特許6685959反射型露光マスク

発明の名称　反射型露光マスク

出願人　東芝メモリ株式会社　（識別番号 318010018）

　　　　特許公開件数ランキング 95 位（299件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 222 位（130件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6685959

公報発行日　2020年4月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6685959

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