柱（７）の内周孔（１８）に設けられた弁座（５１）と前記出力ロッド（１９）に設けられた弁面（５２）とを有し、前記出力ロッド（１９）が所定の先端位置または所定の基端位置に移動されたときに前記基準部材（４）に形成された位置検出用の流路（３９）を開弁または閉弁する、
ことを特徴とする位置決め装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、位置決め用の構成部材の破損を検出する機能を備えた位置決め装置に関する。

【背景技術】

【0002】

この種の位置決め装置には、従来では、特許文献１（日本国・特開２００５−５９１２１号公報）に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ワークパレットの孔に挿入可能な環状の心柱が、ハウジングから上方へ突設される。ハウジングにピストンが上下移動可能に挿入される。そのピストンから上方に突設された出力ロッドが、心柱の内周孔に上下方向へ移動可能に挿入される。心柱の外周に環状の押圧部材が配置され、その押圧部材が出力ロッドの上部に連結される。その押圧部材の周壁に形成される検出孔に異常検出用の加圧エアが流路を通して供給される。上記ピストン及び出力ロッドによって押圧部材が下方へロック駆動されて当該押圧部材の外周面が上記の孔の内周面に密着したときには、上記検出孔が閉鎖されるので前記流路内の圧力が上昇する。その結果、ハウジングに対してワークパレットが所定位置に位置決めされた正常状態であることが検出される。
ところで、位置決め装置をロック駆動したときに押圧部材の外周面と上記の孔の内周面との間に切り屑等の異物が挟み込まれて隙間が生じた場合には、異常検出用の流路に供給された加圧エアが上記の隙間から漏れる。その流路の圧力が上昇しないことを圧力センサなどで検出することにより、上記の位置決め装置の異常状態が検出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】 特開２００５−５９１２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

また、上記の従来技術では、前述した異常状態の検出に加えて、押圧部材が欠損（破損）した状態の異常状態も検出可能である。すなわち、上記の異常状態の位置決め装置をロック駆動すると、押圧部材の外周面が上記の孔の内周面に当接されるが、流路に供給された加圧エアが押圧部材の上記の破損部分から漏れる。従って、その流路の圧力が上昇しないことを圧力センサなどで検出することにより、上記の異常状態を検出できる。
ところで、本来は、位置決め装置をロック駆動させる前のリリース状態において、上記の異常状態（破損状態）を検出することが好ましい。しかしながら、上記の位置決め装置がリリース状態であるときには、検出孔が上記の孔の内周面によって閉鎖されないので、検出孔が外部に開放されている。このため、押圧部材が破損されていない正常状態と押圧部材が破損された異常状態との両方の状態で流路の圧力が上昇されない。これにより、その異常状態と正常状態との区別をつけることができない。
このため、従来の位置決め装置は、リリース状態の位置決め装置の破損状態を検出できるようにする点で改善の余地が残されていた。
本発明の目的は、リリース状態の位置決め装置の破損状態を検出することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図４に示すように、位置決め装置を次のように構成した。
可動部材５に設けられた孔６に挿入可能な環状の心柱７が、基準部材４から先端方向へ突出される。前記基準部材４にピストン１１が軸方向へ移動可能で保密状に挿入される。前記ピストン１１に連結された出力ロッド１９が、前記心柱７の内周孔１８に挿入される。前記心柱７の外周に外傾斜面２８が先端側に向かって軸心に近づくように設けられる。前記外傾斜面２８に押圧部材２９が先端側から楔係合し、その押圧部材２９が半径方向へ拡大及び縮小可能とされる。その押圧部材２９が出力ロッド１９の先端部に連結される。破損検出用の流路５８が、前記孔６の内周面に密着可能となるように前記押圧部材２９の外周面に開口される検出孔５７を有し、破損検出用の流路５８が検出孔５７に圧力流体を供給可能とする。
そして、前記ピストン１１が前記出力ロッド１９を介して前記押圧部材２９を先端側へリリース駆動させたときに、前記押圧部材２９の内周面によって前記流路５８が閉鎖されることにより前記検出孔５７に圧力流体が供給されることが停止される。前記ピストン１１が前記出力ロッド１９を介して前記押圧部材２９を基端側へロック駆動させたときに、前記流路５８の前記閉鎖状態が解除されることにより前記検出孔５７に圧力流体が供給される。

