特許 6673772 ワークキャリア及びワークキャリアの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6673772

(24)【登録日】2020年3月9日

(45)【発行日】2020年3月25日

(54)【発明の名称】ワークキャリア及びワークキャリアの製造方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 37/28 20120101AFI20200316BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20200316BHJP

【ＦＩ】

   B24B37/28

   H01L21/304 622G

【請求項の数】4

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2016-147308(P2016-147308)

(22)【出願日】2016年7月27日

(65)【公開番号】特開2018-15831(P2018-15831A)

(43)【公開日】2018年2月1日

【審査請求日】2019年1月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】000107745

【氏名又は名称】スピードファム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】240000327

【弁護士】

【氏名又は名称】弁護士法人クレオ国際法律特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】三橋 伸一

【審査官】 山本 忠博

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−０１２０８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１０９９２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−０１８７０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２０２２５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０６４１９５５５（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ３／００−３／６０，２１／００−３９／０６，

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４，２１／４６３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

金属製のキャリア基板に形成されたワーク保持孔の内周面に沿って樹脂インサート部が設けられたワークキャリアであって、
前記ワーク保持孔には、表裏方向に対する傾斜が反対となる正傾斜面と負傾斜面とが周方向に交互に連続して形成され、
前記正傾斜面及び負傾斜面は前記表裏方向に対して一方向の傾斜となるように形成されるものであるとともに、
前記正傾斜面及び負傾斜面に前記樹脂インサート部が密着して形成されていることを特徴とするワークキャリア。

【請求項2】

前記ワーク保持孔には、周方向に凹凸が形成されているとともに、前記凹凸の凹部と凸部の任意の数ごとに前記正傾斜面と前記負傾斜面とが交互に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のワークキャリア。

【請求項3】

複数の凹凸に連続して前記正傾斜面が形成されているとともに、それに隣接する複数の凹凸に連続して前記負傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項２に記載のワークキャリア。

【請求項4】

請求項１乃至３のいずれか一項に記載のワークキャリアの製造方法であって、
前記キャリア基板に前記ワーク保持孔を穿孔するために、前記キャリア基板の表側から周方向に間隔を置いて前記正傾斜面を切断加工する工程と、
前記キャリア基板の裏側から前記正傾斜面間に前記負傾斜面を切断加工することで前記ワーク保持孔を形成する工程と、
前記ワーク保持孔に対して射出成形によって樹脂インサート部を設ける工程とを備えたことを特徴とするワークキャリアの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シリコンウエーハ、ガラス、セラミックス、水晶等の薄板状のワークを研磨装置によって研磨加工する際に、ワークの保持に使用されるワークキャリア及びワークキャリアの製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

シリコンウエーハなどのワークの両面又は片面を研磨装置によって研磨加工する際に、ワーク保持孔を有するワークキャリアにワークを保持させることが知られている（特許文献１−３など参照）。

【0003】

ワークキャリアの本体となるキャリア基板は、ＳＫ鋼やステンレス鋼といった硬質の金属素材によって形成されているため、キャリア基板に穿孔されたワーク保持孔に直接、ワークを保持させると、研磨加工中にワークがワーク保持孔の内周面に接触し、ワークに割れや欠けなどの損傷が生じるおそれがある。

【0004】

そこで、特許文献１−３に開示されているように、ワーク保持孔の内周面に沿って合成樹脂製の軟質のインサートを取り付け、研磨加工中のワークの損傷を防ぐ処理が行われている。

【0005】

特許文献１には、ワーク保持孔の内周面に周方向に間隔を置いて凸歯を設け、凸歯間の歯溝に合成樹脂製保護リング（インサート）の凸歯を嵌合させる咬合構造が開示されている。この文献には、合成樹脂製保護リングが上下方向に抜けにくくするために、凸歯の側縁に交互に反対方向の傾斜面を設けることも記載されている。

