【課題を解決するための手段】
【0003】
表示デバイスが特定される。特に、表示デバイスは、互いに別個に作動させることができる複数のピクセルを備え、電磁放射を発生させる半導体積層体を備える。半導体積層体は、例えば、第1の半導体層、活性層および第2の半導体層を有する。表示デバイスは、例えば、発光ダイオードであり、特に、半導体積層体の成長基板がない薄膜発光ダイオードとすることができる。
【0004】
表示デバイスは、第1の主要面と第2の主要面との間を垂直方向に延在する。垂直方向は、第1および/または第2の主要面に対して横断方向にもしくは直交して延びることができる。主要面は、例えば、表示デバイスの上面および下面の主要延長面とすることができる。表示デバイスは、横方向に二次元で、したがって少なくとも所々では主要面に対して平行に延在し、横方向における表示デバイスの最大延長に対して小さい垂直方向の厚さを有する。
【0005】
例えば、半導体積層体、特に活性層は、III−V族化合物半導体材料を含有する。III−V族化合物半導体材料は、可視スペクトル領域(特に青から緑色の放射の場合はAl
xIn
yGa
1−x−yN、または特に黄色から赤色の放射の場合はAl
xIn
yGa
1−x−yP)から赤外(Al
xIn
yGa
1−x−yAs)スペクトル領域までを経て、紫外放射(Al
xIn
yGa
1−x−yN)を発生させるのに特に適している。ここで、0≦x≦1、0≦y≦1、およびx+y≦1であり、特に、x≠1、y≠1、x≠0、および/またはy≠0がそれぞれ当てはまる。特に上記材料系から、III−V族化合物半導体材料を使用して、更に、放射の発生における高い内部量子効率を達成することができる。
【0006】
活性層は、第1の半導体層と第2の半導体層との間に配置される。第1の半導体層および第2の半導体層は、便宜的には、互いに異なる導電型を有する。特に、第1の半導体層はpドープ半導体層とすることができ、第2の半導体層はnドープ半導体層とすることができる。
【0007】
表示デバイスの製造において、ピクセルは、好ましくは共通の半導体積層体から生じる。特定のピクセルと関連付けられた半導体層、したがって、ピクセルを形成する半導体積層体の横方向領域は、製造によって引き起こされるばらつきは除いて、表示デバイスの別のピクセルと関連付けられた半導体層と、それらの材料組成および層厚に関して同一とすることができる。
【0008】
表示デバイスは、例えばキャリアを有する。キャリアは、例えば、少なくとも1つのピクセルを制御するために特定のピクセルとそれぞれ関連付けられる複数のスイッチを有することができる。キャリアは、例えば、半導体積層体を機械的に安定化させることができる。
【0009】
第1の主要面は、例えば、半導体積層体のキャリアからは遠い側に位置する。したがって、第2の主要面は、例えば、キャリアの半導体積層体からは遠い側に位置する。
【0010】
少なくとも一実施形態では、表示デバイスは、第1の半導体層に接触する第1のコンタクト構造を備える。表示デバイスは更に、第2の半導体層に接触する第2のコンタクト構造を備える。
【0011】
第1のコンタクト構造は、例えば、半導体積層体とキャリアとの間に配置される。第1のコンタクト構造は、特に、第1の半導体層に導電的に接続される。第1の半導体層は、第1のコンタクト構造によって第2の主要面から電気コンタクト可能である。
【0012】
第1のコンタクト構造は、例えば、金属層または金属層スタックから成る。第1のコンタクト構造は、好ましくは、光学ミラー効果を有する。例えば、第1のコンタクト構造は、Al、Ag、Au、もしくはRhなどの材料から成るか、またはかかる材料を有する。特に、第1のコンタクト構造の層厚は、50nm〜500nmである。
【0013】
それに加えて、またはその代わりに、透明導電性酸化物(TCO)層が、半導体積層体と、金属層または金属層スタックとの間に導入される。これは、一例として、ITO、SnO、ZnOなどの材料から成るか、またはかかる材料を有する。特に、かかる層の層厚は、100nm未満である。
【0014】
