特許 6685514 板ガラス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6685514

(24)【登録日】2020年4月3日

(45)【発行日】2020年4月22日

(54)【発明の名称】板ガラス

(51)【国際特許分類】

   C03C 23/00 20060101AFI20200413BHJP

   B23K 26/00 20140101ALN20200413BHJP

【ＦＩ】

   C03C23/00 D

   !B23K26/00 B

【請求項の数】9

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2019-76994(P2019-76994)

(22)【出願日】2019年4月15日

(62)【分割の表示】特願2015-94097(P2015-94097)の分割

【原出願日】2015年5月1日

(65)【公開番号】特開2019-131462(P2019-131462A)

(43)【公開日】2019年8月8日

【審査請求日】2019年4月15日

(73)【特許権者】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100107423

【弁理士】

【氏名又は名称】城村 邦彦

(74)【代理人】

【識別番号】100120949

【弁理士】

【氏名又は名称】熊野 剛

(74)【代理人】

【識別番号】100196346

【弁理士】

【氏名又は名称】吉川 貴士

(72)【発明者】

【氏名】片山 裕貴

【審査官】 若土 雅之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０００−０４２７６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２２３３８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−００２４４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−００３７９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０３９０４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１８６８６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−３４６７７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−２７０９９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２７２３８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２４５４１１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０３Ｃ １５／００−２３／００

Ｂ２３Ｋ ２６／００−２６／７０

Ｂ２８Ｄ １／００−７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面に、ドットを構成単位とする情報表示部が設けられた板ガラスにおいて、
前記ドットは、環状の溝で形成され、
前記表面は、前記溝により、前記溝の内側に区画される内側区画領域と、前記溝の外側に区画される外側区画領域とに区画されており、
前記内側区画領域は平坦な形状をなし、かつ前記内側区画領域と前記外側区画領域とが同一平面上にあることを特徴とする板ガラス。

【請求項2】

前記溝は、円環状をなす請求項１に記載の板ガラス。

【請求項3】

前記ドットの外径寸法が０．０５ｍｍ以上でかつ０．２ｍｍ以下である請求項１又は２に記載の板ガラス。

【請求項4】

前記ドットを形成する前記溝の内径寸法が０．０３５ｍｍ以上でかつ０．１４ｍｍ以下である請求項１〜３の何れか一項に記載の板ガラス。

【請求項5】

前記ドットを形成する前記溝の深さ寸法が２．０μｍ以上でかつ３０μｍ以下である請求項１〜４の何れか一項に記載の板ガラス。

【請求項6】

互いに隣り合う前記ドットの中心間距離が０．０６ｍｍ以上でかつ０．２５ｍｍ以下である請求項１〜５の何れか一項に記載の板ガラス。

【請求項7】

円板状をなし、その周縁部に位置決め部が設けられ、
前記情報表示部の円周方向中央位置が、前記位置決め部の円周方向中央位置を基準として円周方向に２°以上でかつ１０°以下の範囲に設定される請求項１〜６の何れか一項に記載の板ガラス。

【請求項8】

前記情報表示部は、文字、記号、二次元コード、及び図形を含む群から選択される１種以上の要素を有するもので、前記１種以上の要素は複数の前記ドットで構成される請求項１〜７の何れか一項に記載の板ガラス。

【請求項9】

前記情報表示部は、前記板ガラスの寸法、線膨張率、ロット、偏肉率、製造者名、販売者名、及び材質コードを含む群から選択される少なくとも１つの情報を示すものである請求項１〜８の何れか一項に記載の板ガラス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板ガラスに関し、特に板ガラスの表面に、ドットを構成単位とする情報表示部を形成する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば半導体ウェハの製造プロセス中、半導体ウェハを支持する部材に板ガラスが用いられることがある。この際、半導体ウェハには、その結晶方位を所定の向きに合わせるためにノッチと呼ばれる切欠き部が設けられる。そのため、この半導体ウェハを支持する板ガラスにも、同様の切欠き部を設けるのが一般的である。