【0006】

一方、特許文献２には、保持孔の内周面に上開きのテーパー面を形成し、そのテーパー面を介して樹脂インサートが保持孔に嵌め込まれる構造が開示されている。

【0007】

また、特許文献３には、キャリア基板のワーク保持孔の内周面に沿って溝を設け、その溝に合成樹脂材が入り込むように射出成形することによって、軟質のリング状のインサートを設けることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】特許第３５５２１０８号公報

【特許文献2】特許第４６０５２３３号公報

【特許文献3】特許第５１１４１１３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

しかしながら特許文献１に開示された咬合構造は、凸歯の側縁にのみ傾斜面が設けられる構造であり、歯溝の奥には傾斜面が設けられていない。すなわち傾斜面は、ワーク保持孔の内周面に連続して設けられているものではない。

【0010】

また、特許文献２に開示された保持孔のテーパー面は、上開きの傾斜面のみであるため、樹脂インサートの下方への脱落は防ぐことができるが、上方に外れることに対しては防ぐことができない。

【0011】

そこで、本発明は、キャリア基板と樹脂インサート部との一体性が高いワークキャリア及びワークキャリアの製造方法を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0012】

前記目的を達成するために、本発明のワークキャリアは、金属製のキャリア基板に形成されたワーク保持孔の内周面に沿って樹脂インサート部が設けられたワークキャリアであって、前記ワーク保持孔には、周方向に交互に、表裏方向に対する傾斜が反対となる正傾斜面と負傾斜面とが連続して形成され、前記正傾斜面及び負傾斜面に前記樹脂インサート部が密着して形成されていることを特徴とする。

【0013】

ここで、前記ワーク保持孔には、周方向に凹凸が形成されているとともに、前記凹凸の全長に前記正傾斜面又は負傾斜面が形成されている構成とすることができる。

【0014】

また、複数の凹凸に連続して前記正傾斜面が形成されているとともに、それに隣接する複数の凹凸に連続して前記負傾斜面が形成されている構成とすることもできる。

【0015】

さらに、ワークキャリアの製造方法の発明は、上記いずれかのワークキャリアの製造方法であって、前記キャリア基板に前記ワーク保持孔を穿孔するために、前記キャリア基板の表側から周方向に間隔を置いて前記正傾斜面を切断加工する工程と、前記キャリア基板の裏側から前記正傾斜面間に前記負傾斜面を切断加工することで前記ワーク保持孔を形成する工程と、前記ワーク保持孔に対して射出成形によって樹脂インサート部を設ける工程とを備えたことを特徴とする。

【発明の効果】

【0016】

このように構成された本発明のワークキャリアは、ワーク保持孔の周方向に交互に、表裏方向に対する傾斜が反対となる正傾斜面と負傾斜面とが連続して形成され、それらの傾斜面に密着して樹脂インサート部が設けられる。

【0017】

傾斜が反対となる正傾斜面と負傾斜面とが設けられることにより、キャリア基板の表裏いずれの方向に対しても樹脂インサート部がワーク保持孔から脱落することを防止できるうえに、傾斜面がワーク保持孔の周方向に連続して設けられるため、ワーク保持孔が樹脂インサート部を保持する保持力を高めることができる。このため、キャリア基板と樹脂インサート部との一体性が高いワークキャリアとすることができる。

【0018】

特に、ワーク保持孔の周方向に凹凸が形成されることによって、その凹凸による嵌合と凹凸の全長に形成された正傾斜面及び負傾斜面との相乗効果により、キャリア基板と樹脂インサート部は高い一体性を確保することができる。また、複数の凹凸に連続して正傾斜面と負傾斜面を形成するのであれば、効率的に切断加工が行えるようになる。

【0019】

さらに、ワークキャリアの製造方法の発明では、キャリア基板の表側から周方向に間隔を置いて正傾斜面を切断加工する工程と、キャリア基板の裏側から負傾斜面を切断加工する工程とによって、ワーク保持孔の穿孔と傾斜面の成形とを同時に行うことができ、効率的である。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本実施の形態のワークキャリアのワーク保持孔の内周面付近を拡大して説明する平面図である。