【0006】

従って、本発明は次の作用効果を奏する。
上記の位置決め装置をリリース駆動させたときに、破損検出用の流路が押圧部材の内周面によって閉鎖されることにより、前記検出孔に圧力流体が供給されることが停止される。このため、流路の圧力が上昇し、その上昇圧力を検出することにより押圧部材が破損していない正常状態であることが検出される。これに対して、リリース状態の位置決め装置が何らかの異常状態、例えば、押圧部材が破損された異常状態では、その破損部分から流路の圧力流体が漏れだし、その流路の圧力が上昇しない。その結果、押圧部材が破損された状態等の異常状態であることが検出される。

【0007】

本発明は、下記の（１）から（３）の構成を加えることが好ましい。
（１）前記押圧部材２９は、前記心柱７の外周に軸方向に移動可能に設けられた中間部材６２を介して当該心柱７に先端側から楔係合する。
この場合、位置決め装置をロック駆動すると、ピストンが出力ロッドと中間部材とを介して押圧部材の外周面を可動部材の孔の内周面に強力に押圧させる。

【0008】

（２）前記検出孔５７は、前記押圧部材２９に周方向に所定の間隔をあけて複数備えられる。
この場合、可動部材の孔の軸心が心柱の軸心に対して心ずれした状態でその孔が心柱に外嵌めされることにより、複数の検出孔のうちの一部の検出孔だけが孔の内周面によって閉鎖され、他の検出孔が閉鎖されない場合がある。この場合には、流路に供給された圧力流体が他の検出孔から漏れるので、流路の圧力が所定の設定値を下回ることが検出される。その結果、位置決め装置が異常状態であることが適切に検出される。

【0009】

（３）前記検出手段４０は、弁機構によって構成される。その弁機構は、前記心柱７の内周孔１８に設けられた弁座５１と前記出力ロッド１９に設けられた弁面５２とを有する。前記出力ロッド１９が先端側限界位置または基端側限界位置に移動されたときに、その弁機構が、前記基準部材４に形成された流路３９を開弁または閉弁する。
この場合、出力ロッドが先端側限界位置または基端側限界位置に移動されたことを前記検出手段としての弁機構によって確実に検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、本発明の第１実施形態を示し、位置決め装置のリリース状態を示す断面図である。

【図2】図２Ａは、上記の位置決め装置のロック状態を示し、図Ａに類似する図である。図２Ｂは、図２Ａ中のＩＩ Ｂ−ＩＩ Ｂ線の矢視図に相当する図である。

【図3】図３は、上記の位置決め装置の押圧部材が破損した状態を示し、図１に類似する図である。

【図4】図４は、上記の位置決め装置の変形例を示し、図２Ｂに類似する図である。

【図5】図５Ａは、本発明の第２実施形態を示し、図２Ａに類似する図である。図５Ｂは、図５Ａ中のＶＢ−ＶＢ線の矢視図に相当する図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施形態を図１から図５Ｂによって説明する。
図１から図３は、本発明の第１実施形態を示している。まず、リリース状態を示す図１に基づいて上記位置決め装置の構造を説明する。

【0012】

工作機械のテーブル（図示しない）にベースプレート１を固定し、そのベースプレート１に位置決め装置のハウジング２をボルト３で固定する。本実施形態では、ベースプレート１とハウジング２によって基準部材４が構成される。図２Ａに示すように、そのハウジング２の上部（先端部）に形成された支持面２ａに、可動部材としてのワークパレット５の被支持面５ａが受け止められる。その被支持面５ａに形成された孔６に、ハウジング２から上方へ突出された環状の心柱７が挿入可能となっている。