【0003】

また、この際、板ガラスの表面には、当該板ガラス等に関する種々の情報を取得可能な文字、記号、図形などの組合わせからなるマークが形成されることがある。これらのマークは、例えばドットと呼ばれる点状の要素を構成単位とするもので、各ドットは、従来、板ガラスの表面にレーザーを照射して、当該レーザーの照射領域に略有底円筒状の凹部を生じさせることで形成される（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平９−２７８４９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、この種のドットを構成単位とするマークには、通常、視認性等の観点から、当該マーク及びドットのサイズや、ドットの中心間距離（ピッチ）等に関する所定の規格が設けられている。そのため、ドットを構成する凹部についても、規格に基づいたサイズ（外径寸法、深さ寸法）となるよう形成する必要が生じる。しかしながら、この規格は、あくまでドットを構成単位とする種々のマークの視認性を満足する観点から定められているため、規格通りにドット（凹部）を形成したからといって板ガラスの強度が保証されているとは限らない。特に、厚み寸法が小さくなるほど、凹部が板ガラスのマーク形成領域に占める体積比が大きくなり、凹部の周囲が相対的に薄肉になるため、板ガラスに対して所要の強度を確保することが難しくなるおそれがある。

【0006】

以上に述べた問題は、何も切欠き部を有する板ガラスに限ったことではなく、ドットを構成単位とする何かしらのマークを板ガラスの表面に形成する場合にも当てはまる。また、以上に述べた問題は、文字等の組合わせからなるマークのように、外観上、何かしらの意味を直接的に表示しているものを形成する場合に限らず、二次元コードのように、何かしらの意味が内在し、リーダーの読み取りにより当該意味を取得（間接的に表示）可能とするものを形成する場合にも当てはまる。

【0007】

以上の事情に鑑み、本明細書では、板ガラスの強度低下を招くことなく、その表面に、視認性に優れた情報表示部を形成することを解決すべき技術的課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記課題の解決は、本発明に係る板ガラスにより達成される。すなわち、この板ガラスは、表面に、ドットを構成単位とする情報表示部が設けられた板ガラスにおいて、ドットが、環状の溝で形成され、表面は、溝により、溝の内側に区画される内側区画領域と、溝の外側に区画される外側区画領域とに区画されており、内側区画領域は平坦な形状をなし、かつ内側区画領域と外側区画領域とが同一平面上にある点をもって特徴付けられる。

【0009】

このように、本発明では、板ガラスの表面に、ドットを構成単位とする情報表示部を設けるに際し、ドットを、環状の溝で形成したことを特徴とする。このようにドットを環状の溝で形成することで、この環状の溝で囲まれた領域（溝より内側の領域）がレーザーにより除去されることなく残存する。これにより、外径寸法を同一とする従来形状（略有底円筒状）の凹部と比べて、本発明に係る凹部の容積が大幅に減少するので、板ガラスの情報表示部が設けられた領域の強度低下を可及的に防止することが可能となる。また、環状の溝であれば、外径寸法が変わらない限り溝の幅寸法を小さくしたとしても視認性がそれほど大きく低下することもない。よって、溝の外径寸法を変えることなく幅寸法を小さくすれば、その分だけ溝よりも内側の領域の体積を大きくとることができ、これにより視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。

【0010】

また、本発明では、板ガラスの表面が、溝により、溝の内側に区画される内側区画領域と、溝の外側に区画される外側区画領域とに区画され、内側区画領域は平担な形状をなし、かつ内側区画領域と外側区画領域とが同一平面上にあるようにしたので、板ガラスの表面に形成される溝の輪郭が鮮明になる。よってこの溝で形成されるドットの視認性をさらに高めることが可能となる。

【0011】

また、本発明に係る板ガラスは、上記溝が、円環状をなすものであってもよい。

【0012】

ドットは、情報表示部の構成単位であるから、ドットに汎用性をもたせる観点から、ドットを形成する溝については、点対称であると視認し得る形状が好ましい。従って、溝を円環状、特に真円環状とすることで、この溝で形成されるドットの配置態様に関する汎用性を高めることが可能となる。

【0013】

また、本発明に係る板ガラスは、ドットの外径寸法を０．０５ｍｍ以上でかつ０．２ｍｍ以下としたものであってもよい。

【0014】

このようにドットの視認形態となる環の外径寸法を規定することで、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。