【図2】ワークキャリアの概略構成を説明する平面図である。

【図3】本実施の形態のワークキャリアの製造方法の工程を説明するフローチャートである。

【図4】ワーク保持孔の内周面付近を拡大して説明する斜視図である。

【図5A】図４のＡ−Ａ矢視方向で見た断面図である。

【図5B】図４のＢ−Ｂ矢視方向で見た断面図である。

【図5C】図４のＣ−Ｃ矢視方向で見た断面図である。

【図5D】図４のＤ−Ｄ矢視方向で見た断面図である。

【図6A】ワーク保持孔の内周面に樹脂インサート部を設けた構成を説明する図５Ａと同じ位置の断面図である。

【図6B】ワーク保持孔の内周面に樹脂インサート部を設けた構成を説明する図５Ｂと同じ位置の断面図である。

【図6C】ワーク保持孔の内周面に樹脂インサート部を設けた構成を説明する図５Ｃと同じ位置の断面図である。

【図6D】ワーク保持孔の内周面に樹脂インサート部を設けた構成を説明する図５Ｄと同じ位置の断面図である。

【図7】実施例のワーク保持孔の内周面付近を拡大して説明する平面図である。

【図8A】図７のＥ−Ｅ矢視方向で見た断面図である。

【図8B】図７のＦ−Ｆ矢視方向で見た断面図である。

【図9】別の実施形態のワークキャリアの概略構成を説明する平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１，２は、本実施の形態のワークキャリア１０の構成を説明する図であって、図２が全体の概略構成を示し、図１がワーク保持孔２の内周面付近を拡大して示している。

【0022】

ワークキャリア１０は、シリコンウエーハやガラスなどのワークの両面又は片面を研磨加工する平面研磨装置に装着して使用される。例えばワークの両面を研磨加工する平面研磨装置は、定盤である上定盤及び下定盤と、この上定盤及び下定盤の中心部に回転自在に配置されたサンギアと、上定盤及び下定盤の外周側に配置されたインターナルギアとを備えている。

【0023】

そして、図２に示すようなワークキャリア１０は、平面研磨装置の上定盤と下定盤との間に配置される。
ワークキャリア１０は、金属製のキャリア基板１によって円板状の本体が形成される。このキャリア基板１には、例えば円形のワーク保持孔２，・・・と研磨剤供給孔１２，・・・とが穿孔される。そして、ワーク保持孔２の内周面に沿って樹脂インサート部３が設けられる。

【0024】

このワークキャリア１０には、外縁となる外形部１１にサンギア及びインターナルギアに噛合する歯部（図示省略）が設けられており、サンギア及びインターナルギアの回転により自転及び公転していくようになっている。そして、ワークキャリア１０の自転及び公転により、ワークキャリア１０のワーク保持孔２内に配置されたワークの両面が研磨される。

【0025】

キャリア基板１は、金属板から円板状に切り出される。金属板としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、高炭素クロム軸受鋼、炭素工具鋼（ＳＫ鋼）、高速度工具鋼、合金工具鋼、高張力鋼、チタンなどが使用できる。

【0026】

一方、樹脂インサート部３は、合成樹脂材によって成形される。合成樹脂材には、ポリアミド（ＰＡ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、布ベーク、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）などが使用できる。後述するように射出成形によって樹脂インサート部３を設ける場合には、熱可塑性樹脂が使用される。

【0027】

本実施の形態のワーク保持孔２の内周面には、樹脂インサート部３との一体性を高めるために、図１に示すように、周方向に凹凸が連続して形成される。凹凸としては、キャリア基板１側に窪む凹部２１１（２２１）と、ワーク保持孔２の中心側に突出する凸部２１２（２２２）とが交互に設けられる。

