特許 6693791 粘着シート製造装置及び粘着シート製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6693791

(24)【登録日】2020年4月20日

(45)【発行日】2020年5月13日

(54)【発明の名称】粘着シート製造装置及び粘着シート製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/892 20060101AFI20200427BHJP

   C09J 201/00 20060101ALI20200427BHJP

   C09J 11/04 20060101ALI20200427BHJP

   B05D 7/00 20060101ALI20200427BHJP

   B05D 7/24 20060101ALI20200427BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20200427BHJP

   G01B 11/30 20060101ALI20200427BHJP

   G01B 11/28 20060101ALI20200427BHJP

   B05C 5/02 20060101ALI20200427BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20200427BHJP

   B05C 11/00 20060101ALI20200427BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/892 A

   C09J201/00

   C09J11/04

   B05D7/00 A

   B05D7/24 301P

   B05D3/00 D

   B05D7/24 303F

   G01B11/30 Z

   G01B11/28 H

   B05C5/02

   B05C11/10

   B05C11/00

【請求項の数】8

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2016-72410(P2016-72410)

(22)【出願日】2016年3月31日

(65)【公開番号】特開2017-181419(P2017-181419A)

(43)【公開日】2017年10月5日

【審査請求日】2019年1月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】齋藤 慈

(72)【発明者】

【氏名】宮崎 渉

(72)【発明者】

【氏名】能勢 幸治

【審査官】 越柴 洋哉

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１５／１５２３４８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１５／１５２３５１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１０−２８５４９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−１５８２４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０８−１５９９８２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００−１１／３０

Ｃ０９Ｊ ７／００− ７／５０

Ｃ０９Ｊ ９／００−２０１／１０

Ｂ３２Ｂ １／００−４３／００

Ｂ０５Ｃ ５／００− ５／０４

Ｂ０５Ｃ ７／００−２１／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基材又は剥離材を構成するシートを送るシート送り部と、
前記シート送り部から送られたシートに、主成分として樹脂を含む樹脂部分と前記樹脂部分に混在する複数の微粒子とを含む材料を供給し、粘着性を有する樹脂層を形成する粘着剤供給部と、
前記樹脂層の前記シートと接する面とは反対側の面にそれぞれ形成される凹部と凸部との少なくとも一方から反射した光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した光から前記樹脂層の凹部と凸部との比率を演算する凹凸比演算部と、
前記凹凸比演算部で求められた前記比率が許容範囲にあるか否かを判定する判定部と、
前記判定部で前記比率が許容範囲にないと判定された場合に前記粘着剤供給部から前記シートに送られる前記樹脂部分と前記複数の微粒子との相対的な量を変更する制御部と、を備えたことを特徴とする粘着シート製造装置。

【請求項2】

請求項１に記載された粘着シート製造装置において、
前記受光部は、前記樹脂層の凹部と凸部とを撮像する撮像部を備え、
前記凹凸比演算部は前記撮像部で撮像された前記凹部及び前記凸部に対する前記凹部又は前記凸部の面積比率を演算する
ことを特徴とする粘着シート製造装置。

【請求項3】

請求項２に記載された粘着シート製造装置において、
前記凹凸比演算部は、前記撮像部で撮像された画像を二値化する二値化部と、前記二値化部で二値化された画像に基づいて前記凹部及び凸部に対する前記凹部又は前記凸部の面積比率を算出する面積比算出部と、を備えたことを特徴とする粘着シート製造装置。

【請求項4】

請求項２または請求項３に記載された粘着シート製造装置において、
前記撮像部は、前記樹脂層の凹部と凸部とに光を照射する光源と、前記樹脂層の凹部と凸部との少なくとも一方から反射した光を受光するカメラと、を備えたことを特徴とする粘着シート製造装置。

【請求項5】

請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載された粘着シート製造装置において、
前記粘着剤供給部と前記撮像部との間に、前記樹脂層を乾燥させる乾燥部を配置したことを特徴とする粘着シート製造装置。

【請求項6】

請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載された粘着シート製造装置において、
前記粘着剤供給部は、前記シートに前記樹脂部分を積層した状態で供給する複数の供給部を備え、
前記複数の供給部のうち少なくとも一部は前記樹脂部分に前記複数の微粒子が混在することを特徴とする粘着シート製造装置。

【請求項7】

請求項６に記載された粘着シート製造装置において、
前記制御部は、前記判定部が前記凹部及び凸部に対する前記凸部の面積比率が前記許容範囲より大きいと判定した場合には前記供給部から供給される前記複数の微粒子が混在した前記樹脂部分の供給量を多くし、前記凹部及び前記凸部に対する前記凸部の面積比率が小さいと判定した場合には前記供給部から供給される前記複数の微粒子が混在した前記樹脂部分の供給量を少なくすることを特徴とする粘着シート製造装置。