【0013】

上記ハウジング２の下部（基端部）にシリンダ孔１０が形成され、そのシリンダ孔１０にピストン１１が上下方向（軸心方向）へ移動可能で保密状に挿入される。そのシリンダ孔１０がピストン１１によって上下方向へ区画され、ピストン１１の下側にリリース室１２が形成されると共に、ピストン１１の上側にロック室１３が形成される。そのリリース室１２に連通されるリリース用の給排路１４がベースプレート１に設けられる。ロック室１３に連通されるロック用の給排路１５がハウジング２に形成される。本実施形態では、上記のピストン１１とリリース室１２とロック室１３とによって複動式の油圧シリンダ（駆動手段）Ｄが構成される。

【0014】

上記の環状の心柱７が内周孔１８を有し、その内周孔１８がシリンダ孔１０に連通される。その心柱７の内周孔１８に出力ロッド１９が上下方向に移動可能で保密状に挿入され、その出力ロッド１９がピストン１１に連結される。その出力ロッド１９は、下側から順に形成された下半部分２０と、その下半部分２０の上端部に螺合された上半部分２１とを備えると共に、下半部分２０の上端面と上半部分２１に形成されたキャップ部２２との間に装着された筒部材２３とを備える。その筒部材２３の上端から環状のフランジ部分２４が半径方向の外方に突設される。そのフランジ部分２４の外周壁に溝２５が周方向に形成される。

【0015】

上記の心柱７の外周に外傾斜面２８が上方に向かうにつれて軸心に近づくようにテーパー状に形成され、その外傾斜面２８に押圧部材２９が周方向へ環状に配置される。また、その押圧部材２９の上端部から環状の突出部３０が半径方向の内方へ突設される。その突出部３０が筒部材２３の溝２５に挿入され、押圧部材２９が出力ロッド１９に連結される。その押圧部材２９の周壁にスリット３１が設けられることにより、その押圧部材２９が半径方向に弾性変形可能に構成される。また、押圧部材２９の外周部に密着面３２が形成され、その密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に密着可能となっている。また、上記の心柱７の外周面からピン３３が半径方向の外方に突出されている。そのピン３３が上記の押圧部材２９の回り止めを構成している。

【0016】

上記の出力ロッド１９が上限位置にリリース駆動したことを検出する弁機構（検出手段）４０が、次のように構成される。
上記の心柱７の内周孔１８は、下側から順に形成された大径孔４１と小径孔４２とを有する。また、出力ロッド１９の下半部分２０が、下側から順に形成された大径部４３と小径部４４とを有する。その大径孔４１と大径部４３との間に第１封止部材４５が装着され、小径孔４２と小径部４４との間に第２封止部材４６が装着される。大径孔４１と大径部４３との間に第１環状空間４７が区画形成され、小径孔４２と小径部４４との間に第２環状空間４８が区画形成される。その第１環状空間４７に加圧エアの供給路４９が連通され、第２環状空間４８に排出路５０が連通される。また、上記の大径孔４１の上端面に環状の弁座５１が形成される。その大径部４３の上端部に形成された環状の弁面５２が、上記の弁座５１に当接可能に所定の間隔をあけて対面される。本実施形態において、供給路４９と第１環状空間４７と第２環状空間４８と排出路５０とによって位置検出用の流路３９が構成される。

【0017】

上記の心柱７の外傾斜面２８に中継孔５５が半径方向の外方にむけて開口される。その中継孔５５が、ハウジング２に形成された加圧エアの供給路５６に連結される。また、上記の押圧部材２９の周壁に検出孔５７が半径方向に貫通され、その検出孔５７が上記の中継孔５５に連通可能となっている。本実施形態では、中継孔５５と供給路５６と検出孔５７とによって破損検出用の流路５８が構成される。

