特許 6685834 浮上搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6685834

(24)【登録日】2020年4月3日

(45)【発行日】2020年4月22日

(54)【発明の名称】浮上搬送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20200413BHJP

   B65G 49/06 20060101ALI20200413BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20200413BHJP

   B65G 51/03 20060101ALI20200413BHJP

   B65G 13/12 20060101ALI20200413BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B65G49/06

   B65G49/07 J

   B65G49/07 B

   B65G51/03 C

   B65G13/12

【請求項の数】6

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2016-106648(P2016-106648)

(22)【出願日】2016年5月27日

(65)【公開番号】特開2017-212408(P2017-212408A)

(43)【公開日】2017年11月30日

【審査請求日】2019年3月29日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000561

【氏名又は名称】株式会社オカムラ

(74)【代理人】

【識別番号】100098729

【弁理士】

【氏名又は名称】重信 和男

(74)【代理人】

【識別番号】100163212

【弁理士】

【氏名又は名称】溝渕 良一

(74)【代理人】

【識別番号】100204467

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 好文

(74)【代理人】

【識別番号】100148161

【弁理士】

【氏名又は名称】秋庭 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100156535

【弁理士】

【氏名又は名称】堅田 多恵子

(74)【代理人】

【識別番号】100195833

【弁理士】

【氏名又は名称】林 道広

(72)【発明者】

【氏名】池田 賢

【審査官】 山口 大志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−１５１５７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２０６３２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０７３８８３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６５Ｇ １３／１２

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｂ６５Ｇ ４９／０７

Ｂ６５Ｇ ５１／０３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送路の両側部に設けられ基板の両側端をそれぞれ支持する支持部を有する搬送手段と、前記基板を気体の圧力を利用して浮上させる浮上ユニットと、を備える浮上搬送装置であって、
前記搬送路の少なくとも一方の側部に配置された前記支持部は、前記搬送路の幅方向に移動可能であり、
前記浮上ユニットは、前記搬送路の搬送方向に離間して複数設けられており、少なくとも一方の前記支持部は、前記搬送路の搬送方向に離間して複数配置された上下方向に延びるフレームにより支持されており、複数の前記フレームは、前記搬送路の搬送方向に離間して設けられた浮上ユニットの間を前記搬送路の幅方向に移動し得るように構成されていることを特徴とする浮上搬送装置。

【請求項2】

前記支持部は、前記搬送路の搬送方向に沿って設けられ、前記搬送手段の駆動部により駆動される複数のローラであることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。

【請求項3】

複数の前記ローラは、前記搬送路の幅方向に一体で移動するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。

【請求項4】

前記浮上搬送装置は、前記搬送手段と前記浮上ユニットとを支持する支持台を備え、
前記支持台には、少なくとも一方の前記支持部を前記搬送路の幅方向に案内する案内部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の浮上搬送装置。

【請求項5】

前記搬送手段は、前記基板に接触して推進力を伝達する複数の前記ローラと、複数の前記ローラに渡って前記搬送方向に延びる駆動軸と、上下方向に延び複数の前記ローラと前記駆動軸との間で動力を伝達する複数の動力伝達軸と、を備え、
前記動力伝達軸と前記ローラとの間及び前記動力伝達軸と前記駆動軸との間の動力の伝達が行われることを特徴とする請求項２または３に記載の浮上搬送装置。

【請求項6】

前記浮上ユニットは、前記搬送路の幅方向に離間して複数列配置されており、前記列単位で動作制御可能であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の浮上搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を気体の圧力を利用して浮上させて搬送する浮上搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、厚みが薄く、表面が傷つきやすい半導体ウェハや液晶ガラス、ディスプレイパネル等の基板を製造する工場等では、該基板を搬送する場合には、クリーンルーム内等において、気体の圧力を利用して基板を浮上させて搬送する浮上搬送装置が用いられている。このような浮上搬送装置には、例えば、特許文献１に開示されているような技術が採用されている。特許文献１によれば、浮上搬送装置は、基板の搬送路と、搬送路の両側端部に対向するように設けられ基板を支持して搬送方向に搬送する搬送ユニットと、搬送路上に複数設けられ空気の圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットと、から主に構成されている。