【請求項8】

基材又は剥離材を構成するシートを送る工程と、
前記シートを送る工程で送られたシートに、主成分として樹脂を含む樹脂部分と前記樹脂部分に混在する複数の微粒子とを含む材料を供給し、粘着性を有する樹脂層を形成する工程と、
前記シートに形成された樹脂層を乾燥させる工程と、
前記乾燥させる工程で乾燥した樹脂層の前記シートと接する面とは反対側の面にそれぞれ形成される凹部と凸部との少なくとも一方から反射する光を受光する工程と、
前記受光した光から前記樹脂層の凹部と凸部との比率を演算する工程と、
前記比率が許容範囲にあるか否かを判定する工程と、
前記比率が許容範囲にない場合に前記シートに送られる前記樹脂部分と前記複数の微粒子との相対的な量を変更する工程と、を備えたことを特徴とする粘着シート製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、粘着シート製造装置及び粘着シート製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、粘着シートの製造時において、基材に塗布された粘着剤の表面欠陥や塗布ムラを検査するための検査装置や、当該検査装置を組み込んだ粘着シートの製造装置が知られている。
従来例として、ダイと乾燥装置の間に配設された第１フィゾー干渉計により、塗布後におけるフィルムシート上の粘着剤表面を測定するとともに粘着剤表面の干渉縞画像データを取得し、第１フィゾー干渉計により取得された粘着剤表面の干渉縞画像データをフーリエ変換法で解析するとともに、粘着剤表面に発生する微細凹凸に関する算術平均粗さ、最大高さと最小高さとの差の基準数値データを演算し、その演算された基準数値データに基づき、ダイによる粘着剤の塗布条件を変更するものがある（特許文献１）。特許文献１の従来例では、粘着テープの製造中に微細な凹凸に起因する表面欠陥が発生した場合に、その表面欠陥の原因をインラインで迅速に検出するとともに、表面欠陥の原因を除去するように製造条件が変更可能となる。

【0003】

他の従来例として、アルミニウム箔表面の接着剤の溶剤成分を除去した後、アルミニウム箔にプラスチックフィルムを圧着する前に、アルミニウム箔の表面の接着剤塗布面の温度を赤外線サーモグラフィにより測定し、接着剤塗布面の温度分布に基づいて、接着剤の塗布状態を検出し、接着剤塗布面の温度が所定の基準値以下の場合に、接着剤の塗布ムラがあると判定するものがある（特許文献２）。特許文献２の従来例では、アルミニウム箔表面の接着剤の塗布状態を精度よく検出することができる。

【0004】

他の従来例として、基材に塗布された塗膜を線状に走査して温度分布を測定し、その温度分布範囲内の温度差に基づいて塗膜の塗布ムラを求めるものがある（特許文献３）。特許文献３の従来例では、塗膜が塗布された基材をその長手方向に搬送し、赤外線カメラによる測温点を基材の塗膜面の幅方向へ線状に走査移動させ、赤外線カメラによって検出される赤外線エネルギーに基づいて基材の塗膜面に関する線状の温度分布を測定する。これにより、多種類の塗膜に適用でき、その塗膜の塗布ムラを高精度に測定できる。

【0005】

ここで、本件出願人は、基材又は剥離材上に、主成分として樹脂を含む樹脂部分と、微粒子からなる粒子部分とを含む樹脂層を有し、前記基材又は剥離材が設けられた側とは反対側の樹脂層の表面に粘着性を有する粘着シートを開発した（特許文献４）。特許文献４の従来例では、乾燥した樹脂層の表面、つまり、樹脂層の基材又は剥離材と接合する面とは反対側の面には凹凸が形成されることになる。これは、樹脂層の塗膜を乾燥させる工程において、塗膜内部に収縮応力が発生し、微粒子の存在に起因すると思われる樹脂の結合力が弱くなった部分で塗膜内に割れが生じ、割れ部分の周辺の樹脂が割れにより一時的に生じる空間に流入することと考えられる。
樹脂層を被着体に貼付するにあたり、樹脂層の表面に形成された凸部が被着体に当接し、樹脂層と被着体との間の空気溜まりが凹部を通じてシート外に排出される（エア抜け性）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１０−２８５４９８号公報

