特許 6675468 圧電振動片及び圧電振動子

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6675468

(24)【登録日】2020年3月12日

(45)【発行日】2020年4月1日

(54)【発明の名称】圧電振動片及び圧電振動子

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/19 20060101AFI20200323BHJP

   H03H 9/215 20060101ALI20200323BHJP

【ＦＩ】

   H03H9/19 J

   H03H9/215

【請求項の数】8

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2018-229581(P2018-229581)

(22)【出願日】2018年12月7日

(62)【分割の表示】特願2014-202012(P2014-202012)の分割

【原出願日】2014年9月30日

(65)【公開番号】特開2019-37009(P2019-37009A)

(43)【公開日】2019年3月7日

【審査請求日】2018年12月10日

(73)【特許権者】

【識別番号】713005174

【氏名又は名称】エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142837

【弁理士】

【氏名又は名称】内野 則彰

(74)【代理人】

【識別番号】100166305

【弁理士】

【氏名又は名称】谷川 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100171251

【弁理士】

【氏名又は名称】篠田 拓也

(72)【発明者】

【氏名】小林 高志

【審査官】 石田 昌敏

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１４−１７９８０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３４５５１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０２２９６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１４８８５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１０３９５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１４７５９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０１９４４１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０３Ｈ ９／００− ９／６６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基部と、
前記基部から第一方向に延び、前記第一方向と交差する第二方向に離間して配置された一対の振動腕部と、
前記基部から前記第一方向に延びる支持腕部と、を備え、
前記支持腕部は、
前記基部における、前記振動腕部が延出している箇所の間から、前記振動腕部の長さ方向に向かって延び、
前記支持腕部の先端部側に向かうにしたがって前記第二方向に沿った長さである幅が次第に狭くなるように形成された第一腕部と、
該第一腕部から前記第一方向に延び、前記先端部側に向かうにしたがって前記幅が広くなるように形成された第二腕部と、を有し、
マウント電極が形成されるマウント部が、前記第一腕部の主面及び前記第二腕部の主面に設けられていることを特徴とする圧電振動片。

【請求項2】

基部と、
前記基部から第一方向に延び、前記第一方向と交差する第二方向に離間して配置された一対の振動腕部と、
前記基部から前記第一方向に延びる支持腕部と、を備え、
前記支持腕部は、
前記基部における、前記振動腕部が延出している箇所の間から、前記振動腕部の長さ方向に向かって延び、
前記支持腕部の先端部側に向かうにしたがって前記第二方向に沿った長さである幅が次第に狭くなるように形成された第一腕部と、
該第一腕部から前記第一方向に延び、前記先端部側に向かうにしたがって前記幅が広くなるように形成された第二腕部と、を有し、
前記支持腕部は、前記基部から延びる延出腕部と、前記延出腕部と連続して形成された第一腕部と、前記第一腕部と連続して形成された第二腕部とを有し、
マウント電極を有するマウント部が、前記延出腕部の主面から第一腕部にわたって設けられ、さらに第二腕部の主面にも設けられていることを特徴とする圧電振動片。

【請求項3】

基部と、
前記基部から第一方向に延び、前記第一方向と交差する第二方向に離間して配置された一対の振動腕部と、
前記基部から前記第一方向に延びる支持腕部と、を備え、
前記支持腕部は、
前記基部における、前記振動腕部が延出している箇所の間から、前記振動腕部の長さ方向に向かって延び、
前記支持腕部の先端部側に向かうにしたがって前記第二方向に沿った長さである幅が次第に狭くなるように形成された第一腕部と、
該第一腕部から前記第一方向に延び、前記先端部側に向かうにしたがって前記幅が広くなるように形成された第二腕部と、を有し、
前記第二腕部の前記幅寸法の前記第一方向に沿った変化率は、前記第一腕部の前記幅寸法の前記第一方向に沿った変化率よりも、大きいことを特徴とする圧電振動片。

【請求項4】

前記第一腕部及び前記第二腕部の両側面は、それぞれ平面状に形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の圧電振動片。

【請求項5】

前記支持腕部は、前記基部側から延び、先端側が前記第一腕部の基端側と接続された延出腕部を有し、
前記延出腕部の側面のうち基部側には、異形部が形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の圧電振動片。

【請求項6】

前記支持腕部は、
前記第二腕部から前記第一方向に延び、前記幅が一定とされた先端腕部を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の圧電振動片。

【請求項7】

前記第一腕部と前記第二腕部との境界部は、前記支持腕部における前記第一方向の中間位置よりも前記基部側に位置していることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の圧電振動片。

【請求項8】

ベース部材と、
前記ベース部材に重ね合わされて接合されるとともに前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティが形成されたリッド部材と、を有するパッケージと、
前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティの内部に収容された請求項１から７のいずれか一項に記載の圧電振動片と、を備えることを特徴とする圧電振動子。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電振動片及び圧電振動子に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来から、携帯電話や携帯情報端末器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子が採用される場合が多い。この種の圧電振動子として、キャビティが形成されたパッケージ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。

【0003】

このような圧電振動片として、基部と、基部から延びる一対の振動腕及び支持腕と、を備えたものが知られている。また、支持腕の基端側の部分は、先端側に向かうにしたがって次第に幅が狭くなるようにテーパー状に形成され、支持腕の先端側の部分は、幅広に形成された圧電振動片が提案されている（下記特許文献１参照）。