【0003】

搬送ユニットは、駆動モータの駆動を受けて回転可能な複数の搬送ローラを有し、各搬送ローラは、基板の両側端部を下方から支持するとともに、駆動モータの駆動を受けて回転することにより基板に対して搬送方向に推進力を与える。また、浮上ユニットは、ファンフィルタユニットを介して清浄化された空気を浮上ユニットの上面に設けられるスリット状のノズルから噴出させることにより、噴出される空気による浮上圧力を利用して基板を搬送路上で浮上させる。

【0004】

このように、浮上搬送装置は、搬送路の両側端部に設けられる搬送ユニットの搬送ローラにより基板の両側端部を下方からそれぞれ支持した状態で、搬送路上に複数設けられる浮上ユニットから噴出される空気の圧力を利用して基板の中央部を浮上させ、自重による撓み等による基板の変形を抑えながら、搬送路上の基板を安定して搬送できるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許５１５１７９５号公報（第５頁、第２図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

近年、基板を製造する工場では、様々な種類の基板を少量で製造することが求められている。しかしながら、特許文献１のような浮上搬送装置にあっては、搬送路の両側端部に固定配置される搬送ローラにより基板を支持し、基板の中央部を浮上ユニットにより浮上させて搬送するようになっているため、搬送路の幅方向における搬送ローラの間隔により規定される一種類のサイズの基板しか搬送することができず、様々な種類の基板を製造する際には、搬送ローラの間隔が異なる複数種類の浮上搬送装置を用意しなければならないという問題があった。

【0007】

本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、複数種類のサイズの基板の搬送が可能な浮上搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

前記課題を解決するために、本発明の浮上搬送装置は、
搬送路の両側部に設けられ基板の両側端をそれぞれ支持する支持部を有する搬送手段と、前記基板を気体の圧力を利用して浮上させる浮上ユニットと、を備える浮上搬送装置であって、
前記搬送路の少なくとも一方の側部に配置された前記支持部は、前記搬送路の幅方向に移動可能であり、
前記浮上ユニットは、前記搬送路の搬送方向に離間して複数設けられており、少なくとも一方の前記支持部は、前記搬送路の搬送方向に離間して複数配置された上下方向に延びるフレームにより支持されており、複数の前記フレームは、前記搬送路の搬送方向に離間して設けられた浮上ユニットの間を前記搬送路の幅方向に移動し得るように構成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、搬送路の少なくとも一方の側部に配置された支持部が搬送路の幅方向に移動させることにより、両支持部の間隔を適宜変更できるため、複数種類のサイズの基板を搬送できる。

【0009】

前記浮上ユニットは、前記搬送路の搬送方向に離間して複数設けられており、少なくとも一方の前記支持部は、前記搬送路の搬送方向に離間して複数配置された上下方向に延びるフレームにより支持されており、複数の前記フレームは、前記搬送路の搬送方向に隣接する前記浮上ユニットの側方を前記搬送路の幅方向に移動するように構成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、搬送路の搬送方向に隣接する浮上ユニットの側方を各フレームが通過することで支持部を上下方向に動かすことなく搬送路の幅方向に移動させることができる。

【0010】

前記支持部は、前記搬送路の搬送方向に沿って設けられ、前記搬送手段の駆動部により駆動される複数のローラであることを特徴としている。
この特徴によれば、ローラにより基板の両側端の支持と搬送方向への搬送を同時に行うことができる。

【0011】

複数の前記ローラは、前記搬送路の幅方向に一体で移動するように構成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、複数のローラを搬送路の幅方向に一体で移動させることができるため、複数のローラを搬送方向に亘って略均一に揃えることができる。

【0012】

前記浮上搬送装置は、前記搬送手段と前記浮上ユニットとを支持する支持台を備え、
前記支持台には、少なくとも一方の前記支持部を前記搬送路の幅方向に案内する案内部が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、案内部により搬送手段が搬送路の幅方向に対して案内されながら移動するため、支持台に支持される浮上ユニットとの間の適正な位置関係を保ちつつ確実に移動させることができる。

