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特許6690969プラズマエッチング中の多孔質基板の保護
発明の名称 プラズマエッチング中の多孔質基板の保護
出願人 アイメック・ヴェーゼットウェー （識別番号 514156563）
特許公開件数ランキング 4781 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3848 位（3件）（共同出願を含む）
出願人 カトリーケ・ユニフェルシテイト・ルーヴァン （識別番号 599098493）
特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3848 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6690969
公報発行日 2020年4月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6690969
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