【0004】

また、支持腕が、基部から振動腕の延在方向と平行に延びる第２の直線部と、第２の直線部の先端に連続して設けられ湾曲形成された湾曲部と、湾曲部の先端に連続して設けられ振動腕の延在方向と平行に延びる第１の直線部と、を備えた圧電振動片が提案されている（下記特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１０−８７５７４号公報

【特許文献2】特開２００９−１１８３０２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上記の特許文献１に記載の圧電振動片では、支持腕の先端側の幅広に形成された部分と基端側のテーパー状に形成された部分との境界部分に段部が形成されており、当該段部にいわゆるエッチング残りが発生しやすい。このため、当該段部において、支持腕に欠けが生じたり、支持腕が折れてしまったりするという問題点がある。

【0007】

また、上記の特許文献２に記載の圧電振動片では、支持腕が湾曲形成されているため、圧電振動片からパッケージ側への振動漏れ（振動エネルギーの漏洩）の発生を低減できない可能性がある。
また、支持腕の幅寸法（一対の支持腕の離間方向の長さ）は一定であるため、パッケージに実装される第１の直線部の先端側において、接合面積を十分に確保できず、実装強度が不十分になるという問題点もある。

【0008】

そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、支持腕部の破損を抑制しつつ、振動漏れの発生を低減し、さらに実装強度の高い圧電振動片及び圧電振動子を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用している。
すなわち、本発明に係る圧電振動片は、基部と、前記基部から第一方向に延び、前記第一方向と交差する第二方向に離間して配置された一対の振動腕部と、前記基部から前記第一方向に延びる支持腕部と、を備え、前記支持腕部は、前記基部における、前記振動腕部が延出している箇所の間から、前記振動腕部の長さ方向に向かって延び、前記支持腕部の先端部側に向かうにしたがって前記第二方向に沿った長さである幅が次第に狭くなるように形成された第一腕部と、該第一腕部から前記第一方向に延び、前記先端部側に向かうにしたがって前記幅が広くなるように形成された第二腕部と、を有していることを特徴とする。

【0010】

このように構成された圧電振動片では、支持腕部の第一腕部は先端部側に向かうにしたがって幅が次第に狭くなるように形成されているため、振動漏れの発生を抑制することができる。
また、支持腕部の第二腕部は先端部側に向かうにしたがって幅が次第に広くなるように形成されているため、第二腕部の先端側における面積を大きくすることができる。よって、第二腕部の先端側がパッケージに実装される際には、実装面積を大きくすることができるため、圧電振動片のパッケージに対する実装強度を高めることができる。
また、エッチング残りが発生しやすい支持腕部の基端側、つまり第一腕部の基端側において、その幅は、第一腕部の先端側よりも広く形成されている。よって、第一腕部の基端側での強度を確保することができため、支持腕部の基端側での破損を抑制することができる。また、支持腕部に段部や切欠きが形成されるとエッチング残りが発生しやすいが、支持腕部はその幅が第一方向に沿って次第に変化するように形成されている。よって、支持腕部は、第一方向に沿って、エッチング残りの発生が抑制される。

【0011】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記支持腕部は、第二腕部に連続して形成され、長さ方向に沿って延びている先端腕部を有し、
マウント電極が形成されるマウント部が、前記先端腕部の主面に設けられていることが望ましい。

【0012】

また、本発明に係る圧電振動片は、マウント電極が形成されるマウント部が、前記第一腕部の主面及び前記第二腕部の主面に設けられていることが望ましい。

【0013】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記支持腕部は、前記基部から延びる延出腕部と、前記延出腕部と連続して形成された第一腕部と、前記第一腕部と連続して形成された第二腕部とを有し、
マウント電極を有するマウント部が、前記延出腕部の主面から第一腕部にわたって設けられ、さらに第二腕部の主面にも設けられていることが望ましい。

【0014】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記第一腕部及び前記第二腕部の両側面は、それぞれ平面状に形成されていることが好ましい。

【0015】

このように構成された圧電振動片では、第一腕部及び第二腕部の両側面はそれぞれ平面状に形成されているため、支持腕部を簡易に製造することができる。

【0016】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記支持腕部は、前記基部側から延び、先端側が前記第一腕部の基端側と接続された延出腕部を有し、前記延出腕部の側面のうち基部側には、異形部が形成されていてもよい。

【0017】

このように構成された圧電振動片では、第一方向に向かって幅が狭くなるように形成された第一腕部は、延出腕部よりも支持腕部の先端部側に設けられている。よって、異形部が生じやすい支持腕部の基端側、つまり延出腕部は、その幅が第一腕部の先端側よりも広くなるように形成されているため、支持腕部の基端側での応力集中による破損を抑制することができる。

【0018】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記支持腕部は、前記第二腕部から前記第一方向に延び、前記幅が一定とされた先端腕部を有していてもよい。