【0013】

前記搬送手段は、前記基板に接触して推進力を伝達する複数の前記ローラと、複数の前記ローラに渡って前記搬送方向に延びる駆動軸と、上下方向に延び複数の前記ローラと前記駆動軸との間で動力を伝達する複数の動力伝達軸と、を備え、
前記動力伝達軸と前記ローラとの間及び前記動力伝達軸と前記駆動軸との間の動力の伝達が行われることを特徴としている。
この特徴によれば、１つの駆動軸により各動力伝達軸を介して複数のローラに動力が伝達されるため、複数のローラの回転速度を均一にすることができる。

【0014】

前記浮上ユニットは、前記搬送路の幅方向に離間して複数列配置されており、前記列単位で動作制御可能であることを特徴としている。
この特徴によれば、支持部を移動させた状態で基板の両側端を支持する各支持部の間に配設される浮上ユニットのみを動作させることができるため、搬送路上における基板の水平バランスを保ちやすくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】実施例における浮上搬送装置を示す斜視図である。

【図2】搬送手段の構造を示す斜視図である。

【図3】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図4】図１のＢ−Ｂ断面図である。

【図5】支持部及びその周辺の構造を示す斜視図である。

【図6】搬送路の幅を変更した状態を示す正面断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

本発明に係る浮上搬送装置を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。

【実施例】

【0017】

実施例に係る浮上搬送装置につき、図１から図６を参照して説明する。以下、図３の画面手前側と図４の画面左側を浮上搬送装置の正面側（上流側）とし、図３の画面左右側を浮上搬送装置の左右側として説明する。

【0018】

図１に示されるように、浮上搬送装置１は、半導体ウェハや液晶ガラス、ディスプレイパネル等の厚みの薄い基板Ｐを、該基板Ｐの図示しない搬入口から搬送口まで搬送する装置であり、浮上搬送装置１が搬入口から搬送口まで連続するように複数連設されることで基板Ｐの搬送路１０が構成されている。

【0019】

浮上搬送装置１は、床面から立設する筐体２と、筐体２に組み付けられる搬送手段である搬送ユニット３（図２参照）と、複数の浮上ユニット４ａ，４ｂ，…と、から主に構成されている。筐体２は、複数の杆材により構成される枠体２１（支持台）と、枠体２１の各面に取付けられる透過性のパネル体（図示せず）と、を備えており、パネル体により塵埃等が混入することが防止されている。また、パネル体が透過性を有することから、外部から筐体２内の状況を視認できる。

【0020】

図２に示されるように、枠体２１には、左右に延びる２つの梁材２３，２４が搬送路１０の搬送方向（前後方向）に離間して設けられており、梁材２３，２４の下面には、該梁材２３，２４同士に渡って延びる連結杆２５，２５，２５が搬送路１０の幅方向（左右方向）に離間して固着されている。

【0021】

図１に示されるように、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…は、搬送路１０の幅方向に離間して２列に並設され、一列につき搬送路１０の搬送方向に離間して複数（本実施例では４つ）配置されている。詳しくは、搬送路１０の左側には、搬送路１０の搬送方向に離間して複数配置される浮上ユニット４ａ，４ａ，…によりラインＬ１が構成され、搬送路１０の右側には、搬送路１０の搬送方向に離間して複数配置される浮上ユニット４ｂ，４ｂ，…によりラインＬ２が構成されており、これらラインＬ１，Ｌ２が搬送路１０の幅方向に離間して並列されている。尚、この浮上ユニット４ａ，４ｂ，…は、枠体２１を構成する左右方向に延びる複数の杆材２１ａ，２１ａ，…の上方に固定されている（図３及び図４参照）。

【0022】

浮上ユニット４ａ，４ｂは、箱状を成し、上方に開口するスリット４１，４１，…を、該浮上ユニット４ａ，４ｂの上面の外縁に備えており、筐体２の下部に設けられ空気を収容する複数のチャンバー（図示略）から空気を取り入れ、スリット４１，４１，…を介して上方に空気を吹き出すようになっている。そして、このスリット４１，４１，…から吹き出される空気の流れ・圧力を利用して、後述する駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…により幅方向の両端部が支持された基板Ｐの中央側を浮上させるようになっている。

【0023】

尚、浮上ユニット４ａ，４ｂの空気の吹出口は、スリット４１，４１，…のような形状に限られず、円形の穴状等であってもよい。また、浮上ユニット４ａ，４ｂの空気の吹出口は、上面の外縁に設けられることに限られず、上方に向けて空気を吹き出すことができればよく、浮上ユニット４ａ，４ｂの上面の中央部に吹出口が設けられていてもよい。また、浮上ユニット４ａ，４ｂは、上記構造に限られず、羽根を有するファン等であってもよい。

