特許6684428静電チャック

発明の名称　静電チャック

出願人　株式会社クリエイティブ　テクノロジー　（識別番号 591012266）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4051 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6684428

公報発行日　2020年4月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6684428

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