【0019】

このように構成された圧電振動片では、第一方向に沿って幅が狭くなる場合よりも、先端腕部の幅が一定とされているため、先端腕部の面積が広くなる。本発明では、実装するために先端腕部に塗布される導電性接着剤は、支持腕部の幅方向（第二方向）に沿って濡れ広がりやすいため、第一方向への濡れ広がりすぎることが抑制される。よって、導電性接着剤が濡れ広がりすぎて塗布する必要のない第一腕部にまで到達することが抑制され、先端腕部及び第二腕部をパッケージに確実に実装することができる。
また、先端腕部の幅は一定とされているため、先端腕部では第一方向に沿って導電性接着剤が均一に塗布される。よって、先端腕部における第一方向に沿った質量のばらつきが抑制されるため、実装強度を高めることができる。

【0020】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記第一腕部と前記第二腕部との境界部は、前記支持腕部における前記第一方向の中間位置よりも前記基部側に位置していてもよい。

【0021】

このように構成された圧電振動片では、境界部は支持腕部の第一方向の中間位置よりも基部側に配置されているため、支持腕部の先端部から境界部までの距離を長くすることができる。よって、支持腕部の先端部に塗布された導電性接着剤が第一方向へ濡れ広がったとしても、境界部にまで到達することが抑制される。よって、境界部に導電性接着剤が付着して、導電性接着剤を介して振動が漏れることが抑制される。

【0022】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記第一腕部及び前記第二腕部の一方の側面は、前記第一方向に向かって延びる平面状に形成され、前記第一腕部の他方の側面は、先端部側に向かうにしたがって次第に前記第一腕部の前記一方の側面に近づくように平面状に形成され、前記第二腕部の他方の側面は、先端部側に向かうにしたがって次第に前記第二腕部の前記一方の側面から離れるように平面状に形成されていてもよい。

【0023】

このように構成された圧電振動片では、第一腕部及び第二腕部の一方の側面は、第一方向に向かって延びる平面状に形成されているため、支持腕部を簡易に製造することができる。

【0024】

また、本発明に係る圧電振動片は、前記第二腕部の前記幅寸法の前記第一方向に沿った変化率は、前記第一腕部の前記幅寸法の前記第一方向に沿った変化率よりも、大きくてもよい。

【0025】

このように構成された圧電振動片では、第二腕部の幅寸法の第一方向に沿った変化率は、第一腕部の幅寸法の第一方向に沿った変化率よりも、大きい。よって、第二腕部の幅が広くなる変化率が大きいため、振動漏れを確実に抑制することができる。

【0026】

また、本発明に係る圧電振動子は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されるとともに前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティが形成されたリッド部材と、を有するパッケージと、前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティの内部に収容された上記のいずれか一に記載の圧電振動片と、を備えることを特徴とする。

【0027】

このように構成された圧電振動子では、支持腕部の第一腕部は先端部側に向かうにしたがって幅が次第に狭くなるように形成されているため、振動漏れの発生を抑制することができる。
また、支持腕部の第二腕部は先端部側に向かうにしたがって幅が次第に広くなるように形成されているため、第二腕部は先端部側の面積は、第一方向に沿って幅が狭くなる場合よりも広くなる。よって、第二腕部の先端側がパッケージに実装される際には、実装面積を大きくすることができるため、圧電振動片のパッケージに対する実装強度を高めることができる。
また、エッチング残りが発生しやすい支持腕部の基端側、つまり第一腕部の基端側において、その幅は、第一腕部の先端側よりも広く形成されている。よって、第一腕部の基端側での強度を確保することができため、支持腕部の基端側での破損を抑制することができる。また、支持腕部に段部や切欠きが形成されるとエッチング残りが発生しやすいが、支持腕部はその幅が第一方向に沿って次第に変化するように形成されている。よって、支持腕部は、第一方向に沿って、エッチング残りの発生が抑制される。

【発明の効果】

【0028】

本発明に係る圧電振動片及び圧電振動子によれば、支持腕部の破損を抑制しつつ、振動漏れの発生を低減し、さらに実装強度を高くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す外観斜視図である。

【図2】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す分解斜視図である。

【図3】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。

【図4】図３におけるＡ−Ａ断面図である。

【図5】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を構成する圧電振動片を示す外観斜視図である。

【図6】本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を構成する圧電振動片を示す（ａ）平面図であり、（ｂ）側面図である。

【図7】本発明の第一実施形態の変形例１に係る圧電振動子を構成する圧電振動片を示す（ａ）平面図であり、（ｂ）側面図である。

【図8】本発明の第一実施形態の変形例２に係る圧電振動子を構成する圧電振動片を示す（ａ）平面図であり、（ｂ）側面図である。

【図9】本発明の（ａ）第二実施形態に係る圧電振動片の平面図であり、（ｂ）第二実施形態の変形例１に係る圧電振動片の平面図であり、（ｃ）第二実施形態の変形例２に係る圧電振動片の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

（第一実施形態）
本発明の第一実施形態として、圧電振動子について説明する。
図１は、本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す外観斜視図である。図２は、本発明の第一実施形態に係る圧電振動子を示す分解斜視図である。図３は、本発明の第一実施形態に係る圧電振動子の内部構造を示す平面図である。図４は、図３におけるＡ−Ａ断面図である。
以下に説明する図１〜図９までの説明においてはＸＹＺ座標系を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動子１（図１参照）の厚み方向をＺ軸方向、圧電振動子１の長手方向をＹ軸方向、圧電振動子１の短手方向であってＹ軸方向とＺ軸方向の両方と直交する方向をＸ軸方向とする。