【0024】

これら浮上ユニット４ａ，４ｂ，…は、図示しない制御部にそれぞれ接続されており、該制御部により、ラインＬ１，Ｌ２毎に空気の吹き出しのＯＮ／ＯＦＦ制御を行えるようになっている。

【0025】

図２に示されるように、枠体２１内における左側（搬送路１０の一方）に配置され、搬送路１０の幅方向に移動可能な移動体５と、枠体２１内における右側（搬送路１０の他方）に固定配置される固定体６と、移動体５を搬送路１０の幅方向に移動させる移動装置７と、から搬送ユニット３が主に構成されている。

【0026】

図２ないし図４に示されるように、移動体５は、上面視略矩形状に組み立てられるベース部材５１と、ベース部材５１の長手方向に沿って複数立設する縦フレーム部材５２，５２，…と、基板Ｐを支持し、且つ該基板Ｐに対し搬送路１０の下流側に向かう推進力を付与する推進機構５３，５３，…と、推進機構５３，５３，…の駆動ローラ５５，５５，…に動力を伝える駆動機構５４と、を備えている。

【0027】

特に図４に示されるように、ベース部材５１は、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…を支持する杆材２１ａ，２１ａ，…よりも下方の位置に配置されている。縦フレーム部材５２，５２，…は、搬送路１０の搬送方向に隣接する浮上ユニット４ａ，４ｂ，…同士の間にそれぞれ対応するように配置されている。

【0028】

また、ベース部材５１の下部には、第１ガイドローラ５９ａ，５９ａ，…と、第２ガイドローラ５９ｂ，５９ｂ，…と、が設けられている（特に図３及び図４参照）。第１ガイドローラ５９ａ，５９ａ，…は、枠体２１の梁材２３，２４の上面に沿って走行可能となっており、第２ガイドローラ５９ｂ，５９ｂ，…は、梁材２３，２４の両側面に沿って走行可能となっている。尚、実際には、第１ガイドローラ５９ａ，５９ａ，…と、第２ガイドローラ５９ｂ，５９ｂ，…とが図２において見える位置に配置されるが、図２では、第１ガイドローラ５９ａ，５９ａ，…及び第２ガイドローラ５９ｂ，５９ｂ，…の構成の図示を省略している。

【0029】

図２に示されるように、推進機構５３，５３，…は、縦フレーム部材５２，５２，…の上端部にそれぞれ設けられている。図５に示されるように、推進機構５３は、水平方向に延びる回動軸５５ａを中心に回動する駆動ローラ５５と、駆動ローラ５５の上方に離間して配置され水平方向に延びる回動軸５７ａを中心に回動する従動ローラ５７と、を有する。

【0030】

図４に示されるように、推進機構５３，５３，…における駆動ローラ５５，５５，…は、その上端が浮上ユニット４ａ，４ｂ，…の上面よりも所定高さ上方となるように配置されており、基板Ｐの左側の側端部を載置して支持する一方の支持部として機能するとともに、基板Ｐに推進力を付与する推進力付与部としても機能している。また、従動ローラ５７，５７，…は、基板Ｐが駆動ローラ５５，５５，…上を移動する際に該基板Ｐの跳ね上がり等を抑える。

【0031】

図２ないし図５に示されるように、駆動機構５４は、縦フレーム部材５２，５２，…に渡って前後方向に延びる駆動軸５４ａと、駆動軸５４ａにベルト５４ｄを介して回転力を与える駆動モータ５４ｂ（駆動部）と、縦フレーム部材５２，５２，…に沿ってそれぞれ設けられる動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…と、を備えている。この駆動軸５４ａは、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…を支持する杆材２１ａ，２１ａ，…よりも下方の位置に設けられている（図４参照）。

【0032】

また、図５に示されるように、各動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…の上下両端、駆動軸５４ａにおける各動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…の下端近傍、及び各駆動ローラ５５，５５，…の回動軸５５ａ，５５ａ，…の外側（左側）には、各軸の回動方向を変向させる回動変向機構５８ａ〜５８ｄがそれぞれ設けられている。

