(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、成長体の厚みは、場合によっては数百μm前後となるため、特許文献1に記載されたような従来の引出装置では、成長体の端部を保持部材で保持することができず、延長体を形成できなくなるという不都合がある。
【0005】
本発明の目的は、成長体の一部を確実に保持して延長体を形成することができる引出装置および引出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の引出装置は、カーボンナノチューブを成長させた成長体から延長体を引き出す引出装置であって、
前記成長体に保持部材を当接させ、前記成長体の一部を
前記保持部材で保持する保持手段と、前記成長体と前記保持部材とを
互いに離間する方向に移動させ
て前記成長体から前記延長体を引き出す移動手段とを備え、前記保持手段は、前記保持部材に前記成長体の一部を巻き付ける巻付手段を備え
、前記延長体の引出方向に交差する方向の軸を中心に前記保持部材を回転させることで、当該保持部材に前記成長体の一部を巻き付けることを特徴とする。
【0008】
本発明の引出方法は、カーボンナノチューブを成長させた成長体から延長体を引き出す引出方法であって、
前記成長体に保持部材を当接させ、前記成長体の一部を
前記保持部材で保持する保持工程と、前記成長体と前記保持部材とを
互いに離間する方向に移動させ
て前記成長体から前記延長体を引き出す移動工程とを備え、前記保持工程は、
前記延長体の引出方向に交差する方向の軸を中心に前記保持部材を回転させることで、当該保持部材に前記成長体の一部を巻き付ける巻付工程を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
以上のような本発明によれば、成長体の一部を保持部材に巻き付けて保持するため、当該成長体の一部を確実に保持して延長体を形成することができる。
【0010】
また、延長体の引出方向に直交する方向の軸を中心に保持部材を回転させれば、成長体から延長体を引き出す際に、当該延長体を確実に保持することができる。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な
図1(A)中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「右」がX軸の矢印方向で「左」がその逆方向、「前」がY軸と平行な
図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【0013】
図1において、引出装置10は、カーボンナノチューブCTを成長させた成長体CBから延長体としてのカーボンナノチューブシートCS(以下、単に「シートCS」という場合がある)を引き出す装置であって、成長体CBの一部を保持部材としての線材25で保持する保持手段20と、成長体CBと線材25とを相対移動させる移動手段30とを備え、成長体CBを支持する成長体支持手段40の近傍に配置されている。なお、成長体CBは、基板SBの一方の面上から上方にカーボンナノチューブCTを成長させたものであり、当該基板SBに支持された一体物WKとして形成されている。
【0014】
保持手段20は、張力付与手段であって駆動機器としてのリニアモータ21と、リニアモータ21の一対のスライダ21Aそれぞれに支持され、線材25に成長体CBの一部を巻き付ける巻付手段であって駆動機器としての回動モータ22と、回動モータ22の出力軸22Aに支持され、そのスライダ23Aでチャック部材24を支持する駆動機器としてのリニアモータ23と、チャック部材24に支持された線材25とを備え、シートCSの引出方向(右方向)に直交する方向(前後方向)の軸を中心に線材25を回転させることで、当該線材25に成長体CBの一部を巻き付ける構成になっている。
【0015】
移動手段30は、そのスライダ31Aでリニアモータ2
1を支持する駆動機器としてのリニアモータ31を備えている。
【0016】
成長体支持手段40は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって一体物WKを基板SBの他方の面側から吸着保持する保持面41Aを有するテーブル41を備えている。
【0017】
以上の引出装置10において、成長体CBからシートCSを引き出す手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された
図1に示す引出装置10に対し、作業者が図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、保持手段20がリニアモータ21を駆動し、一対のスライダ21Aを互いに離間する方向に移動させて線材25に張力を付与し、スタンバイ状態となる。次に、作業者または図示しない搬送手段が、一体物WKを保持面41Aの所定位置に載置すると、成長体支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、保持面41Aで一体物WKを吸着保持する。
【0018】
そして、移動手段30がリニアモータ31を駆動し、線材25を左方向に移動させ、
図2(A)中二点鎖線で示すように、線材25を成長体CBの引出方向先端部に当接させる。これにより、成長体CBの一部が自身の粘性によって線材25に接着する。その後、移動手段30がリニアモータ31を駆動し、