【0031】

（圧電振動子）
図１〜４に示すように、圧電振動子１は、外形が略直方体状のいわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。圧電振動子１は、気密封止されたキャビティＣ１が形成されたパッケージ２と、キャビティＣ１の内部に収容された圧電振動片１００と、を備える。

【0032】

パッケージ２は、パッケージ本体（ベース部材）３と、パッケージ本体３に重ね合わされて接合された封口板（リッド部材）４と、を有している。

【0033】

パッケージ本体３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１と、第二ベース基板５１の上部に接合されたシールリング５２と、を有している。

【0034】

第一ベース基板５０は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第二ベース基板５１は、第一ベース基板５０と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第一ベース基板５０上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。

【0035】

第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部５８が、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１の厚さ方向の全体にわたって形成されている。これら第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１は、例えば、ウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、前述した切欠部５８となる。

【0036】

また、第二ベース基板５１の上面は、圧電振動片１００がマウントされる実装面５１Ａとされている。

【0037】

また、第二ベース基板５１には、厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通孔５１Ｈが形成されている。貫通孔５１Ｈは、平面視において、四隅が丸みを帯びた正方形状に形成されている。

【0038】

この第二ベース基板５１と第一ベース基板５０とが互いに重ね合わされて接合された状態において、貫通孔５１Ｈは、第二ベース基板５１の実装面５１Ａから第二ベース基板５１の厚さ方向（Ｚ軸方向）に凹む凹部５１Ｐとされている。

【0039】

なお、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。

【0040】

シールリング５２は、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材である。シールリング５２は、第二ベース基板５１の実装面５１Ａに接合されている。
具体的には、シールリング５２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面５１Ａ上に接合、あるいは、実装面５１Ａ上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタリング法等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。

【0041】

なお、シールリング５２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すればよい。特に、シールリング５２の材料としては、セラミック製とされている第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第一ベース基板５０及び第二ベース基板５１として、熱膨張係数６．８×１０^-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング５２としては、熱膨張係数５．２×１０−６／℃のコバールや、熱膨張係数４．５×１０^-6／℃以上、６．５×１０^-6／℃以下の４２−アロイを用いることが好ましい。

【0042】

封口板４は、シールリング５２の上部に重ねられた導電性基板である。封口板４は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付け等によって、シールリング５２と気密に接合されている。そして、この封口板４とシールリング５２と第二ベース基板５１の実装面５１Ａとで画成された空間が、気密封止されたキャビティＣ１として機能する。

【0043】

尚、封口板４の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板４とシールリング５２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板４の下面と、シールリング５２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。

【0044】

第二ベース基板５１の実装面５１Ａ上には、凸部６０，６０が設けられている。凸部６０は、圧電振動片１００が実装されている側に突出して形成されており、平面視形状は特に限定されず、矩形状であっても、他の形状であってもよい（図では矩形状）。

【0045】

凸部６０の上面は、実装面５１Ａと平行である。凸部６０は、実装面５１Ａにおいて凹部５１Ｐの−Ｙ軸方向側に、実装面５１Ａの幅方向（Ｘ軸方向）の中心を挟んで２つ、対称の位置に設けられている。凸部６０，６０の上面には、圧電振動片１００との接続電極である電極パッド６１Ａ，６１Ｂがそれぞれ形成されている。

【0046】

第一ベース基板５０の下面には、一対の外部電極６２Ａ，６２Ｂが、圧電振動子１の長手方向（Ｙ軸方向）に間隔をあけて形成されている。

【0047】

これら電極パッド６１Ａ，６１Ｂ及び外部電極６２Ａ，６２Ｂは、例えば、蒸着やスパッタリング法等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜である。

【0048】

電極パッド６１Ａと外部電極６２Ａとは、図示しない第一配線により電気的に接続されている。また、電極パッド６１Ｂと外部電極６２Ｂとは、図示しない第二配線により電気的に接続されている。

【0049】

なお、第一配線は、例えば、第一ベース基板５０を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して外部電極６２Ａと導通する第一貫通電極と、第二ベース基板５１を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して電極パッド６１Ａと導通する第二貫通電極と、第一ベース基板５０と第二ベース基板５１との間に設けられ第一貫通電極と第二貫通電極とを接続する接続配線と、を含む。電極パッド６１Ｂと外部電極６２Ｂとを接続する第二配線は、第一配線と同様の構成である。第一配線及び第二配線の構成は、適宜選択できる。
り、互いにそれぞれ導通している。

【0050】

（圧電振動片）
図５は、圧電振動片１００を示す外観斜視図である。図６は、圧電振動片１００を示す（ａ）平面図であり、（ｂ）側面図である。
図５，６に示すように、圧電振動片１００は、平板状に形成されている。圧電振動片１００は、基部１１０と、基部１１０に接続され、幅方向（Ｘ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂと、基部１１０における振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）の両側に接続された一対の支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂと、を備えている。

【0051】

圧電振動片１００は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成されたサイドアーム型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
圧電振動片１００の面に垂直な方向の厚さ（Ｚ軸方向長さ）としては、例えば、３０μｍとすることができる。