【0033】

詳しくは、図５（ａ），（ｂ）に示されるように、駆動モータ５４ｂを駆動させると、ベルト５４ｄを介してその回転力が駆動軸５４ａに伝わり、これにより駆動軸５４ａに設けられた回動変向機構５８ａ，５８ａ，…が回転する。そして、駆動軸５４ａに設けられた回動変向機構５８ａ，５８ａ，…の回転に伴って、動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…の下端に設けられた回動変向機構５８ｂ，５８ｂ，…が回転し、動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…が回転する。次いで、動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…の上端に設けられた回動変向機構５８ｃ，５８ｃ，…の回転により回動軸５５ａに設けられた回動変向機構５８ｄ，５８ｄ，…が回転し、これにより駆動ローラ５５，５５，…が駆動される。

【0034】

図２及び図３に示されるように、固定体６は、ベース部材６１と、縦フレーム部材６２，６２，…と、駆動ローラ６５，６５，…を有する推進機構６３，６３，…と、推進機構６３，６３，…に動力を伝える駆動機構６４と、を備えており、移動体５と略同一の構造である。この固定体６は、ベース部材６１から下方に延出するフランジ部６１ａ，６１ａにより枠体２１の梁材２３，２４に固定されている。また、図示しないが、縦フレーム部材６２，６２，…は、枠体２１の任意の箇所に対してボルト等により固定されている。

【0035】

推進機構６３，６３，…における駆動ローラ６５，６５，…は、基板Ｐの右側の側端部を載置して支持することができる他方の支持部として機能するとともに、基板Ｐに推進力を付与する推進力付与部としても機能している。

【0036】

また、縦フレーム部材６２，６２，…は、その上端部近傍が前後方向に延びる連結部材６２ａにより連結されており、この連結部材６２ａにおける各縦フレーム部材６２，６２，…の間の位置には、基板Ｐの右側の側端部の支持を補助する従動ローラである補助ローラ９，９，…がそれぞれ配設されている。この補助ローラ９，９，…により基板Ｐの支持の安定性が向上する。

【0037】

上述のように、基板Ｐは、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…により両端部が支持されるようになっているとともに、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…が駆動することにより搬送路１０に沿って搬送される。また、基板Ｐが搬送路１０に沿って搬送される際には、前述した浮上ユニット４ａ，４ｂ，…から吹き出される空気により、基板Ｐの左右方向中央部の撓みが防止されるため、基板Ｐの変形等を抑制できる（図３参照）。尚、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…は、両方が駆動するようになっていたが、一方が従動ローラにより構成されていてもよい。

【0038】

次いで、移動装置７について図２から図４を用いて説明する。図２に示されるように、移動装置７は、左右方向に延びるレール部材７１と、レール部材７１に沿って移動可能な可動板材７２と、から主に構成される電動スライダである。図３に示されるように、レール部材７１は、その下端がスペーサ部材８を介して枠体２１の連結杆２５，２５，２５上に渡って固定配置されている。

【0039】

図２と図４に示されるように、レール部材７１の前後方向中央部には、上方に開口する溝部７１ａが左右方向に亘って形成されている。また、可動板材７２は、移動体５のベース部材５１の下面に固定される平板状の固定部７２ａと、固定部７２ａの下面から下方に突出する突出部７２ｂと、有し、突出部７２ｂは、レール部材７１の溝部７１ａ内に挿入されるようになっている。

【0040】

また、レール部材７１の内部には、突出部７２ｂと螺合する台形ネジを利用した直動モータ（図示略）が配設されており、この直動モータの駆動により可動板材７２が溝部７１ａに沿って搬送路１０の幅方向に移動する。可動板材７２は、移動体５のベース部材５１の下面に固定されているため、可動板材７２が搬送路１０の幅方向に移動すると、移動体５も搬送路１０の幅方向に移動する。つまり、移動装置７は、移動体５を搬送路１０の幅方向に移動させるとともに、その移動を案内する案内部となっている。

【0041】

尚、本実施例では、移動装置７の駆動部に台形ネジを利用した直動モータを用いる構成で説明したが、例えば、ラック・ピニオン等を駆動部として用いてもよい。また、移動体５を搬送路１０の幅方向に移動させる手段としては、上記移動装置７に限られず、例えば、油圧シリンダや搬送台車等であってもよい。