【0018】

上記の位置決め装置は、図１から図２Ｂに示すように、次のように作動する。
図１のリリース状態では、ロック室１３の圧油が排出されると共に、リリース室１２に圧油が供給される。これにより、ピストン１１と出力ロッド１９とが上昇位置に移動される。このとき、上記押圧部材２９が、当該押圧部材２９の弾性力によって縮径状態に切り換えられている。
また、このとき、出力ロッド１９の弁面５２が心柱７の内周孔１８の弁座５１に当接され、弁機構４０が閉弁されている。この状態で加圧エア（圧力流体）が供給路４９を通って第１環状空間４７に供給されると、その第１環状空間４７の圧力が上昇する。その結果、出力ロッド１９が上限位置に移動したこと（リリース状態であること）が検出される。
また、このとき、心柱７の中継孔５５が押圧部材２９の内周面によって閉鎖されている。この状態で加圧エアが中継孔５５に供給されると、その中継孔５５の圧力が上昇する。これにより、押圧部材２９の周壁の薄肉部分が破損されていない正常な状態であることが検出される。

【0019】

上記リリース状態でワークパレット５を何らかの昇降手段または自重によって下降させ、そのワークパレット５の孔６が出力ロッド１９と押圧部材２９と心柱７とに外嵌められていく。すると、上記ワークパレット５の被支持面５ａが、ハウジング２の支持面２ａに受け止められる。

【0020】

上記の位置決め装置を図１のリリース状態から図２Ａのロック状態へ切り換えるときには、リリース室１２の圧油を排出するとともに、ロック室１３に圧油を供給する。すると、まず、ロック室１３の油圧力がピストン１１と出力ロッド１９とを下降させていく。次いで、出力ロッド１９が押圧部材２９を下降させると、その押圧部材２９が心柱７の外傾斜面２８によって縮径状態から拡径される（半径方向の外方へ移動される）。図２Ｂに示すように、その押圧部材２９の密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面を密着される。これにより、位置決め装置は、図２Ａのロック状態に切り換えられる。
また、このとき、中継孔５５が検出孔５７に連通される共に、検出孔５７が上記孔６の内周面によって閉鎖される。この状態で、中継孔５５に加圧エアが供給されると、中継孔５５の圧力が上昇する。その結果、押圧部材２９の密着面３２が上記の孔６の内周面に密着されたことが検出される。

【0021】

また、ロック状態では、ピストン１１が下降位置に移動されたことにより、弁機構４０の弁面５２も弁座５１から下方に離間される。このため、弁機構４０は、開弁される。従って、上記ロック状態では、リリース検出用の加圧エアが第１環状空間４７から第２環状空間４８と排出路５０とを通って外部に排出される。その結果、第１環状空間４７の圧力が下降されたことを圧力センサ（図示しない）によって検出される。これにより、ピストン１１と出力ロッド１９とが下降位置へ移動されたことが検出される。

【0022】

上記の位置決め装置を図２のロック状態から図１のリリース状態へ切り換えるときには、ロック室１３の圧油を排出すると共にリリース室１２へ圧油を供給する。これにより、位置決め装置は、上述したロック動作とはほぼ逆の手順でリリース状態へ切り換えられる。

【0023】

上記の位置決め装置は、ワークパレット５が未搬入である状態の異常状態、および、ワークパレット５の孔６が想定した寸法よりも大きいことにより押圧部材の密着面と前記孔６との間に隙間が生じた状態の異常状態で、次のように作動する。
上記の異常状態の位置決め装置をロック駆動させると、図３に示すように、ロック室１３の油圧力がピストン１１と出力ロッド１９とを介して押圧部材２９を下降させると共に、心柱の外傾斜面２８に沿って半径方向の外方へ移動させる。次いで、その押圧部材２９の密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に受け止められないので、過度に拡径する。引き続いて、出力ロッド１９及びピストン１１は下限位置まで下降されると、上記出力ロッド１９のフランジ部３２の下面が心柱７の上端面に受けとめられる。
このとき、ピストン１１が下降位置に移動されたことにより、弁機構４０の弁面５２が弁座５１から下方へ離間される。このため、弁機構４０は、開弁される。これにより、出力ロッド１９が下降位置に移動したことが検出される。
また、このとき、検出孔５７が中継孔５５にほぼ対面する位置に下降されるので、中継孔５５に供給された異常検出用の加圧エアが検出孔５７を通って外部へ排出される。このため、中継孔５５の圧力が所定の設定値を下回り、その圧力低下を圧力スイッチ等で検出することにより、位置決め装置が上記の異常状態であることを検出できる。