【0052】

本実施形態において、基部１１０、一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ及び支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、一体に形成され、隣接する各部が界面なく連続している。図６において、各部の範囲を示すために、各部の基端又は先端を２点鎖線で示している。

【0053】

基部１１０は、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂと、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂとを、接続している。平面視（ＸＹ面視）において、基部１１０は、矩形状に形成されている。基部１１０における振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅方向両側（±Ｘ側）の端部には、それぞれ支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂが接続されている。基部１１０における支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向一方側（＋Ｙ側）には、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂが接続されている。

【0054】

振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂは、基部１１０から支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向、第一方向）に向かって延びている。振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂは、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片１００の面と平行な方向（第二方向、Ｘ軸方向）に並んで設けられている。

【0055】

振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂは、それぞれ幅（Ｘ軸方向長さ）が均一な幅で直線的に延びる帯状部１２１と、帯状部１２１の先端に設けられ、幅（Ｘ軸方向長さ）が帯状部１２１よりも広いハンマー部１２２と、を有している。

【0056】

帯状部１２１には、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に帯状に延びる溝部１２１Ｍが形成されている。
なお、本実施形態では、各振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂに一の溝部１２１Ｍが形成されているが、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に離間して複数の溝部が形成されていてもよい。例えば、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの先端側に＋Ｙ軸方向に長さの長い溝部が形成され、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの基端側に＋Ｙ軸方向に長さの短い溝部が形成されていてもよい。

【0057】

ハンマー部１２２は、帯状部１２１の先端部から、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びるように形成されている。ハンマー部１２２の幅（Ｘ軸方向長さ）は、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部１２２は、基部１１０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。

【0058】

また、一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの外表面上には、これら一対の振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂを振動させる不図示の励振電極が形成されている。

【0059】

支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、基部１１０から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びている。支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片１００の面と平行な方向（Ｘ軸方向）に並んで設けられている。

【0060】

支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、それぞれ基部１１０から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に延びる基端腕部１３１と、基端腕部１３１から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びる延出腕部１３２と、を有している。さらに、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、延出腕部１３２から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びる第一腕部１３３と、第一腕部１３３から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びる第二腕部１３４と、を有している。さらに、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、第二腕部１３４から振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びる先端腕部１３５と、先端腕部１３５に設けられた傾斜腕部１３６と、を有している。これら基端腕部１３１、延出腕部１３２、第一腕部１３３、第二腕部１３４、先端腕部１３５及び傾斜腕部１３６は、一体に形成されている。

【0061】

基端腕部１３１は、基部１１１０の−Ｙ軸側から、振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に延びている。基端腕部１３１のＹ軸方向の長さは、基部１１０のＹ軸方向の長さよりも短い。

【0062】

延出腕部１３２は、長さ方向（＋Ｙ軸方向）にわたって幅（Ｘ軸方向長さ）が一定とされている。延出腕部１３２の基部１１０側の側面、本実施形態では延出腕部１３２における振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂ側を向く側面１３２Ｓと基端腕部１３１における長さ方向（＋Ｙ軸方向）を向く面１３１Ｓとで形成される隅部には、エッチング残りＥ（異形部）が形成されている。なお、エッチング残りＥは、第一腕部１３３には形成されていない。

【0063】

第一腕部１３３は、基部１１０側（−Ｙ軸側）の幅（Ｘ軸方向長さ）が、延出腕部１３２の先端側の幅と同一とされ、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側、つまり＋Ｙ軸方向に向かうにしたがって幅が次第に狭くなるように形成されている。

【0064】

本実施形態では、第一腕部１３３の主面（ＸＹ面）１３３Ａと直交する両側面１３３Ｓ，１３３Ｔは、平面状に形成されている。この第一腕部１３３の両側面１３３Ｓ，１３３Ｔは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に互いに近接するように形成されている。

【0065】

第二腕部１３４は、基部１１０側（−Ｙ軸側）の幅（Ｘ軸方向長さ）が、第一腕部１３３の先端側の幅と同一とされている。第二腕部１３４は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚ側、つまり＋Ｙ軸方向に向かうにしたがって幅が次第に広くなるように形成されている。

【0066】

第二腕部１３４の主面（ＸＹ面）１３４Ａと直交する両側面１３４Ｓ，１３４Ｔは、第一腕部１３３の両側面１３３Ｓ，１３３Ｔとそれぞれ連続して形成されている。本実施形態では、第二腕部１３４の両側面１３４Ｓ，１３４Ｔは、平面状に形成されている。この第二腕部１３４の両側面１３４Ｓ，１３４Ｔは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に互いに離間するように形成されている。

【0067】

本実施形態では、第一腕部１３３と第二腕部１３４との境界部１３３Ｘを挟んで、第一腕部１３３と第二腕部１３４とは対称に形成されている。これにより、第一腕部１３３の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿った幅寸法の変化率は、第二腕部１３４の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿った幅寸法の変化率と、同一とされている。

【0068】

また、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）において、第一腕部１３３と第二腕部１３４との境界部１３３Ｘは、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの第一方向の中間位置１３０Ｍよりも、基部１１０側に位置している。

【0069】

先端腕部１３５は、第二腕部１３４に連続して形成され、長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿って延びている。先端腕部１３５の幅（Ｘ軸方向長さ）は、第二腕部１３４の先端側の幅と同一にとされるとともに、長さ方向（＋Ｙ軸方向）にわたって一定とされている。