【0042】

また、図４に示されるように、移動体５の縦フレーム部材５２，５２，…は、搬送路１０の搬送方向に隣接する浮上ユニット４ａ，４ｂ，…同士の間にそれぞれ対応するように配置されているとともに、移動体５のベース部材５１及び駆動軸５４ａは、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…を支持する杆材２１ａ，２１ａ，…よりも下方の位置に設けられていることから、移動体５が第１位置から第２位置に移動する際には、縦フレーム部材５２，５２，…、ベース部材５１及び駆動軸５４ａが浮上ユニット４ａ，４ｂ，…に干渉しない。そのため、浮上搬送装置１は、移動体５を搬送路１０の幅方向に移動させることにより、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…間の距離、即ち搬送路１０の幅寸法を変更できる。

【0043】

次いで、搬送路１０の幅寸法を変更する一例として、所定の横幅を有する基板Ｐの搬送形態から該基板Ｐよりも横幅の小さい基板Ｐ’の搬送形態への切り換えを、図６を用いて説明する。基板Ｐの搬送形態から基板Ｐ’の搬送形態への切り換えは、移動体５を基板Ｐの搬送形態である第１位置（図６において一点鎖線で示す位置）から基板Ｐ’の搬送形態である第２位置（図６において実線で示す位置）に移動させることで行われる。

【0044】

幅方向に隣接する浮上ユニット４ａ，４ｂの間である第２位置に移動した移動体５の駆動ローラ５５，５５，…は、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…によりそれぞれ構成されるラインＬ１，Ｌ２間の長手方向に沿って配置されるようになっている。そのため、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…間の略中間位置にラインＬ２が配置される。これによれば、移動体５を第２位置に移動させた際においても、基板Ｐ’の中央部下方にラインＬ２の浮上ユニット４ｂ，４ｂ，…がバランスよく配置されることとなるため、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…間で支持及び搬送される基板Ｐ’の中央部をラインＬ２の浮上ユニット４ｂ，４ｂ，…からの空気の圧力により支持して、該基板Ｐ’の水平バランスを保つことができる。つまり、搬送路１０の幅方向に複数列離間して配置される浮上ユニットのうち所定の浮上ユニットの間に沿って駆動ローラ５５，５５，…が配置されるように移動体５を幅方向で浮上ユニット単位毎に移動させているため、基板Ｐ，Ｐ’に対し幅方向において均等に浮上ユニットからの空気による圧力を作用させることができ、基板Ｐ，Ｐ’の姿勢が安定する。そのため、浮上搬送装置１は、横幅の異なる種々の基板であっても安定的に搬送路１０上で搬送することができる。

【0045】

また、前述のように、移動体５が第１位置から第２位置に移動する際には、縦フレーム部材５２，５２，…、ベース部材５１及び駆動軸５４ａが浮上ユニット４ａ，４ｂ，…及び杆材２１ａ，２１ａ，…に干渉しないため、移動体５を上下方向に動かすことなく搬送路１０の幅方向に水平移動させることができる。これによれば、基板Ｐ，Ｐ’に対する駆動ローラ５５，５５，…の高さ位置を一定に保つことができるとともに、移動体５を移動させる移動装置７の構造及び制御を簡素化でき、且つ移動体５の移動時間を短縮できる。

【0046】

また、基板Ｐ，Ｐ’は、搬送路１０の搬送方向に沿って設けられる複数の駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…により基板Ｐ，Ｐ’の両側端の支持と搬送方向への搬送を同時に行うことができるため、基板Ｐ，Ｐ’を支持する機構と、基板Ｐ，Ｐ’を搬送する機構と、を別々に用意しなくて済み、搬送ユニット３の構造を簡素化できる。

【0047】

また、駆動ローラ５５，５５，…は、搬送路１０の搬送方向に沿って離間して配置されており、搬送路１０の搬送方向に隣接する浮上ユニット４ａ，４ａ，…同士の間を通過可能となっているため、駆動ローラ５５，５５，…の高さを低く設定できる。すなわち、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…の上面の高さ位置を浮上ユニット４ａ，４ｂ，…の上面に近づけることができ、空気の吹出し圧力が高い浮上ユニット４ａ，４ｂ，…を使用しなくて済み、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…の大きさや製造コストを小さくできる。