【0024】

ところで、上記位置決め装置の押圧部材２９に対してワークパレット５を下降させて当該押圧部材２９にワークパレット５の孔６を外嵌めするときに、その孔６の周壁の下部が、押圧部材２９に衝突して、その衝突時の衝撃によって押圧部材２９の薄肉部分（図３中に破線で示す）２９ａが欠損する場合がある。この場合、中継孔５５に供給された異常検出用の加圧エアが上記の欠損部分２９ａから漏れ、中継孔５５の圧力が予め設定した圧力値を下回ることが検出される。その結果、押圧部材が破損された異常状態であることが検出される。

【0025】

第１実施形態は次の長所を奏する。
上記の位置決め装置をリリース駆動させたときに、破損検出用の流路５８が押圧部材２９の内周面によって閉鎖されることにより、前記検出孔５７に圧力流体が供給されることが停止される。このため、流路５８の圧力が上昇し、その上昇圧力を検出することにより押圧部材２９が破損していない正常状態であることが検出される。これに対して、リリース状態の位置決め装置が何らかの異常状態、例えば、押圧部材２９が破損された異常状態では、その破損部分２９ａから流路５８の圧力流体が漏れだし、その流路５８の圧力が上昇しない。その結果、押圧部材２９が破損された状態等の異常状態であることが検出される。
また、上記の位置決め装置をロック駆動させたときに、破損検出用の流路５８の検出孔５７がワークパレット５の孔６の内周面によって閉鎖されることにより、前記検出孔５７から外部に圧力流体が排出されることが停止される。このため、流路５８の圧力が上昇し、その上昇圧力を検出することによりハウジング２に対してワークパレット５が所定位置に位置決めされた正常状態であることが検出される。これに対して、ロック状態の位置決め装置が何らかの異常状態、例えば、押圧部材２９が破損された異常状態では、その破損部分２９ａから流路５８の圧力流体が漏れだし、その流路５８の圧力が上昇しない。その結果、押圧部材２９が破損された状態等の異常状態であることが検出される。
以上のことから、上記の位置決め装置がロック状態およびリリース状態のいずれの状態のときでも、流路５８の圧力が所定の設定値を上回れば位置決め装置が正常状態であることが検出され、流路５８の圧力が所定の設定値を下回れば位置決め装置が上記のいずれかの異常状態であることが検出される。

【0026】

図４は、本発明の第１実施形態の変形例を示し、図５は本発明の第２実施形態を示している。この第１実施形態の変形例および第２実施形態においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材（または類似する部材）には原則として同一の参照数字を付けて説明する。

【0027】

図４の第１実施形態の変形例が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
上記の心柱７の外周に溝６０が周方向に形成され、その溝６０の底面に中継孔５５が開口される。また、押圧部材２９の周壁に検出孔５７が周方向に所定の間隔をあけて３つ設けられる。その検出孔５７が上記の溝６０を介して中継孔５５に連通可能となっている。
従って、押圧部材２９の外周面とワークパレット５の孔６の内周面との間に切粉などの異物が挟まって隙間が生じたときでも、複数の検出孔５７のうちの一方が上記の孔６の内周面によって閉鎖されるが、中継孔５５の加圧エアが複数の検出孔５７のうちの他方の検出孔５７から上記の隙間を通って外部に漏れ出る。これにより、押圧部材２９と上記の孔６との間に上記の異物が挟まった状態などの異常状態であることを適切に検出できる。