【0070】

先端腕部１３５の対向面（ＸＹ面）１３５Ｂ面には、マウント部１４１Ａ，１４１Ｂが設けられている。マウント部１４１Ａ，１４１Ｂが設けられている位置は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂが振動する際に、振動の節となる位置である。

【0071】

傾斜腕部１３６は、先端腕部１３５の先端に設けられている。傾斜腕部１３６の側面１３６Ｓ，１３６Ｔのうち振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂから遠い方の側面１３６Ｔには、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂに近づくように形成された傾斜面１３６Ｘが設けられている。

【0072】

そして、図４に示すように、圧電振動片１００は、導電性接着剤７０を介して、マウント部１４１Ａ，１４１Ｂに形成されている図示しないマウント電極が、電極パッド６１Ａ，６１Ｂに接触するようにマウントされている。

【0073】

これにより、圧電振動片１００は、第二ベース基板５１の実装面５１Ａに対して、主面が平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１Ａ，６１Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。

【0074】

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、外部電極６２Ａ，６２Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片１００の励振電極に電流を流すことができ、一方の振動腕部１２０Ａと他方の振動腕部１２０Ｂとを圧電振動片１００の面に沿って所定の周波数で振動させることができる。そして、この振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として圧電振動子１を利用することができる。

【0075】

なお、マウント電極を電極パッド６１Ａ，６１Ｂに接合する導電性接合材として、導電性接着剤の代わりに金属バンプを使用することも可能である。導電性接着剤と金属バンプの共通点は、接合初期の段階において流動性を持つペースト状であり、接合後期の段階において固化して接合強度を発現する性質の導電性接合材であるということである。

【0076】

このように構成された圧電振動子１では、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの第一腕部１３３は先端部１３０Ｚ側に向かうにしたがって幅が次第に狭くなるように形成されているため、振動漏れの発生を抑制することができる。

【0077】

また、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの第二腕部１３４は先端部１３０Ｚ側に向かうにしたがって幅が次第に広くなるように形成されているため、第二腕部１３４の先端側における面積を大きくすることができる。よって、第二腕部１３４の先端側、つまり先端腕部１３５がパッケージ２に実装される際には、実装面積（マウント部１４１Ａ，１４１Ｂの面積）を大きくすることができるため、圧電振動片１００のパッケージ２に対する実装強度を高めることができる。

【0078】

また、エッチング残りＥが発生しやすい支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの基端側、つまり延出腕部１３２において、その幅は、第一腕部１３３の先端側よりも広く形成されている。よって、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの基端側での剛性を確保することができため、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの基端側での応力集中による破損を抑制することができる。

【0079】

また、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂに段部や切欠きが形成されるとエッチング残りＥが発生しやすいが、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂはその幅が長手方向（Ｙ軸方向）に沿って次第に変化するように形成されている。よって、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂは、長手方向（Ｙ軸方向）に沿って、エッチング残りＥの発生が抑制される。

【0080】

また、第一腕部１３３及び第二腕部１３４の両側面１３３Ｓ，１３３Ｔ，１３４Ｓ，１３４Ｔはそれぞれ平面状に形成されているため、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂを簡易に製造することができる。

【0081】

また、本実施形態では、例えば長手方向（Ｙ軸方向）に沿って幅が狭くなる場合よりも、先端腕部１３５の幅が長手方向（Ｙ軸方向）にわたって一定とされているため、先端腕部１３５の面積が広くなる。これにより、実装するためにマウント部１４１Ａ，１４１Ｂに塗布される導電性接着剤７０は、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの幅方向（Ｘ軸方向）に沿って濡れ広がりやすいため、圧電振動子１の長手方向（Ｙ軸方向）への濡れ広がりすぎることが抑制される。よって、導電性接着剤７０が濡れ広がりすぎて塗布する必要のない第一腕部１３３にまで到達することが抑制されるため、先端腕部１３５をパッケージ２に確実に実装することができる。

【0082】

また、先端腕部１３５の幅は一定とされているため、先端腕部１３５では圧電振動子１の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って導電性接着剤７０が均一に塗布される。よって、先端腕部１３５における圧電振動子１の長手方向（Ｙ軸方向）に沿った質量のばらつきが抑制されるため、実装強度を高めることができる。

【0083】

また、境界部１３３Ｘは支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの圧電振動子１の長手方向（Ｙ軸方向）の中間位置１３０Ｍよりも基部１１０側に配置されているため、支持腕部１３０Ａ，１３０Ｂの先端部１３０Ｚから境界部１３３Ｘまでの距離を長くすることができる。よって、マウント部１４１Ａ，１４１Ｂに塗布された導電性接着剤７０が圧電振動子１の長手方向（Ｙ軸方向）へ濡れ広がったとしても、境界部１３３Ｘにまで到達することはない。よって、境界部１３３Ｘに導電性接着剤７０が付着して、導電性接着剤７０を介して振動が漏れることが抑制される。

【0084】

（第一実施形態の変形例１）
次に、上記に示す第一実施形態の変形例１について、主に図７を用いて説明する。
なお、以下に説明する変形例及び実施形態においては、上記に示す実施形態と共通する構成については図中に同符号を付してその説明を省略する。