それに加えて、誘電体または誘電体層スタックを、透明導電性酸化物層と金属層または金属層スタックとの間に配置することができる。これは、一例として、SiO
2から成るか、またはSiO
2を有する。特に、この層厚は、100nm〜1000nmである。誘電体または誘電体層スタックは、例えば、特に個片化された、陥凹部を有することができる。したがって、透明導電性酸化物層と、金属層または金属層スタックとの間に導電性接続が提供される。
【0015】
第2のコンタクト構造は、同様に、例えば、キャリアと半導体積層体との間に配置される。第2のコンタクト構造は、特に、第2の半導体層に導電的に接続される。第2の半導体層は、第2のコンタクト構造によって第2の主要面から電気コンタクト可能である。
【0016】
第1のコンタクト構造および/または第2のコンタクト構造、あるいはその少なくとも部分層は、例えば、特に表示デバイスの動作中に発生した放射に関して、反射型に形成される。少なくとも一実施形態では、第1のコンタクト構造は、互いに独立して作動させることができる第1のコンタクトを有する。第1のコンタクトはそれぞれ、横方向に延在し、第1の半導体層に沿って中断されない。第1のコンタクトはそれぞれ、当該第1のコンタクトの輪郭によって横方向でピクセルの境界を定める。
【0017】
少なくとも1つのピクセルを制御するスイッチを、例えば、本明細書では、第1のコンタクトのそれぞれと関連付けることができる。特に、第1のコンタクトは、それぞれのスイッチに電気的に接続される。第1のコンタクトは、各例において、互いに電気的に別個に第1の半導体層に接触する。垂直方向の表示デバイスの平面図では、第1のコンタクトそれぞれの横方向輪郭はそれぞれピクセルの境界を定める。換言すれば、ピクセルの横方向延長部は、それぞれの第1のコンタクトの横方向延長部によって形成される。第1のコンタクトは、特に、ピクセルを制御するため、1つのピクセルそれぞれと明確に関連付けられる。
【0018】
少なくとも一実施形態では、半導体積層体および第1のコンタクト構造は、それぞれのピクセルと横方向で隣接する少なくとも1つの陥凹部を有する。少なくとも1つの陥凹部は、第1のコンタクト構造、第1の半導体層および活性層を通り、第2の半導体層内へと延在する。
【0019】
特に、少なくとも1つの陥凹部は、第2の主要面から横断方向にまたは直交して第1の主要面まで延在する。少なくとも1つの陥凹部は、特に、第1のコンタクト構造を中断する。例えば、横方向で連続した第1のコンタクトはそれぞれ、少なくとも1つの陥凹部によって、互いに電気的に分離される。少なくとも1つの陥凹部は、特に、表示デバイスの平面図における個々のピクセル間の光学分離領域において、横方向に延在する。光学分離は、特に、個々のピクセルの横方向分離であり、その分離は、例えば、表示デバイスの平面図において観察者が直接知覚することができ、ならびに/あるいは適切な拡大によって測定することができ、ならびに/あるいは例えば鮮明度を印象強化した形態で、平面図において観察者が少なくとも間接的に知覚することができる。
【0020】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクト構造は、第2のコンタクトを有する。第2のコンタクトは、半導体積層体の第1のコンタクト構造に面する側から少なくとも1つの陥凹部を通って延在する。
【0021】
第2のコンタクトは、第2の半導体層それぞれに電気的に接触する。この例では、第2のコンタクトは、特に表示デバイスの共通電極の形態で、互いに電気的に接続することができる。
【0022】
第2のコンタクトは、特に、第1の半導体層から電気的に絶縁される。本明細書では、表示デバイスは、第2のコンタクトを第1のコンタクトおよび/または第1の半導体層から電気的に分離する、分離構造を有することができる。例えば、この目的のため、分離構造は、横方向で少なくとも1つの陥凹部の境界を定める。例えば、第2のコンタクトは、分離構造によって横方向で境界を定められた少なくとも1つの陥凹部を完全に塞ぐ。この代わりに、第2のコンタクトは、分離構造と、少なくとも1つの陥凹部の端面にある第2の半導体層とを被覆し、したがって特に、それぞれの陥凹部を完全には塞がない。