【0028】

図５Ａおよび図５Ｂの第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
上記の心柱７の外周にストレート面６１が形成される。そのストレート面６１に、周方向に環状に配置された中間部材６２が上下方向に移動可能に装着される。その中間部材６２の下部とハウジング２との間に皿バネ６３とバネ受け６４とが上方に順に装着され、ハウジング２に対して中間部材６２が上方へ付勢される。本実施形態では、付勢手段６５が皿バネ６３とバネ受け６４とによって構成される。図５Ｂに示すように、その中間部材６２の周壁にスリット６５が設けられることにより、その中間部材６２が半径方向に弾性変形可能に構成される。また、その中間部材６２の外周面に外傾斜面２８が上方へ向かうにつれて軸心に近づくように形成される。その外傾斜面２８に周方向に環状に配置される押圧部材２９が、上下方向に移動可能に装着される。その押圧部材２９の外周に密着面３２が形成され、その密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に密着可能に構成される。また、上記の心柱７のストレート面６１に第１中継孔６８が開口される。その第１中継孔６８に連通するように第２中継孔６９が中間部材６２の周壁に貫通される。その第２中継孔６９に連通可能に検出孔５７が押圧部材２９の周壁に貫通される。本実施形態では、第１中継孔６８と第２中継孔６９と供給路５６と検出孔５７とによって破損検出用の流路５８が構成される。

【0029】

また、ロック室１３に連通されるロック用の給排路１５の途中部に、ロック用の圧力センサ（図示しない）が配置され、その圧力センサによってロック用の給排路１５の圧力が上昇したことが検出される。リリース用の給排路１４の途中部にも同様のリリース用の圧力センサ（図示しない）が配置される。本実施形態では、リリース用の圧力センサによって検出手段４０が構成される。

【0030】

上記の装置は次のように作動する。
リリース状態では、ロック室１３の圧油が排出されると共に、リリース室１２に圧油が供給される。これにより、ピストン１１と出力ロッド１９とが上昇位置に移動される。このとき、上記押圧部材２９が、当該押圧部材２９の弾性力によって縮径状態に切り換えられている。
また、このとき、上記の圧力センサによってリリース室１２の上昇圧力を検出するにより、位置決め装置がリリース状態であることが検出される。
また、第２中継孔６９が押圧部材２９の内周面によって閉鎖されている。この状態で第２中継孔６９に加圧エアを供給すると、第２中継孔６９の圧力が上昇する。その結果、押圧部材２９が破損されていない正常状態であることが検出される。

【0031】

上記リリース状態でワークパレット５を何らかの昇降手段または自重によって下降させ、そのワークパレット５の孔６が出力ロッド１９に外嵌められていく。すると、上記ワークパレット５の被支持面５ａが、ワークパレット５から上方に突設された支持ピン７１の支持面７１ａに受け止められる。

【0032】

位置決め装置をリリース状態から図５Ａのロック状態へ切り換えるときには、リリース室１２の圧油を排出するとともに、ロック室１３に圧油を供給する。すると、まず、ロック室１３の油圧力がピストン１１と出力ロッド１９とを下降させていく。次いで、出力ロッド１９が押圧部材２９を下降させると、その押圧部材２９が心柱７の外傾斜面２８によって縮径状態から拡径される（半径方向の外方へ移動される）。図５Ｂに示すように、その押圧部材２９の密着面３２がワークパレット５の孔６の内周面に密着される。これにより、位置決め装置は、図５Ａのロック状態に切り換えられる。
このとき、検出孔５７がワークパレット５の孔６の内周面によって閉鎖される。この状態で第２中継孔６９に加圧エアを供給すると、第２中継孔６９の圧力が上昇する。その結果、押圧部材２９の密着面３２が上記の孔６の内周面に密着されていることが検出される。
また、このとき、ロック室１３の圧力が所定の設定値を上回ることを上記の圧力センサによって検出されることにより、位置決め装置がロック状態であることが検出される。