【0085】

図７は、本発明の第一実施形態の変形例１に係る圧電振動子を構成する圧電振動片を示す（ａ）平面図であり、（ｂ）側面図である。
図７に示すように、圧電振動片２００を構成する第一腕部２３３の両側面２３３Ｓ，２３３Ｔのうち振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂに近い方の内側面２３３Ｓは、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿うとともに、主面（ＸＹ面）と直交するＹＺ平面上に配置されている。

【0086】

また、第一腕部２３３の両側面２３３Ｓ，２３３Ｔのうち振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂから遠い方の外側面２３３Ｔは、第一実施形態と同様に、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に対向する内側面２３３Ｓに近接するように形成されている。このようにして、第一腕部２３３は、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂの先端部２３０Ｚ側、つまり＋Ｙ軸方向に向かうにしたがって幅が次第に狭くなるように形成されている。

【0087】

また、圧電振動片２００を構成する第二腕部２３４の両側面２３４Ｓ，２３４Ｔのうち振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂに近い方の内側面２３４Ｓは、第一腕部２３３の内側面２３３Ｓと同一面上に配置されている。つまり、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿うとともに、主面（ＸＹ面）と直交するＹＺ平面上に配置されている。

【0088】

また、第二腕部２３４の両側面２３４Ｓ，２３４Ｔのうち振動腕部１２０Ａ，１２０Ｂから遠い方の外側面２３４Ｔは、第一実施形態と同様に、第一腕部２３３の外側面２３３Ｔと連続して形成されている。第二腕部２３４の外側面２３４Ｔは、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に対向する内側面２３４Ｓから離間するように形成されている。このようにして、第二腕部２３４は、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂの先端部２３０Ｚ側、つまり＋Ｙ軸方向に向かうにしたがって幅が次第に広くなるように形成されている。

【0089】

このように構成された圧電振動片２００では、第一腕部２３３の内側面２３３Ｓ及び第二腕部２３４の内側面２３４Ｓは、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びる平面状に形成されているため、支持腕部２３０Ａ，２３０Ｂを簡易に製造することができる。
なお、第一腕部の外側面及び第二腕部の外側面が支持腕部の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びる平面状に形成されるとともに、第一腕部の内側面が支持腕部の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に対向する外側面に近接するように形成され、第二腕部の内側面が支持腕部の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に対向する外側面から離間するように構成されていてもよい。

【0090】

（第一実施形態の変形例２）
次に、上記に示す第一実施形態の変形例２について、主に図８を用いて説明する。
図８は、本発明の第一実施形態の変形例２に係る圧電振動子を構成する圧電振動片を示す（ａ）平面図であり、（ｂ）側面図である。
図８に示すように、圧電振動片３００において第一腕部３３３の両側面３３３Ｓ，３３３Ｔは、支持腕部３３０Ａ，３３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に互いに近接するように形成されている。第二腕部３３４の両側面３３４Ｓ，３３４Ｔは、支持腕部３３０Ａ，３３０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に互いに離間するように形成されている。

【0091】

第二腕部３３４の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿った幅寸法の変化率は、第一腕部３３３の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿った幅寸法の変化率よりも、大きい。換言すると、第一腕部３３３の幅寸法は長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に狭くなるのに対して、第二腕部３３４の幅寸法は長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって急激に広くなるように形成されている。

【0092】

このように構成された圧電振動片３００では、第二腕部３３４の幅が広くなる幅寸法の変化率が大きいため、振動漏れを確実に抑制することができる。

【0093】

（第二実施形態）
次に、第二実施形態に係る圧電振動片について、主に図９（ａ）を用いて説明する。
図９（ａ）は、本発明の第二実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
図９（ａ）に示すように、圧電振動片４００は、センターアーム型の振動片である。圧電振動片４００は、基部４１０と、一対の振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂと、支持腕部４３０と、を備えている。

【0094】

振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂは、基部４１０からそれぞれ同一の方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びている。振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂは、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片４００の面と平行な方向（Ｘ軸方向）に並んで設けられている。振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂの外表面上には、これら一対の振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂを振動させる不図示の励振電極が形成されている。

【0095】

振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂの先端部には、ハンマー部４２２がそれぞれ設けられている。ハンマー部４２２は、それぞれ振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂの先端部から、振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に延びるように形成されている。ハンマー部４２２の幅（Ｘ軸方向長さ）は、振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂの幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部４２２は、基部４１０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。

【0096】

支持腕部４３０は、基部４１０における、振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂが延出している箇所の間から、振動腕部４２０Ａ，４２０Ｂの長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かって延びている。支持腕部４３０は、基部４１０から延びる第一腕部４３３と、第一腕部４３３と連続して形成された第二腕部４３４と、第二腕部４３４と連続して形成された先端腕部４３５と、を有している。

【0097】

第一腕部４３３は、支持腕部４３０の先端部４３０Ｚ側、つまり＋Ｙ軸方向に向かうにしたがって幅が次第に狭くなるように形成されている。

【0098】

第一腕部４３３の両側面４３３Ｓ，４３３Ｔは、平面状に形成されている。第一腕部４３３の両側面４３３Ｓ，４３３Ｔは、支持腕部４３０の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に互いに近接するように形成されている。