【0048】

また、移動体５側の複数の駆動ローラ５５，５５，…は、ベース部材５１により浮上ユニット４ａ，４ｂ，…よりも下方の位置で搬送方向に連結されているため、複数の駆動ローラ５５，５５，…を搬送路１０の幅方向に一体的に移動できる。これによれば、複数の駆動ローラ５５，５５，…が搬送路１０の搬送方向に相対的に位置ズレすることを防止でき、移動体５を搬送路１０の幅方向に移動させても、駆動ローラ５５，５５，…と駆動ローラ６５，６５，…との間隔を搬送路１０の搬送方向に沿って均一にできるとともに、駆動ローラ５５，５５，…を移動させる機構（移動装置７）を各駆動ローラ５５，５５，…に設けなくて済み、搬送ユニット３の構造及び制御を簡素化できる。

【0049】

また、複数の浮上ユニット４ａ，４ｂ，…及び移動体５は、それぞれ枠体２１に組み付けられているとともに、枠体２１には、搬送路１０の幅方向に延びる梁材２３，２４が設けられており、移動体５が搬送路１０の幅方向に移動する際には、移動体５に設けられた第１ガイドローラ５９ａ，５９ａ，…及び第２ガイドローラ５９ｂ，５９ｂ，…が梁材２３，２４の上面及び側面を走行する。言い換えれば、梁材２３，２４は、移動体５の搬送路１０の幅方向の移動を案内する案内部となっている。また、前述のように、移動装置７は、移動体５の搬送路１０の幅方向に移動を案内する案内部となっているため、移動体５を枠体２１に固着される複数の浮上ユニット４ａ，４ｂ，…に接触することなく確実に移動させることができる。

【0050】

また、前述のように、搬送方向に延びる駆動軸５４ａの駆動により動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…を介して駆動ローラ５５，５５，…が回転駆動するようになっているため、複数の駆動ローラ５５，５５，…の回転速度を略均一にすることができる。

【0051】

また、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…は、図示しない制御部により、ラインＬ１，Ｌ２毎に空気の吹き出しのＯＮ／ＯＦＦ制御を行えるようになっているため、基板Ｐ’の両側端を支持する駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…の間に配設されるラインＬ２の浮上ユニット４ｂ，４ｂ，…のみを動作させ、それ以外のラインＬ１の浮上ユニット４ａ，４ａ，…を停止させることができる。そのため、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…の間以外に配置されるラインＬ１の浮上ユニット４ａ，４ａ，…から吹き出される空気により、搬送路１０中の基板Ｐ’が影響を受けることがなく、基板Ｐ’の水平バランスを保ちやすい。また、浮上用の空気の利用効率を良くできる。

【0052】

尚、本実施例では、移動体５のみを幅方向で浮上ユニット単位毎に移動させて搬送路１０の幅寸法を変更する形態について説明したが、これに限られず、固定体６に代えて、移動体５と略同一構成の第２移動体を幅方向に移動可能とし、移動体５と第２移動体により搬送路１０の両側から幅寸法を変更できるようにしてもよい。

【0053】

また、前記実施例では、駆動ローラ５５，５５，…を支持する縦フレーム部材５２，５２，…が搬送路１０の搬送方向に離間する浮上ユニット４ａ，４ｂ，…の側方を通過して搬送路１０の幅方向に水平に移動する形態について説明したが、これに限られず、駆動ローラ５５，５５，…の位置を搬送路１０の幅方向に変更できるものであればよい。例えば、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…の下方または上方を通過して搬送路１０の幅方向に移動するようなものであってもよい。

【0054】

また、前記実施例では、浮上ユニット４ａ，４ｂ，…が搬送路１０の搬送方向に離間して複数並設され、搬送路１０の幅方向に離間して２列に並列されている形態を例示して説明したが、これに限られず、例えば、浮上ユニットは、搬送路全体に渡って設けられる１つの浮上ユニットであってもよい。この場合、浮上ユニットの吹出口は、基板の水平バランスの観点から少なくとも搬送路１０の幅方向に複数列設けられることが好ましい。