【0033】

上記の位置決め装置を図５Ａのロック状態からリリース状態へ切り換えるときには、ロック室１３の圧油を排出すると共にリリース室１２へ圧油を供給する。これにより、位置決め装置は、上述したロック動作とはほぼ逆の手順でリリース状態へ切り換えられる。

【0034】

上記の第２実施形態は次の長所を奏する。
上記の位置決め装置をリリース駆動させたときに、破損検出用の流路５８が押圧部材２９の内周面によって閉鎖されることにより、前記検出孔５７に圧力流体が供給されることが停止される。このため、流路５８の圧力が上昇し、その上昇圧力を検出することにより押圧部材２９が破損していない正常状態であることが検出される。これに対して、リリース状態の位置決め装置が何らかの異常状態、例えば、押圧部材２９が破損された異常状態では、その破損部分２９ａから流路５８の圧力流体が漏れだし、その流路５８の圧力が上昇しない。その結果、押圧部材２９が破損された状態等の異常状態であることが検出される。
また、上記の位置決め装置をロック駆動させたときに、破損検出用の流路５８の検出孔５７がワークパレット５の孔６の内周面によって閉鎖されることにより、前記検出孔５７から外部に圧力流体が排出されることが停止される。このため、流路５８の圧力が上昇し、その上昇圧力を検出することによりハウジング２に対してワークパレット５が所定位置に位置決めされた正常状態であることが検出される。これに対して、ロック状態の位置決め装置が何らかの異常状態、例えば、押圧部材２９が破損された状態などの異常状態では、その破損部分２９ａから流路５８の圧力流体が漏れだし、その流路５８の圧力が上昇しない。その結果、押圧部材２９が破損された状態等の異常状態であることが検出される。
以上のことから、上記の位置決め装置がロック状態およびリリース状態のいずれの状態のときでも、流路５８の圧力が所定の設定値を上回れば位置決め装置が正常状態であることが検出され、流路５８の圧力が所定の設定値を下回れば位置決め装置が上記のいずれかの異常状態であることが検出される。

【0035】

上記の各実施形態は次のように変更可能である。
上記の基準部材４は、例示したように、工作機械のテーブルに固定されたベースプレート１に限られず、その他の固定台であってもよい。
上記の可動部材は、例示したワークパレット５に限られず、ワークや金型などであってもよい。
上記の駆動手段は、複動式の油圧シリンダＤに代えて単動式の油圧シリンダであってもよい。また、駆動手段は、例示の油圧シリンダに代えて、空圧シリンダや電動アクチュエータであってもよい。
上記中継孔に供給される異常状態検出用の圧力流体は、例示した加圧エアに代えて、他の気体または圧油や水等の液体であってもよい。
上記の外傾斜面２８は、心柱７の外周面の全体にテーパー状に形成されるのに代えて、心柱の外周面の一部分に平面状に形成されてもよい。
上記の押圧部材２９は、前記外傾斜面２８に周方向へ環状に配置されるのに代えて、複数の押圧部材が外傾斜面に周方向へ所定の間隔をあけて配置されてもよい。
上記の溝６０は、心柱７の外周壁に形成されるのに代えて、押圧部材２９の内周面に形成されてもよい。
上記の付勢手段６５は、例示した皿バネ６３に代えて、圧力流体によって上方へ付勢する流体圧シリンダなどであってもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。

【符号の説明】

【0036】

４：基準部材，５：可動部材（ワークパレット），６：孔，７：心柱，１１：ピストン，１８：心柱の内周孔，１９：出力ロッド，２８：外傾斜面，２９：押圧部材，３９：流路，４０：検出手段（弁機構），５１：弁座，５２：弁面，５７：検出孔，５８：流路，６０：溝，６２：中間部材．

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】