【0023】
第2のコンタクトによる第2の半導体層の接触は、特に、表示デバイスの平面図における個々のピクセル間の光学分離の領域で延在する。ピクセル間の光学分離は、このように、特に第2の半導体層の接触と組み合わせることができる。例えば、本明細書では、特に表示デバイスの動作中に発生する放射に関して、分離構造は、反射型に構成することができる。分離構造は、例えば、部分的または完全に透明な誘電体、例えば酸化シリコンおよび/または窒化シリコンおよび/または酸化アルミニウムから成る。例えば、このように、反射は、誘電体上、または動作中に発生する放射のビーム経路の後方にある第2のコンタクト構造の金属層上の全反射の形態で、角度に依存して起こることができる。第2のコンタクト構造は、有利には、例えば銀などの高反射性材料から、この目的のために構成される。
【0024】
少なくとも一実施形態では、互いに別個に作動させることができる複数のピクセルを備えた表示デバイスは、電磁放射を発生させる半導体積層体を備える。半導体積層体は、第1の半導体層、活性層および第2の半導体層を有する。
【0025】
表示デバイスは、第1の半導体層に接触する第1のコンタクト構造と、第2の半導体層に接触する第2のコンタクト構造とを更に備える。第1のコンタクト構造は、互いに別個に作動させることができ、第1の半導体層に沿って横方向に中断されずにそれぞれ延在する第1のコンタクトを有する。第1のコンタクトはそれぞれ、当該第1のコンタクトの輪郭によって横方向でピクセルの境界を定める。
【0026】
半導体積層体および第1のコンタクト構造は、それぞれのピクセルと横方向で隣接する少なくとも1つの陥凹部を有し、その陥凹部は、第1のコンタクト構造、第1の半導体層、および活性層を通って、第2の半導体層内へと延在する。第2のコンタクト構造は、半導体積層体の第1のコンタクト構造に面する側から少なくとも1つの陥凹部を通って延在する、第2のコンタクトを有する。
【0027】
これにより、第1のコンタクト構造の個々のピクセルと第1の半導体層との間の分離トレンチが、第2の半導体層の貫通接触(through-contacting)として使用される、表示デバイスの特定の有利な横方向空間を利用することが容易になる。したがって、表示デバイスの放射面と非放射面の比を特に高く保つことができるので、表示デバイスの高効率に寄与する。更に、個々のピクセルに関して横縁部領域で接触するので、個々のピクセルの中断されない照明パターンが容易になる。特に、接触によって暗く知覚され得るピクセル内の位置を、この例では回避することができる。更に、ピクセルの冗長な接触が容易になるので、表示デバイスの信頼性に寄与する。
【0028】
少なくとも一実施形態では、第1および第2のコンタクトはそれぞれ、第1および第2の半導体層と直接接触する。第1および第2のコンタクトは、それぞれの半導体層と電気的に、特に直接接触する。例えば、第1のコンタクトおよび第1の半導体層は、互いに横方向で二次元的に直接隣接する。第2のコンタクトは、例えば、それぞれの陥凹部を通って第2の半導体層内へと延在する。
【0029】
少なくとも一実施形態では、いくつかの第2のコンタクトが少なくとも1つのピクセルと関連付けられ、それらのコンタクトがそれぞれのピクセルに冗長に接触する。特に、いくつかの第2のコンタクトは、少なくとも1つのピクセルと横方向で隣接する。少なくとも1つのピクセルの作動は、ピクセルと関連付けられたいくつかの第2のコンタクト、およびそれぞれの第1のコンタクトを介して、半導体積層体の通電によって行われる。
【0030】
第2のコンタクトをピクセルの横縁部領域に配置することによって、いくつかの冗長な第2のコンタクトを単一のピクセルと関連付けることができる。したがって、いくつかの第2のコンタクトのうち1つが破損すると、特に単純な方法で補償することができる。これは、表示デバイスの製造における高収率および高い安全性に寄与する。