【0015】

また、本発明に係る板ガラスは、ドットを形成する溝の内径寸法を０．０３７５ｍｍ以上でかつ０．１２５ｍｍ以下としたものであってもよい。

【0016】

このようにドットの視認形態となる環の内径寸法を規定することによっても、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。

【0017】

また、本発明に係る板ガラスは、ドットを形成する溝の深さ寸法を２．０μｍ以上でかつ３０μｍ以下としたものであってもよい。

【0018】

このようにドットを構成する溝の深さ寸法を規定することによっても、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。

【0019】

また、本発明に係る板ガラスは、互いに隣り合うドットの中心間距離を０．０６ｍｍ以上でかつ０．２５ｍｍ以下としたものであってもよい。

【0020】

このように、互いに隣り合うドットの中心間距離を規定することによっても、ドット及びドットを構成単位とする情報表示部の視認性を満たしつつ、板ガラスに対して所要の強度を確保することが可能となる。

【0021】

また、本発明に係る板ガラスは、表面が円板状をなし、その周縁部に位置決め部が設けられ、情報表示部の円周方向中央位置が、位置決め部の円周方向中央位置を基準として円周方向に２°以上でかつ１０°以下の範囲に設定されるものであってもよい。

【0022】

本発明に係る板ガラスであれば、情報表示部が形成される領域の強度を確保することができるので、例えば上述のように表面が円板状をなし、周縁部に位置決め部が設けられる板ガラスにおいて、この位置決め部の近傍（円周方向に所定の位相分だけずれた位置）に情報表示部が形成される場合であっても、本発明を好適に適用することが可能となる。

【0023】

また、本発明に係る板ガラスは、情報表示部が、文字、記号、二次元コード、及び図形を含む群から選択される１種以上の要素を有するもので、要素が複数のドットで構成されるものであってもよい。

【0024】

このように、情報表示部が、文字、記号、二次元コード、及び図形等の要素を有する場合にあっては、当該文字等の要素を複数のドットで構成することができる。従って、情報表示部の種類によらずその要素（いわば中間構成単位）をドット（いわば最小構成単位）でもって正確に表示することができる。

【0025】

また、本発明に係る板ガラスは、情報表示部が、板ガラスの寸法、線膨張率、ロット、偏肉率、製造者名、販売者名、及び材質コードを含む群から選択される少なくとも１つの情報を示すものであってもよい。なお、ここでいう寸法には、板ガラスの厚み寸法、外径寸法など（後述するように、板ガラスに切欠き部等の位置決め部が設けられる場合には、切欠き部の深さ寸法や開口幅寸法など位置決め部の形状、大きさを代表する部位の寸法が含まれる）が含まれるものとする。

【0026】

本発明に係る板ガラスによれば、その表示形式を問わず、様々な種類の情報を視認性よく板ガラスの表面に表示することが可能となるので、例えば上記例示の情報を示す情報表示部であっても問題なく板ガラスの表面に形成することが可能となる。

【0027】

また、前記課題の解決は、本発明に係る情報表示部の形成方法によっても達成される。すなわち、この方法は、板ガラスの表面への情報表示部の形成方法であって、情報表示部はドットを構成単位とし、かつドットを、環状の溝で形成する点をもって特徴付けられる。

【0028】

上述のように、本発明に係る情報表示部の形成方法によれば、本発明に係る板ガラスと同様に、ドットを環状の溝で形成することで、この環状の溝で囲まれた領域が残るので、外径寸法を同一とする従来形状（略円筒状）の凹部と比べて、凹部の容積が大幅に減少する。従って、板ガラスの情報表示部が設けられた領域の強度低下を可及的に防止することが可能となる。また、環状の溝であれば、外径寸法が変わらない限り当該溝の幅寸法を小さくしたとしても視認性がそれほど大きく低下する心配もない。よって、溝の外径寸法を変えることなく幅寸法を小さくすれば、その分だけ溝よりも内側の領域（溝で囲まれる領域）の体積を大きくとることができ、視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。あるいは、同様の理由で、溝の深さ寸法を、従来形状の凹部の深さ寸法より小さくすれば、視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。

