発明の名称 炭素蒸発源
出願人 東洋炭素株式会社 (識別番号 222842)
特許公開件数ランキング 31340 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 9371 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6684270
公報発行日 2020年4月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6684270
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