【0028】

図１に示した凹部２１１，２２１は、平面視で奥側（キャリア基板１側）が広い台形状（楔状）に形成され、凸部２１２，２２２は、平面視で開放側（ワーク保持孔２の中心側）が広い台形状（楔状）に形成されている。この凹部２１１，２２１と凸部２１２，２２２は、すべてが違う平面形状であってもよいが、本実施の形態では、ほぼ同じ平面形状の凹部２１１，２２１とほぼ同じ平面形状の凸部２１２，２２２とが繰り返し形成される場合について説明する。
また、凹凸の平面形状は、楔状に限定されるものでもなく、正弦波などの曲線によって形成される形状や矩形波のようなテーパーの無い形状などいずれの平面形状であってもよい。

【0029】

図４には、凹部２１１，２２１と凸部２１２，２２２を斜視図で示している。図４のＡ−Ａ矢視方向及びＢ−Ｂ矢視方向で見た図５Ａ，図５Ｂの断面図に示したように、凸部２１２及び凹部２１１のワーク保持孔２側の内周面は、キャリア基板１の表裏方向に対して傾斜面となっている。この表側から裏側に向けて広がる傾斜面を正傾斜面２１０とする。

【0030】

そして、正傾斜面２１０が形成される範囲を、図１に示すように、正傾斜部２１とする。この正傾斜部２１は、２つの凹部２１１，２１１と２つの凸部２１２，２１２とによって構成されている。すなわち、凹部２１１と凸部２１２のワーク保持孔２側に露出する側面には、連続して正傾斜面２１０が設けられる。

【0031】

一方、図４のＣ−Ｃ矢視方向及びＤ−Ｄ矢視方向で見た図５Ｃ，図５Ｄの断面図に示したように、凸部２２２及び凹部２２１のワーク保持孔２側の内周面も、キャリア基板１の表裏方向に対して傾斜面となっている。この表側から裏側に向けて狭くなる傾斜面を負傾斜面２２０とする。

【0032】

そして、負傾斜面２２０が形成される範囲を、図１に示すように、負傾斜部２２とする。この負傾斜部２２は、２つの凹部２２１，２２１と２つの凸部２２２，２２２とによって構成されている。すなわち、凹部２２１と凸部２２２のワーク保持孔２側に露出する側面には、連続して負傾斜面２２０が設けられる。

【0033】

樹脂インサート部３は、図６Ａ−図６Ｄの各断面図に示したように、正傾斜面２１０と負傾斜面２２０とにそれぞれ密着して形成される。すなわち、キャリア基板１側に正傾斜面２１０が設けられた箇所では、樹脂インサート部３の密着させる対峙面は負傾斜面３２となる（図６Ａ，図６Ｂ参照）。

【0034】

一方、キャリア基板１側に負傾斜面２２０が設けられた箇所では、樹脂インサート部３の密着させる対峙面は正傾斜面３１となる（図６Ｃ，図６Ｄ参照）。なお、樹脂インサート部３のワーク保持孔２の中心側の内側面３３は、すべて鉛直面となる。

【0035】

次に、本実施の形態のワークキャリア１０の製造方法について、図３を参照しながら説明する。
まず、レーザー切断加工機に金属板を設置し、金属板を表側から切断加工する（ステップＳ１）。ここで、金属板の「表側」とは、最初に切断加工が行われる表面を指し、反対側の面を「裏側」とする。また以下では、表側からの切断加工を「表加工」、裏側からの切断加工を「裏加工」と、省略した用語で説明する場合もある。

【0036】

レーザー切断加工機によってレーザー加工を行うと、その切断面は、表側から裏側に向けて広がる傾斜面となる（図５Ａ，図５Ｂ参照）。ステップＳ１では、図１及び図４に示す「表加工」の範囲の切断加工を行う。この表加工によって形成される傾斜面が正傾斜面２１０となる。表加工を行う正傾斜部２１は、凹部２１１、凸部２１２、凹部２１１、凸部２１２が連続して正傾斜面２１０に切断加工されていく。

【0037】

そして、裏加工の領域に到達した時点で、一旦切断加工を中断し、レーザー光を照射させる位置を、裏加工領域を挟んで隣接する次の表加工領域の始点まで移動させる。このように断続的な表加工領域の切断加工を、ワーク保持孔２の周方向に間隔を置いて行う。