【0029】

また、本発明に係る情報表示部の形成方法は、環状の溝を、レーザー光を照射してアブレーションにより形成するものであってもよい。

【0030】

レーザー光を照射することで対象物の表面に何らかのマークを形成する（いわゆるレーザーマーキングを行う）に際しては、レーザー光を照射した領域を溶融することでマークをなす凹部を形成するのが一般的である。しかしながら、板ガラスの如き脆性材料にレーザーマーキングを施すに当たっては、レーザー光の照射時に板ガラスに蓄積される熱に起因したひずみ（熱ひずみ）に留意する必要がある。すなわち、レーザー光の照射により板ガラスを加熱溶融して凹部を形成する場合、レーザー光の照射領域及びその周囲に熱の蓄積が生じる。この熱の蓄積は板ガラスの表面にひずみを生じさせるため、強度低下の一因となる。また、溶融した部分は周囲に流動して残るため、レーザー光の照射領域に倣って正確な形状及び寸法の溝を形成することが難しい。

【0031】

この点に関し、本発明では、環状の溝を、レーザー光を照射してアブレーションにより形成するようにしたので、レーザー光が照射された領域のガラスが気化することで消失する。また、アブレーションを生じさせるために、ごく短時間に高エネルギー密度のレーザー光を照射することで、レーザー光の照射領域及びその周囲に熱が蓄積する事態を抑制することができる。よって、熱ひずみの発生を抑制しつつ溝を形成することができ、レーザー光の照射領域における強度を確保することが可能となる。また、アブレーションにより溝を形成することで、溶融したガラスの流動量が減少することが期待できるため、レーザー光を照射した領域に倣って正確な形状及び寸法の溝を形成することが可能となる。

【0032】

また、この場合、本発明に係る情報表示部の形成方法は、レーザー光を環状に走査することにより環状の溝を形成するものであってもよい。

【0033】

また、本発明に係る情報表示部の形成方法は、レーザー光として、パルス幅がピコ秒からフェムト秒オーダーのパルスレーザーを用いるものであってもよい。

【0034】

例えばこの種のマーキングに一般的に使用されているナノ秒レーザー（パルス幅がナノ秒オーダーのパルスレーザー）を用いた場合であっても、その照射条件を精密に制御すれば、レーザー光の照射領域にアブレーションを発生させることは可能と考えられるが、その場合にも少なからずガラスの溶融は生じる。これに対して、レーザー光にパルス幅がピコ秒からフェムト秒オーダーのパルスレーザー（ピコ秒レーザー又はフェムト秒レーザー）を用いるようにすれば、パルス幅が非常に短いために、ガラスに熱が蓄積することなくレーザー光の照射領域にアブレーションのみを生じさせることができる（レーザー光の照射領域の周囲におけるガラスの溶融は実質的に生じない）。従って、熱ひずみの発生を確実に防止して、より安定的に強度を確保することが可能となる。また、ガラスが溶融して周囲に流動する事態を防止できるので、レーザー光を照射した領域のみに溝を形成することができ、溝の形状精度ないし寸法精度の向上が期待できる。また、ピコ秒レーザーやフェムト秒レーザーであれば、ナノ秒レーザーのように溶融したガラスの流動を考慮することなくレーザー光の照射条件を設定できるため、制御も簡易なもので済む。

【発明の効果】

【0035】

以上に述べたように、本発明によれば、板ガラスの強度低下を招くことなく、その表面に、視認性に優れた情報表示部を形成することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0036】

【図1】本発明の一実施形態に係る板ガラスの平面図である。

【図2】図１に示す板ガラスの要部拡大図である。

【図3】図２に示す板ガラスのＡ部拡大図である。

【図4】図３に示す板ガラスのＢ部拡大図である。

【図5】図４に示す板ガラスのＣ−Ｃ断面図である。

【図6】本発明の一実施形態に係るレーザーマーキング装置の概要を説明するための斜視図である。

【図7】（ａ）〜（ｃ）は何れも、図６に示すレーザーマーキング装置を用いて環状の溝を形成する方法を説明するための要部拡大平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0037】

以下、本発明の一実施形態を、図１〜図７を参照して説明する。

【0038】

図１は、本発明の一実施形態に係る板ガラス１の平面図である。この板ガラス１は例えば半導体支持基板として使用可能である。同図に示すように、板ガラス１は、その表面２に情報表示部３を形成したものである。本実施形態では、板ガラス１は略円板状をなす。また、この板ガラス１の周縁部１ａには位置決め部としての切欠き部４が設けられており、この切欠き部４の近傍に情報表示部３が形成されている。

