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特許6683510半導体装置、メンテナンス装置、及びメンテナンス方法
発明の名称 半導体装置、メンテナンス装置、及びメンテナンス方法
出願人 東京エレクトロンデバイス株式会社 （識別番号 500323188）
特許公開件数ランキング 3836 位（4件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 9069 位（1件）（共同出願を含む）
出願人 富士電機株式会社 （識別番号 5234）
特許公開件数ランキング 52 位（445件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 36 位（514件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6683510
公報発行日 2020年4月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6683510
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