【0031】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクトの少なくとも1つは、いくつかの隣接したピクセルと横方向で隣接して配置され、いくつかの隣接したピクセルに接触するように構成される。換言すれば、少なくとも1つの第2のコンタクトはそれぞれ、いくつかの隣接したピクセルと関連付けられる。したがって、いくつかのピクセルを、単一のコンタクトを用いて有利な方法で作動させることができる。このように、ピクセルの接触に対する空間的要件を小さく保つことができ、表示デバイスの放射面と非放射面との比を高くすることに寄与する。
【0032】
少なくとも一実施形態では、ピクセルは、格子の形態で横方向に分離して配置される。ピクセルは、この例では、例えば、互いに横断方向にまたは直交して行および列の形で配置され、行および列はそれぞれ分離ウェブによって分離される。横方向分離の分離ウェブは、この例では、同様に、それらに対して横断方向にまたは直交して配置された行および列に沿って延びる。横方向分離は、例えば、分離ウェブの交点にある格子の格子点またはノーダルポイントを囲む格子を形成する。換言すれば、ピクセルは、格子に対して、特に分離ウェブによって形成される格子の隙間に配置される。これは、表示デバイスの平面図では、ピクセルが光学的に分離されて配置されることを意味する。第2のコンタクトの少なくとも1つは、格子のノーダルポイントに配置される。
【0033】
例えば、ピクセルは、規則的な多角形格子の形で分離されて配置される。ピクセルの横方向分離は、この例では、必ずしも直線に沿っていなくても良い。実際、側面が湾曲または屈曲したピクセルも、少なくとも区域内で、横方向分離によって作成することができる。例えば、ピクセルは円形のドットとして知覚することができる。格子の形態で分離して配置されたピクセルの活性化は、有利な方法で単純化される。更に、形、図形、または文字の表現を、表示デバイスによって精密かつ柔軟に行うことができる。
【0034】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクトの1つは、格子の各ノーダルポイントに配置される。したがって、それぞれの第2のコンタクトは、有利には、ピクセル間の光学分離ウェブの形で配置されるので、表示デバイスの放射面が中断されずに保たれ、最大サイズのものとすることができる。特に、それぞれの第2のコンタクトは、格子のノーダルポイントに対応する配置において、いくつかのピクセルと、例えば規則的な長方形の格子の4つのピクセルと、横方向で隣接することができる。これにより、1つの特定の第2のコンタクトのみを使用して、特に多数の隣接したピクセルを作動させることが可能になる。
【0035】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクトはそれぞれ、それぞれの列に対して、ならびに/またはそれぞれの行に対して、2つの隣接したノーダルポイントの間に配置される。このように、それぞれの第2のコンタクトは、例えば、それぞれの例において、2つのピクセルと関連付けられる。
【0036】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクトの1つが、格子の横方向に連続したノーダルポイントの1つおきに配置される。したがって、表示デバイスは、有利には、冗長な第2のコンタクトなしで作動させることができるので、表示デバイスの特に高い表面利用が容易になる。このこととは別に、第2のコンタクトの1つが格子の横方向に連続したノーダルポイントのx個おきに配置される(xは任意の自然数であり得る)ことが、同様に可能である。換言すれば、1および0.5とは異なるノーダルポイントの偶数の有理数を第2のコンタクトが占めることができる。
【0037】
少なくとも一実施形態では、表示デバイスの横縁部領域と隣接するピクセルと関連付けられた第2のコンタクトの少なくとも1つは、横縁部領域に沿って平行に延在して構成される。これは、表示デバイスの均一な外形、および表示デバイスの製造におけるプロセスの信頼性に寄与する。例えば、特に個片化プロセスに関して、表示デバイスの機械的脆弱点を回避することができる。一例として、それぞれの第2のコンタクトは、表示デバイスの縁部に沿った特定の第2のコンタクト周りの移行区域において、それぞれの第2のコンタクトの構造が突き出ないような実質的に平坦な表面が生じるような形で、表示デバイスの横縁部領域と面一で終わる。このこととは別に、特定の第2のコンタクトは少なくとも、前記移行区域に少なくとも1つの縁部がない表面が作成されるような形で配置される。