【0039】

なお、この板ガラス１としては、ウェハ状（略真円板状）が好ましく、その際、直径は１００ｍｍ以上でかつ５００ｍｍ以下、好ましくは１５０ｍｍ以上でかつ４５０ｍｍ以下に設定される。このような形状及びサイズの板ガラス１であれば、半導体パッケージの製造工程に適用し易い。

【0040】

また、上述の用途に用いられる場合、板ガラス１の板厚は、２．０ｍｍ未満、好ましくは１．５ｍｍ以下、より好ましくは１．２ｍｍ以下、より一層好ましくは１．１ｍｍ以下、さらに好ましくは１．０ｍｍ以下、最も好ましくは０．９ｍｍ以下に設定される。板厚が小さくなるほど、板ガラス１を含む積層体の質量が小さくなるため、当該積層体のハンドリング性が向上するためである。一方、板厚が小さ過ぎると、板ガラス１自体の強度が低下して、支持板としての機能を果たさないおそれが生じる。よって、板ガラス１の板厚は、０．１ｍｍ以上、好ましくは０．２ｍｍ以上、より好ましくは０．３ｍｍ以上、より一層好ましくは０．４ｍｍ以上、さらに好ましくは０．５ｍｍ以上、特に好ましくは０．６ｍｍ以上、最も好ましくは０．７ｍｍ以上に設定される。

【0041】

情報表示部３は、図２中のＡ部を拡大して示すように、例えば複数の文字５（ここでいう文字５は、少なくとも図２に示すように数字などの表意文字を含む。）の組み合わせからなる。また、各文字５はそれぞれ、図３に示すように、複数のドット６で構成されている。

【0042】

ここで、各ドット６の構成につき更に説明する。図４はドット６を拡大して示したもので、同図に示すように、各ドット６は、環状の溝７で形成される。そのため、文字５を構成する各ドット６は環状に視認される（図３及び図４）。本実施形態では、溝７は真円環状をなしている。また、溝７の外周縁と内周縁は共に、真円形状をなしている。よって、この場合、溝７の幅寸法ｗは全周にわたって一定である。

【0043】

また、板ガラス１の表面２のうち、情報表示部３が形成される領域、すなわちドット６が形成される領域は、環状の溝７によって、溝７の内側に区画される第一区画領域２ａと、溝７の外側に区画される第二区画領域２ｂとに区画される。この際、図５に示すように、各区画領域２ａ，２ｂは共に平坦な形状をなし、かつ同一平面上にある。

【0044】

次に、環状の溝７に関する寸法について述べる。まず溝７の外径寸法ｄ１（図４）は、例えば０．０５ｍｍ以上でかつ０．２０ｍｍ以下に設定され、好ましくは０．０７ｍｍ以上でかつ０．１３ｍｍ以下に設定され、さらに好ましくは０．０９ｍｍ以上でかつ０．１１ｍｍ以下に設定される。溝の内径寸法ｄ２（図４）は、例えば０．０３５ｍｍ以上でかつ０．１４ｍｍ以下に設定され、好ましくは０．０５ｍｍ以上でかつ０．１０ｍｍ以下に設定され、より好ましくは０．０６ｍｍ以上でかつ０．０８ｍｍ以下に設定される。溝７の深さ寸法ｄ３（図５）は、例えば２．０μｍ以上でかつ３０μｍ以下に設定され、好ましくは、４．０μｍ以上でかつ１５μｍ以下に設定される。互いに隣り合う環状の溝７，７の中心Ｃ１，Ｃ２間の距離ｄ４（図４）は、例えば０．０６ｍｍ以上でかつ０．２５ｍｍ以下に設定され、好ましくは０．１０ｍｍ以上でかつ０．１６ｍｍ以下に設定される。また、この際、互いに隣り合う溝７，７同士が干渉する事態を回避するため、互いに隣り合う溝７，７の中心Ｃ１，Ｃ２間の距離ｄ４は、当該溝７の外径寸法ｄ１よりも大きく設定される。具体的には、互いに隣り合う溝７，７の間隔ｄ５は０．１０ｍｍ以上、好ましくは０．２０ｍｍ以上に設定される。これらは何れもドット６の視認性と、板ガラス１の強度、特にドット６が形成される領域の強度とを共に満足する観点から規定される。