【0038】

図２に示したワークキャリア１０の場合では、キャリア基板１の３つのワーク保持孔２，２，２におけるすべての表加工領域の切断加工が行われる。そして、金属板を反転させ、金属板の裏側からの切断加工の工程に移行する（ステップＳ２）。

【0039】

レーザー切断加工機に裏側にした金属板を設置すると、ステップＳ１において切断された切断線が周方向に間隔を置いて現れる。裏加工では、断続的な切断線を繋ぐ切断加工を行うことで、３つのワーク保持孔２，２，２を切り出す。

【0040】

裏加工においても、切断面は、裏側から表側に向けて広がる傾斜面に形成される（図５Ｃ，図５Ｄ参照）。この裏加工によって形成される傾斜面が負傾斜面２２０となる。裏加工を行う負傾斜部２２は、凹部２２１、凸部２２２、凹部２２１、凸部２２２が連続して負傾斜面２２０に切断加工されていく。

【0041】

そして、表加工による切断線に到達した時点で、一旦切断加工を中断し、レーザー光を照射させる位置を、表加工領域を挟んで隣接する次の裏加工領域の始点まで移動させる。このように断続的な裏加工領域の切断加工を、ワーク保持孔２の切断線が１周して繋がるまで行う。

【0042】

また、ステップＳ２において、外形部１１及び研磨剤供給孔１２，・・・の切断加工も行う。そして、キャリア基板１の厚さを調整するラッピング加工及びポリッシュ加工を行う（ステップＳ３）。

【0043】

このようにして成形されたキャリア基板１のワーク保持孔２，・・・の内周面に対して、ステップＳ４の工程では、樹脂インサート部３を設ける。樹脂インサート部３は、合成樹脂の射出成形によって設けられる。

【0044】

例えば図６Ａから図６Ｄに示した内側面３３となる位置に型枠を設置して、その内側に加熱溶融させた合成樹脂を射出注入し、冷却によって固化させることで射出成形を行うことができる。また、型枠を内側面３３に合わせて設置しない場合は、射出成形後に内側面３３を形成するための切断加工が行われる。

【0045】

次に、本実施の形態のワークキャリア１０及びワークキャリア１０の製造方法の作用について説明する。
このように構成された本実施の形態のワークキャリア１０は、ワーク保持孔２の周方向に交互に、表裏方向に対する傾斜が反対となる正傾斜面２１０と負傾斜面２２０とが連続して形成され、それらの傾斜面（２１０，２２０）に密着して樹脂インサート部３が設けられる。

【0046】

傾斜が反対となる正傾斜面２１０と負傾斜面２２０とが設けられることにより、キャリア基板１の表裏いずれの方向に対しても樹脂インサート部３がワーク保持孔２から脱落することを防止できるようになる。
例えば射出成形によって樹脂インサート部３を設けた場合、冷却して固化させた際に収縮が起きるが、両方向の傾斜面（２１０，２２０）が設けられていれば、樹脂インサート部３が多少収縮したとしても脱落を防ぐことができる。

【0047】

また、正傾斜面２１０と負傾斜面２２０は、それぞれ正傾斜部２１と負傾斜部２２の範囲で連続しているだけでなく、ワーク保持孔２の周方向に連続して設けられるため、樹脂インサート部３の対峙面、つまりワーク保持孔２の内周面と接する面が正傾斜面２１０と負傾斜面２２０により全周にわたり支持されることになって、ワーク保持孔２が樹脂インサート部３を保持する保持力を高めることができる。

【0048】

さらに、ワーク保持孔２の周方向に凹凸（凹部２１１と凸部２１２，凹部２２１と凸部２２２）が形成されることによって、その凹凸による嵌合と凹凸の全長に形成された正傾斜面２１０及び負傾斜面２２０との相乗効果により、キャリア基板１と樹脂インサート部３との一体性が高いワークキャリア１０とすることができる。特に、周方向に凹凸が連続して形成された場合は、キャリア基板１と樹脂インサート部３は一層高い一体性を確保することができる。