【0099】

第二腕部４３４は、基部４１０側（−Ｙ軸側）の幅（Ｘ軸方向長さ）が、第一腕部４３３の先端側の幅と同一とされ、支持腕部４３０の先端部４３０Ｚ側、つまり＋Ｙ軸方向に向かうにしたがって幅が次第に広くなるように形成されている。

【0100】

第二腕部４３４の両側面４３４Ｓ，４３４Ｔは、第一腕部４３３の両側面４３３Ｓ，４３３Ｔとそれぞれ連続して形成されている。第二腕部４３４の両側面４３４Ｓ，４３４Ｔは、平面状に形成されている。第二腕部４３４の両側面４３４Ｓ，４３４Ｔは、支持腕部４３０の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に向かうにしたがって次第に互いに離間するように形成されている。

【0101】

本実施形態では、第一腕部４３３と第二腕部４３４との境界部４３３Ｘを挟んで、第一腕部４３３と第二腕部４３４とは対称に形成されている。これにより、第一腕部４３３の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿った幅寸法の変化率は、第二腕部４３４の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿った幅寸法の変化率と、同一とされている。

【0102】

先端腕部４３５は、第二腕部４３４に連続して形成され、長さ方向（＋Ｙ軸方向）に沿って延びている。先端腕部４３５の幅は、第二腕部４３４の先端側の幅と同一にとされ、幅（Ｘ軸方向長さ）が一定とされている。

【0103】

先端腕部４３５の主面（ＸＹ面）には、マウント部４４１Ａ，４４１Ｂが支持腕部４３０の長さ方向（＋Ｙ軸方向）に離間して設けられている。マウント部１４１Ａ，１４１Ｂが設けられている位置は、支持腕部４３０が振動する際に、振動の節となる位置である。

【0104】

そして、圧電振動片４００は、導電性接着剤（不図示）を介して、マウント部４４１Ａ，４４１Ｂに形成されているマウント電極（不図示）が、電極パッド（不図示）に接触するようにマウントされている。

【0105】

これにより、圧電振動片４００は、第二ベース基板５１（図２参照）の実装面５１Ａ（図２参照）に対して、主面が平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッドにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。

【0106】

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、外部電極６２Ａ，６２Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片４００の励振電極に電流を流すことができ、一方の振動腕部４２０Ａと他方の振動腕部４２０Ｂとを圧電振動片４００の面に沿って所定の周波数で振動させることができる。

【0107】

（第二実施形態の変形例１）
次に、上記に示す第二実施形態の変形例１について、主に図９（ｂ）を用いて説明する。
図９（ｂ）は、第二実施形態の変形例１に係る圧電振動片の平面図である。
図９（ｂ）に示すように、圧電振動片５００を構成する支持腕部５３０は、第一腕部５３３と、第二腕部５３４と、を有している。第一腕部５３３の主面（ＸＹ面）及び第二腕部５３４の主面（ＸＹ面）には、それぞれマウント部５４１Ａ，５４１Ｂが設けられている。

【0108】

このように構成された圧電振動片５００では、マウント部５４１Ａ（５４１Ｂ）に塗布された導電性接着剤（不図示）が支持腕部５３０の長手方向（Ｙ軸方向）に濡れ広がったとしてしても、境界部５３３Ｘで溜まって、他方のマウント部５４１Ｂ（５４１Ａ）側にまで到達することはないため、短絡を防止することができる。

【0109】

（第二実施形態の変形例２）
次に、上記に示す第二実施形態の変形例２について、主に図９（ｃ）を用いて説明する。
図９（ｃ）は、第二実施形態の変形例２に係る圧電振動片の平面図である。
図９（ｃ）に示すように、圧電振動片６００を構成する支持腕部６３０は、基部４１０から延びる延出腕部６３２と、延出腕部６３２と連続して形成された第一腕部６３３と、第一腕部６３３と連続して形成された第二腕部６３４と、を有している。延出腕部６３２の主面（ＸＹ面）から第一腕部４３３の主面（ＸＹ面）にわたってマウント部６４１Ａが設けられている。ま、第二腕部４３４の主面（ＸＹ面）に、マウント部６４１Ｂが設けられている。

【0110】

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

【0111】

例えば、上記に示す実施形態においては、第一腕部１３３の両側面１３３Ｓ，１３３Ｔ及び第二腕部１３４の両側面１３４Ｓ，１３４Ｔは平面状に形成されているが、本発明はこれに限られない。第一腕部の側面及び第二腕部の側面が曲面状に形成されることにより、第一腕部が先端部側に向かうにしたがって幅が次第に狭くなるように形成されるとともに、第二腕部が先端部側に向かうにしたがって幅が次第に広くなるように形成されていてもよい。

【符号の説明】

【0112】

１…圧電振動子
２…パッケージ
３…パッケージ本体（ベース部材）
４…封口板（リッド部材）
１００…圧電振動片
１１０…基部
１２０Ａ，１２０Ｂ…振動腕部
１３０Ａ，１３０Ｂ…支持腕部
１３１…基端腕部
１３２…延出腕部
１３３…第一腕部
１３４…第二腕部
１３５…先端腕部
１３６…傾斜腕部
１３３Ｘ…境界部
１４１Ａ，１４１Ｂ…マウント部
Ｃ１…キャビティ
Ｅ…エッチング残り（異形部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】