【0045】

また、本実施形態のように、板ガラス１の表面２が円板状をなし、その周縁部１ａに位置決め部としての切欠き部４が設けられる場合（図１）、切欠き部４の円周方向中央位置Ｃ３を基準とした場合の、情報表示部３の円周方向中央位置Ｃ４の位相θ（図２）が２°以上でかつ１０°以下に設定され、好ましくは３°以上でかつ７°以下に設定される。

【0046】

このように、本発明では、板ガラス１の表面２に、ドット６を構成単位とする文字５、及び複数の文字５の組合わせからなる情報表示部３を設けるに際し、ドット６を、環状の溝７で形成するようにした。ドット６を環状の溝７で形成することで、この環状の溝７で囲まれた領域（溝より内側の領域）が残存する。よって、外径寸法ｄ１を同一とする従来形状（略有底円筒状）の凹部と比べて、本発明に係る凹部（環状の溝７）の容積が大幅に減少する。従って、板ガラス１の情報表示部３が設けられた領域の強度低下を可及的に防止することが可能となる。また、環状の溝７であれば、外径寸法ｄ１が変わらない限り溝７の幅寸法ｗを小さくしたとしても視認性がそれほど大きく低下することもない。よって、溝７の外径寸法ｄ１を変えることなく幅寸法ｗを小さくすれば、その分だけ溝７よりも内側の領域の体積を大きくとることができ、視認性を確保しつつも所要の強度を確保することが可能となる。

【0047】

上記構成の板ガラス１は、例えばレーザー光を用いた方法により形成することが可能である。以下に詳細を述べる。

【0048】

図６は、本発明の一実施形態に係るレーザーマーキング装置１０の一構成例を示している。同図に示すように、このレーザーマーキング装置１０は、所定のパルス幅を有するパルスレーザー１１を発振可能なレーザー発振器１２と、レーザー発振器１２から発振されたパルスレーザー１１の二次元照射位置を制御するための第一スキャナミラー１３及び第二スキャナミラー１４と、第一及び第二スキャナミラー１３，１４でその二次元照射位置が制御されたパルスレーザー１１を集光するレンズ１５とを備える。

【0049】

よって、この場合、レーザー発振器１２から発振されたパルスレーザー１１が、第一スキャナミラー１３の第一レーザー反射面１３ａに反射し、この反射したパルスレーザー１１が第二スキャナミラー１４の第二レーザー反射面１４ａに反射して、レンズ１５を通過し、支持台１６上に支持された板ガラス１の所定部位、すなわち情報表示部３が形成されるべき領域にパルスレーザー１１が照射されるようになっている。また、この際、第一スキャナミラー１３に連結された第一スキャナモータ１７を回転駆動させて、第一スキャナミラー１３の第一レーザー反射面１３ａの位相を調整し、第二スキャナミラー１４に連結された第二スキャナモータ１８を回転駆動させて、第二スキャナミラー１４の第二レーザー反射面１４ａの位相を調整することで、板ガラス１の表面２に照射されるパルスレーザー１１の走査軌跡Ｌ１（後述する図７を参照）が設定される。

【0050】

また、この際、レーザー発振器１２から発振されるパルスレーザー１１の照射条件の一例を以下に示す。すなわち、このパルスレーザー１１のパルス幅は、ピコ秒オーダー、好ましくはフェムト秒オーダーに設定され、具体的には１０ｆｓ以上でかつ５０００００ｆｓ（５００ｐｓ）以下に設定される。また、このパルスレーザー１１の波長は２００ｎｍ以上でかつ２５００ｎｍ以下に設定されると共に、その繰り返し周波数は１Ｈｚ以上でかつ１Ｇ（ギガ）Ｈｚ以下に設定される。また、パルスレーザー１１のビーム径は１μｍ以上でかつ１００μｍ以下に設定され、その走査速度、すなわち図７に示す走査軌跡Ｌ１上をパルスレーザー１１が移動する速度は１ｍｍ／ｓ以上でかつ８００ｍｍ／ｓ以下に設定される。