【0049】

また、複数の凹凸（凹部２１１，凸部２１２，凹部２１１，凸部２１２（又は凹部２２１，凸部２２２，凹部２２１，凸部２２２））に連続して正傾斜面２１０（又は負傾斜面２２０）を形成するのであれば、切断を中断する回数が減って効率的に切断加工が行えるようになる。

【0050】

さらに、本実施の形態のワークキャリア１０の製造方法であれば、キャリア基板１の表側から周方向に間隔を置いて正傾斜面２１０を切断加工する工程と、キャリア基板１の裏側から周方向に負傾斜面２２０を切断加工する工程とによって、ワーク保持孔２の穿孔のための切断加工と、傾斜面（２１０，２２０）の成形とを同時に行うことができる。

【0051】

また、切断加工が行われると、キャリア基板１には応力や加工熱が作用して反りやうねりなどの加工ひずみが発生することがあるが、表側と裏側の両方から切断加工を行うことで、加工ひずみを相殺させて減少させることができる。特に、ワーク保持孔２の周方向に等間隔で表加工と裏加工とを交互に繰り返すことで、より平坦度の高いキャリア基板１に加工することができる。

【0052】

さらに、上記したステップＳ２では、外形部１１及び研磨剤供給孔１２，・・・を裏側から切断加工すると説明したが、これに限定されるものではなく、平坦度や平行度がより高いキャリア基板１にするために、外形部１１や研磨剤供給孔１２，・・・についても、表側と裏側の両方から切断加工させることができる。

【0053】

また、射出成形によって樹脂インサート部３を設けることで、接着剤を使用せずに、キャリア基板１に樹脂インサート部３を取り付けることができる。このため、樹脂インサート部３のみが摩耗、破損又は劣化して交換が必要になった場合には、樹脂インサート部３を加熱するだけで容易に取り除くことができる。

【実施例】

【0054】

以下、前記実施の形態で説明したワークキャリア１０とは別の形態の実施例について、図７，図８Ａ，図８Ｂを参照しながら説明する。なお、前記実施の形態で説明した内容と同一乃至均等な部分の説明については、同一用語又は同一符号を用いて説明する。

【0055】

実施例で説明するワークキャリア１０は、ワーク保持孔２Ａの内周面に凹凸が形成されていないキャリア基板１Ａと、樹脂インサート部３Ａとによって主に構成される。

【0056】

すなわち、図７に示すように、キャリア基板１Ａのワーク保持孔２Ａの内周面は、平面視略円弧状の正傾斜面２１０と平面視略円弧状の負傾斜面２２０とが、周方向に交互に連続して形成される。

【0057】

表加工によって形成される正傾斜部２１Ａと裏加工によって形成される負傾斜部２２Ａの長さ（範囲）は、任意に設定することができる。実施例では、同じ長さの正傾斜部２１Ａと負傾斜部２２Ａとが交互に繰り返し形成される場合について説明する。

【0058】

樹脂インサート部３Ａは、図８Ａ，図８Ｂのそれぞれの断面図に示したように、正傾斜部２１Ａの正傾斜面２１０と、負傾斜部２２Ａの負傾斜面２２０とにそれぞれ密着して形成される。

【0059】

このように構成された実施例のワークキャリア１０は、ワーク保持孔２Ａの周方向に交互に、表裏方向に対する傾斜が反対となる正傾斜面２１０と負傾斜面２２０とが連続して形成され、それらの傾斜面（２１０，２２０）に密着して樹脂インサート部３Ａが設けられる。

【0060】

傾斜が反対となる正傾斜面２１０と負傾斜面２２０とが設けられることにより、キャリア基板１Ａの表裏いずれの方向に対しても樹脂インサート部３Ａがワーク保持孔２Ａから脱落することを防止できるようになる。
例えば射出成形によって樹脂インサート部３Ａを設けた場合、冷却して固化させた際に収縮が起きるが、両方向の傾斜面（２１０，２２０）が設けられていれば、樹脂インサート部３Ａが多少収縮したとしても脱落を防ぐことができる。