【0038】
少なくとも一実施形態では、ピクセルと関連付けられた第2のコンタクトの横方向延長部は、それぞれの例において、それぞれのピクセルと関連付けられた第2のコンタクトの数に依存する。第2のコンタクトの横方向延長部は、この例では、形状およびサイズの両方が変動し得る。特に、特定のピクセルと関連付けられた第2のコンタクトは、横方向で、特定のピクセルと隣接する。特定のピクセルの作動は、ピクセルと関連付けられた第2のコンタクト、およびそれぞれの第1のコンタクトを介して、通電によって行われる。
【0039】
第2のコンタクトの横方向延長部を適合させることによって、表示デバイスの特に均一な照明パターンが容易になる。例えば、個々のピクセルの明るさは、それぞれの関連付けられた第1および第2のコンタクトを通って流れる電流によって影響される。コンタクトを通って流れる電流は、特に、それぞれのコンタクトの断面積に比例する。
【0040】
一例として、あるピクセルと関連付けられた多数の第2のコンタクトを、表示デバイスの他のピクセルと比べて低減することができるので、表示デバイスの他のピクセルと関連付けられた第2のコンタクトと比べて、そのピクセルと関連付けられた第2のコンタクトを同時に拡大することによって、ピクセルを作動させる累積した電流の流れが実質的に等しく、ピクセルの均一な明るさが達成される。
【0041】
少なくとも一実施形態では、表示デバイスの横縁部領域と隣接するピクセルと関連付けられた第2のコンタクトの少なくとも1つは、それぞれの第2のコンタクトが表示デバイスの横方向内部に対してずれて配置される、所定の間隔を有する。例えば、それぞれの第2のコンタクトは、それぞれの第2のコンタクトが縁部と面一で終わるか、または表示デバイスの縁部に沿ったそれぞれの第2のコンタクト周りの移行区域に対して、それぞれの第2のコンタクトの少なくとも横方向突出が低減もしくは回避されるような形で、表示デバイスの内部に対して横方向にずれて配置される。それぞれの第2のコンタクトは、この例では、例えば、上述の格子上に、ただし格子のノーダルポイントに対して横方向にずれて配置することができる。これは、有利には、表示デバイスの製造におけるプロセスの高い信頼性に寄与する。
【0042】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクトの少なくとも1つの横方向延長部は、円形に構成される。したがって、有利には、少なくとも1つの円形に構成された第2のコンタクトと関連付けられたピクセルの特に均一な通電が容易になる。
【0043】
少なくとも一実施形態では、それぞれの第2のコンタクトの横方向延長部は、垂直方向で様々であり得る。特に、それぞれの第2のコンタクトおよび/またはそれぞれの陥凹部は、円錐状に、または円錐の形状で構成することができる。例えば、それぞれの陥凹部および/またはそれぞれの第2のコンタクトの横方向延長部は、第2の主要面に向かって拡大される。したがって、それぞれの第2のコンタクトと関連付けられたピクセルの横方向限界は、例えば、漏斗状であって、それぞれのピクセルにおいて発生する放射の特に有利な放射特性に寄与する。
【0044】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクトの少なくとも1つは、ピクセルを横方向で囲む。特に均一な電流の流れが、有利には、横方向で囲まれたピクセルに対して容易になる。これは、特にピクセルの知覚可能な明るさに関して、ピクセルの区域において均一に発生する放射に寄与する。
【0045】
少なくとも一実施形態では、第2のコンタクト構造は、格子の形態で構成される。これにより、有利には、ピクセルの特に単純で冗長な接触、ならびに均一な通電が可能になる。
【0046】
更なる特徴、構成、および便宜性が、図面と関連した例示的実施形態の以下の説明から得られる。