【0051】

次に、上記構成のレーザーマーキング装置１０を用いたドット６、及びドット６を構成要素とする文字５（情報表示部３）の形成方法について説明する。

【0052】

まず、図７（ａ）に示すように、パルスレーザー１１を所定の走査軌跡Ｌ１上の走査開始点Ｐ０に向けて照射すると共に、パルスレーザー１１の走査軌跡Ｌ１に沿った走査を開始する。この照射動作により、パルスレーザー１１の照射領域Ａ１にアブレーションを生じさせ、これにより走査開始点Ｐ０を起点として走査軌跡Ｌ１に沿った領域に、所定の幅寸法ｗ、ここでは照射領域Ａ１の外径寸法に準じた大きさの溝７を形成していく（図４、図７（ｂ））。

【0053】

そして、走査軌跡Ｌ１上を略一周して、パルスレーザー１１の照射中心が走査開始点Ｐ０に戻ってきた時点で、パルスレーザー１１の走査及び照射を停止する。これにより、走査軌跡Ｌ１に沿って閉じた環状、本実施形態では円環状の溝７が完成する（図７（ｃ））。

【0054】

このようにして、１個のドット６が形成されたら、続いて、隣り合うドット６の形成予定領域にレーザー１１の焦点を移動し、図７（ａ）〜図７（ｃ）に示す態様でパルスレーザー１１を照射することで、当該照射によるアブレーションを生じさせ、ドット６をなす環状の溝７を形成する。この照射動作を１個の文字５を構成する全てのドット６の形成予定領域に対して繰り返すことで、対応する複数のドット６、すなわちこれら複数のドット６を構成単位とする１個の文字５が形成される（図２）。

【0055】

さらに、以上の動作を、他の文字５の形成予定領域に対しても同様に繰り返すことで、情報表示部３をなす複数の文字５がそれぞれ、対応する複数のドット６により形成される（図２、図３）。

【0056】

このように、本発明では、各ドット６をなす環状の溝７を、パルスレーザー１１の照射によるアブレーションで形成するようにしたので、パルスレーザー１１が照射された領域（すなわち照射領域Ａ１）のガラスが気化することで消失する。また、アブレーションを生じさせるために、ごく短時間に高エネルギー密度のパルスレーザー１１を照射することで、パルスレーザー１１の照射領域Ａ１及びその周囲に熱が蓄積する事態を抑制することができる。よって、熱ひずみの発生を抑制しつつ溝７を形成することができ、パルスレーザー１１の照射領域Ａ１における強度を確保することが可能となる。また、アブレーションにより溝７を形成することで、溶融したガラスが周囲に流動するケースが大幅に減少することが期待できるため、パルスレーザー１１の照射領域Ａ１が辿る軌跡（走査軌跡Ｌ１）に倣って正確な形状及び寸法の溝７を形成することが可能となる。

【0057】

また、本実施形態では、パルスレーザー１１として、パルス幅がピコ秒からフェムト秒オーダーのパルスレーザー（いわゆるピコ秒レーザー又はフェムト秒レーザー）を用いるようにした。この種のレーザー光であれば、そのパルス幅が非常に短いという特性を活かして、板ガラス１に熱を蓄積させることなくパルスレーザー１１の照射領域Ａ１にアブレーションのみを生じさせることができる。従って、熱ひずみの発生を確実に防止して、より安定的に板ガラス１の強度を確保することが可能となる。また、ガラスが溶融して周囲に流動する事態を防止できるので、パルスレーザー１１の照射領域Ａ１のみに正確に溝７を形成することができる。本実施形態でいえば、板ガラス１の表面２のうち、環状の溝７によりその内側に区画される第一区画領域２ａと、環状の溝７の外側に区画される第二区画領域２ｂとが共に平坦かつ同一平面上に形成されるため、視認性も良好である。また、ピコ秒レーザーやフェムト秒レーザーであれば、ナノ秒レーザーのように溶融したガラスの流動を考慮することなくパルスレーザー１１の照射条件を設定できるため、制御も簡易なもので済む。