【0061】

また、正傾斜部２１Ａと負傾斜部２２Ａは、切断線が円弧状と単純な形状であるため、容易に切断加工を行うことができる。しかしながら正傾斜面２１０と負傾斜面２２０がワーク保持孔２Ａの周方向に連続して設けられるため、樹脂インサート部３Ａの対峙面、つまりワーク保持孔２Ａの内周面と接する面が正傾斜面２１０と負傾斜面２２０により全周にわたり支持されることになって、ワーク保持孔２Ａが樹脂インサート部３Ａを保持する保持力を高めることができる。

【0062】

さらに、交互に形成された正傾斜面２１０と負傾斜面２２０は、樹脂インサート部３Ａが周方向に移動する（ずれる）ことを防止することができる。すなわち凹凸を設けなくても、回り止め機能を発揮させることができる。
なお、実施例のこの他の構成及び作用効果については、前記実施の形態と略同様であるため説明を省略する。

【0063】

以上、図面を参照して、本発明の実施の形態及び実施例を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態及び実施例に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。

【0064】

例えば前記実施の形態及び実施例では、ワーク保持孔２，２Ａが円形のワークキャリア１０について説明したが、これに限定されるものではない。例えば図９に示すように、長方形（正方形を含む）のワーク保持孔２Ｂを有するワークキャリア１０Ｂに対しても本発明を適用することができる。要するに、長方形のワーク保持孔２Ｂの内周面の周方向に正傾斜面２１０と負傾斜面２２０とを連続して形成して、その内周面に沿って長方形の樹脂インサート部３Ｂを設けることができる。さらに、ワーク保持孔は、円形及び長方形以外の別の形状であってもよい。

【0065】

また、前記実施の形態では、キャリア基板１をレーザー加工により切断加工する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ウォータージェット加工、ワイヤー加工など傾斜面（２１０，２２０）を形成できる切断加工であればよい。

【0066】

ウォータージェット加工は、高圧水をノズルより噴出させて行われる切断加工で、傾斜面を形成しつつ精密な切断を行うことができる。また、水に研磨材を添加することで、硬質の材料であっても切断が可能になる。
ワイヤー加工は、ワイヤー線とキャリア基板との間に電圧を印加し放電を起して行われる切断加工で、傾斜面を形成しつつ精密な切断を行うことができる。

【0067】

さらに、前記実施の形態では、２つの凹部２１１，２１１（２２１，２２１）と２つの凸部２１２，２１２（２２２，２２２）とによって構成される正傾斜部２１（負傾斜部２２）を例に説明したが、これに限定されるものではなく、１つの凹凸の組み合わせや５つの凹凸の組み合わせなど、凹凸の数は任意に設定することができる。

【0068】

また、正傾斜面２１０と負傾斜面２２０との切り替えは、凹凸の平面視の辺ごとに行うこともできる。例えば、台形状の凹凸の下底を正傾斜面２１０として隣接する辺を負傾斜面２２０としたり、下底と隣接する辺の２辺を正傾斜面２１０としてそれに続く２辺を負傾斜面２２０としたりと、正傾斜面２１０及び負傾斜面２２０を連続させる辺の数（表加工領域及び裏加工領域の範囲）は、任意に設定することができる。

【0069】

また、前記実施の形態では、ワーク保持孔２の内周面の全周に凹凸が連続して形成される場合について説明したが、これに限定されるものではなく、凹凸は周方向に一定又は任意の間隔を置いて断続的に設けられていてもよい。

【符号の説明】

【0070】

１０，１０Ｂ ワークキャリア
１，１Ａ キャリア基板
２，２Ａ，２Ｂ ワーク保持孔
２１０ 正傾斜面
２１，２１Ａ 正傾斜部
２１１ 凹部
２１２ 凸部
２２０ 負傾斜面
２２，２２Ａ 負傾斜部
２２１ 凹部
２２２ 凸部
３，３Ａ，３Ｂ 樹脂インサート部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図5C】

【図5D】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図7】

【図8A】

【図8B】

【図9】