図2(A)中実線で示すように、線材25を右方向に移動させると、成長体CBは、カーボンナノチューブCTの分子間力によって結合し、引き出し方向に沿って配列された帯状のシートCSとなって引き出される。
【0019】
次いで、保持手段20および移動手段30が回動モータ22およびリニアモータ31を駆動し、
図2(B)に示すように、線材25を回転させながら左方向に移動させることで、成長体CBの一部であるシートCSを当該線材25に巻き付ける。その後、移動手段30がリニアモータ31を駆動し、
図2(C)に示すように、成長体CBから再度シートCSを引き出す。
【0020】
そして、シートCSの引出方向先端部がシートCSを巻き取る巻取装置や、シートCSを切断する切断装置等の図示しない受取手段に達すると、保持手段20がリニアモータ23を駆動し、線材25でシートCSを受取手段に受け渡す。その後、移動手段30がリニアモータ31を駆動し、線材25を箱や袋等の図示しない回収手段上に移動させた後、保持手段20がリニアモータ23、21を駆動し、線材25の支持を解除することで、線材25を図示しない回収手段内に落下させる。そして、基板SB上の成長体CBがシートCSとなって全てまたは所定量引き出されると、成長体支持手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、一体物WK(基板SB)の吸着保持を解除した後、図示しない搬送手段が一体物WK(基板SB)を支持して回収する。次いで、作業者または多関節ロボット等の図示しない搬送手段が一対のチャック部材24の間に別の線材25を位置させると、保持手段20がリニアモータ23、21を駆動し、チャック部材24で線材25を支持する。その後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【0021】
以上のような実施形態によれば、成長体CBの一部を線材25に巻き付けて保持するため、当該成長体CBの一部を確実に保持してシートCSを形成することができる。
【0022】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【0023】
例えば、保持部材は、糸、丸棒、角棒、針金、ブレード材等でもよく、その材質は、金属、木材、硝子、磁器、ゴム、樹脂、スポンジ等であってもよい。
保持部材は、成長体CBの一部を螺旋状に巻き付けてもよい。
保持手段20は、一対のスライダ23Aで直接線材25を支持してもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、粘着シート、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で線材25を支持してもよい。
線材25は、1つのリニアモータ23に片持ちで支持されてよい。
リニアモータ23は、なくてもよく、この場合、例えば、回動モータ22の出力軸22Aで直接線材25を支持すればよい。
保持手段20は、
図2(A)中二点鎖線で示す状態(線材25を成長体CBの引出方向先端部に当接させた状態)で、当該線材25を回転させて成長体CBの一部を線材25に巻き付けてもよい。
保持手段20は、
図3(A)、(B)に示すように、左右方向や上下方向およびその他の方向から成長体CBに保持部材としての線材26を挿入し、当該線材26を回転させて成長体CBの一部を巻き付けてもよい。この場合、例えば、回動モータ22の出力軸22Aや、リニアモータ23のスライダ23Aに線材26を片持ちで支持させ、当該線材26が各方向に向くように、保持手段20や移動手段30等を適宜な方向に向けて配置すればよい。
保持手段は、成長体CBの表面に外周面を当接させた線材25、26をその軸回りに回転させながら成長体CBの表面に沿わせて移動させることで、線材25、26に成長体CBの一部を巻き付けてもよい。
リニアモータ21は、なくてもよい。
【0024】
移動手段30は、シートCSを線材25、26に巻き付けるとき、左右上下前後および、それらの方向に交差する方向に線材25、26を移動させてもよいし、何れの方向にも移動させなくてもよい。
移動手段30は、線材25の位置を固定しておきテーブル41を移動させてもよいし、線材25およびテーブル41の両方を移動させてもよい。
移動手段30は、左右上下前後および、それらの方向に交差する方向に線材25を移動させてもよい。
【0025】
成長体支持手段40は、保持面41Aで成長体CBを直接保持してもよい。
成長体支持手段40は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、粘着シート、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で一体物WKや成長体CBを支持する構成でもよい。
【0026】
引出装置10は、シートCSを図示しない受取手段に受け渡した後、使用済みの線材25を再利用可能に洗浄するブラシ、ブレード、吹付ノズル等の清掃手段で洗浄するようにしてもよいし、回収手段や清掃手段に搬送することなく、再度使用してもよい。
延長体は、糸状のカーボンナノチューブ結合体であってもよい。
【0027】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、移動手段は、成長体と保持手段とを相対移動可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。