【0058】

また、本実施形態のように、パルスレーザー１１の照射により円環状の溝７を形成するのであれば、例えば溝７を略矩形などの多角形状に形成する場合に比べて、パルスレーザー１１の照射エネルギーの偏り（照射時間のばらつき）が小さく抑えられる。よって、その分形状や寸法が整った高精度な溝７を形成することができる。もちろん、形状精度や寸法精度が高いほど、強度上の欠陥となる部分が少なくなるので、更なる強度向上にもつながる。

【0059】

以上、本発明の一実施形態を説明したが、上述した板ガラス１及び情報表示部３の形成方法は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。

【0060】

例えば溝７の形状に関し、上記実施形態では、円環状をなすもの（図４）を例示したが、もちろんこの形態には限られない。例えば図示は省略するが、略矩形などの多角形状など、非円環状に溝７を形成することも可能である。あるいは、これら多角形状や楕円形状など溝７の中心（重心）に対して点対称をなす形状に溝７を形成することも可能である。

【0061】

また、上記実施形態では、図４等に示すように、完全に閉じた形態に環状の溝７を形成した場合を例示したが、必ずしもこの形態に限定されるわけではない。視認性が問題とならない範囲において、例えばＣ形状など、その一部を開いた形態に環状の溝７を形成するようにしてもよい。このように溝７を形成すれば、例えば上述のように環状の溝７をパルスレーザー１１の照射により形成する場合に、パルスレーザー１１の走査により照射領域Ａ１が重複して、当該重複部分に形成される溝７の形状ないし幅寸法ｗがばらつくのを回避することができる。

【0062】

また、上記実施形態では、１個のドット６を、対応する１つの環状の溝７のみで形成した場合を例示したが、必ずしもこの形態に限定される必要はない。例えば図示は省略するが、視認性の更なる向上を目的として、ドット６の外郭をなす環状の溝７の内側（図４でいえば、第一区画領域２ａ）の中心に、点状の凹部を形成してもかまわない。あるいは、ドット６の外郭をなす環状の溝７の内側に、さらにもう一つの環状の溝を形成してもかまわない。

【0063】

また、パルスレーザー１１によるドット６の形成態様に関し、上記実施形態では、１本のパルスレーザー１１を照射及び走査することで、当該照射及び走査領域に、１個の環状の溝７を形成する場合を例示したが、作業効率の向上のため、各ドット６をなす複数の環状の溝７を同時に形成するようにしてもかまわない。この場合、例えば図示は省略するが、１又は複数のビームスプリッタ又は空間光位相変調器など公知の分岐手段により、パルスレーザー１１を分岐させて、分岐したパルスレーザー１１をそれぞれ対応するドット６の形成予定領域上に照射及び走査することで、同時に（一度に）複数の溝７すなわち複数のドット６を形成することも可能である。

【0064】

また、上記実施形態では、ドット６をなす環状の溝７を形成するための手段として、レーザーマーキング装置１０を用いてパルスレーザー１１を走査する形態を例示したが、必ずしもこの方式に限る必要はない。例えば図示は省略するが、所定のマスクにレーザーを照射して、当該マスクを透過したレーザーを対象物（板ガラス１）に照射することで、マスクに予め形成しておいた透過パターンに倣った形状に環状の溝７を形成することも可能である。

【0065】

また、以上の説明では、周縁部１ａに切欠き部４を形成した板ガラス１の表面２に本発明を適用する場合を例示したが、切欠き部４以外の位置決め部を周縁部１ａに設けた板ガラス１に対しても本発明を適用することは可能である。もちろん、ドット６を構成単位とする情報表示部３をその表面２に形成すべき板ガラス１であれば、位置決め部が形成されていないものについても本発明を適用することが可能である。

【符号の説明】

【0066】

１ 板ガラス
１ａ 周縁部
２ 表面
２ａ，２ｂ 区画領域
３ 情報表示部
４ 切欠き部
５ 文字
６ ドット
７ 環状の溝
１０ レーザーマーキング装置
１１ パルスレーザー
１２ レーザー発振器
１３，１４ スキャナミラー
１３ａ，１４ａ レーザー反射面
１５ レンズ
１６ 支持台
１７，１８ スキャナモータ
Ａ１ レーザーの照射領域
Ｌ１ レーザーの走査軌跡

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】