【0055】

また、浮上ユニットは、搬送路１０の搬送方向に複数連結される浮上ユニットが搬送路１０の幅方向に離間して複数並設されていてもよいし、搬送路１０の幅方向に複数連結される浮上ユニットが搬送路１０の搬送方向に離間して複数並設されていてもよい。

【0056】

また、前記実施例では、基板Ｐの両側端を支持する支持部を駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…とし、この駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…により、基板Ｐ，Ｐ’に対して搬送方向への推進力を付与する形態について説明したが、これに限られず、支持部は、基板Ｐ，Ｐ’の両側端を支持する機能のみ備えていればよい。具体的には、支持部を従動ローラ等で構成し、推進力を付与する推進力付与部を搬送方向に向けて基板Ｐ，Ｐ’を押すプッシャ等で構成してもよい。

【0057】

また、駆動ローラ５５，５５，…及び駆動ローラ６５，６５，…に代えて、ベルトコンベヤや搬送台車等を利用してもよい。つまり、支持部は、搬送路１０の搬送方向に沿って複数設けられるものではなく、搬送路１０の搬送方向に連続していてもよい。

【0058】

また、駆動ローラ５５，５５，…は、搬送路１０の幅方向に一体的に移動できることに限られず、例えば、駆動ローラ５５，５５，…は、搬送路１０の幅方向に個別に移動できるようになっていてもよい。この場合、駆動ローラ５５，５５，…を支持する縦フレーム部材５２，５２，…にそれぞれ移動装置を設ければよい。また、駆動ローラ５５，５５，…は、それぞれが駆動モータを備え、各々で独立して回動できるようになっていてもよい。

【0059】

また、前記実施例では、梁材２３，２４と移動装置７とが、移動体５の搬送路１０の幅方向の移動を案内する案内部となっていたが、これに限られず、例えば、梁材２３，２４または移動装置７の一方のみを案内部として機能させてもよいし、その他案内部をさらに追加してもよい。

【0060】

また、回動変向機構５８ａ〜５８ｄは、動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…と駆動ローラ５５，５５，…との間及び駆動軸５４ａと動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…との間で動力を伝達できるものであればよく、例えば、かさ歯車、ウォームギヤ、ベルト、チェーン、磁石等の回動方向を変換する機構を用いてもよい。尚、回動変向機構５８ａ〜５８ｄとして磁石を用いた場合には、駆動ローラ５５，５５，…を駆動させるための動力の伝達を非接触で構成することもでき、動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…と駆動ローラ５５，５５，…の間及び駆動軸５４ａと駆動軸５４ａと動力伝達軸５４ｃ，５４ｃ，…との間での接触による粉塵等が発生せず、筐体２内部の搬送路１０上を清浄な状態に保つことができる。また、駆動ローラ５５，５５，…を駆動させた時に発生する動作音を抑えることができる。

【0061】

以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。

【0062】

例えば、前記実施例では、枠体２１に対して搬送ユニット３（搬送手段）及び浮上ユニット４ａ，４ｂ，…が組み付けられ一体となっている形態について説明したが、これに限られず、搬送手段及び浮上ユニットは、別々の支持台に支持されていてもよい。例えば、例えば、駆動ローラ５５，５５，…が壁面から水平方向に進退可能な移動体に取付けられていてもよい。

【0063】

また、前記実施例では、枠体２１の両側面及び上面に透過性のパネル体２２，２２，…が取付けられていたが、これに限られず、パネル体２２，２２，…は特段設けられていなくともよい。この場合、塵埃等が搬送路１０上に混入することを抑制するために、浮上搬送装置をクリーンルーム内に設置することが好ましい。

【符号の説明】

【0064】

１ 浮上搬送装置
３ 搬送ユニット（搬送手段）
４ 浮上ユニット
５ 移動体
７ 移動装置
１０ 搬送路
２１ 枠体（支持台）
２３，２４ 梁材（案内部）
５１ ベース部材
５２ 縦フレーム部材（フレーム）
５４ａ 駆動軸
５４ｃ 動力伝達軸
５５ 駆動ローラ（支持部）
５８ａ〜５８ｄ 回動変向機構
７１ レール部材
７１ａ 溝部
７２ 可動板材
Ｌ１，Ｌ２ ライン
Ｐ，Ｐ’ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】