【特許文献2】特開２０１２−２２５７２８号公報

【特許文献3】特開平８−３０４０３６号公報

【特許文献4】国際公開第２０１５／１５２３４７号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献４で示される従来例において、樹脂層の表面の凸部の凹部に対する面積が大きすぎると、凹部を通じてのエア抜け性が十分ではなくなる。逆に、凸部の凹部に対する面積が小さすぎると、被着体への粘着特性が十分ではなくなる。つまり、エア抜け性と粘着特性とを確保するには、樹脂層の表面に形成された凹凸の面積比が所定範囲にある必要がある。
そこで、特許文献４の従来例の粘着シートを検査等するために、特許文献１、特許文献２及び特許文献３の従来例を用いることが考えられる。

【0008】

特許文献１の従来例は、粘着剤表面に発生する微細凹凸に関する算術平均粗さ、最大高さと最小高さとの差の基準数値データを演算し、その演算された基準数値データに基づき、制御装置を介してダイによる粘着剤の塗布条件を変更するものであるため、粘着テープの製造中に微細な凹凸に起因する表面欠陥を検出することができても、エア抜け性と粘着特性との検査ができるものではない。
特許文献２の従来例は、アルミニウム箔の表面の接着剤塗布面の温度を赤外線サーモグラフィにより測定し、接着剤塗布面の温度分布に基づいて接着剤の塗布状態を検出するものであるため、アルミニウム箔表面の接着剤の塗布状態を精度よく検出することができても、エア抜け性と粘着特性との検査ができるものではない。
特許文献３の従来例は、赤外線カメラによって検出される赤外線エネルギーに基づいて基材の塗膜面に関する線状の温度分布を測定するため、塗膜の塗布ムラを高精度に測定できても、エア抜け性と粘着特性との検査ができるものではない。

【0009】

本発明の目的は、エア抜け性と粘着特性とを達成する粘着シートを製造できる粘着シート製造装置、及び粘着シート製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0013】

本発明の粘着シート製造装置は、基材又は剥離材を構成するシートを送るシート送り部と、前記シート送り部から送られたシートに、主成分として樹脂を含む樹脂部分と前記樹脂部分に混在する複数の微粒子とを含む材料を供給し、粘着性を有する樹脂層を形成する粘着剤供給部と、前記樹脂層の前記シートと接する面とは反対側の面にそれぞれ形成される凹部と凸部との少なくとも一方から反射した光を受光する受光部と、前記受光部で受光した光から前記樹脂層の凹部と凸部との比率を演算する凹凸比演算部と、前記凹凸比演算部で求められた前記比率が許容範囲にあるか否かを判定する判定部と、前記判定部で前記比率が許容範囲にないと判定された場合に前記粘着剤供給部から前記シートに送られる前記樹脂部分と前記複数の微粒子との相対的な量を変更する制御部と、を備えたことを特徴とする。

【0014】

本発明の粘着シート製造装置では、シート送り部で送られたシートに、粘着剤供給部により樹脂層が形成される。樹脂層が乾燥すると、その表面に凹部と凸部とが生じることになる。そして、凹部と凸部との少なくとも一方から反射する光が受光部で受光され、凹部と凸部の比率が凹凸比演算部で演算され、比率が許容範囲にあるか否かが判定部で判定される。判定部で比率が許容範囲にないと判定された場合には制御部で粘着剤供給部から供給される樹脂層の樹脂部分と微粒子との相対的な量が変更される。そのため、本発明では、判定部の判定結果に基づいて制御部が粘着剤供給部を制御するから、エア抜け性と粘着特性とを達成できる粘着シートを製造できる。

【0015】

本発明の粘着シート製造装置では、前記受光部は、前記樹脂層の凹部と凸部とを撮像する撮像部を備え、前記凹凸比演算部は前記撮像部で撮像された前記凹部及び前記凸部に対する前記凹部又は前記凸部の面積比率を演算する構成が好ましい。
この構成では、樹脂層の表面に生じた凹部と凸部とを撮像部で撮像し、凹部及び凸部の合計面積に対する凹部の合計面積又は凸部の合計面積の比率を凹凸比演算部で演算し、この面積比率が許容範囲にあるか否かを判定部で判定する。判定部により、面積比率が許容範囲にあるか否かが判定されるので、エア抜け性と粘着特性とを同時に達成できる粘着シートを精度よく製造することができる。

【0016】

本発明の粘着シート製造装置では、前記凹凸比演算部は、前記撮像部で撮像された画像を二値化する二値化部と、前記二値化部で二値化された画像に基づいて前記凹部及び前記凸部に対する前記凹部又は前記凸部の面積比率を算出する面積比算出部と、を備えた構成が好ましい。
この構成では、撮像部で撮像された画像を二値化することで、面積比率を容易かつ正確に求めることができる。そのため、粘着シートのエア抜け性と粘着特性とを向上させることができる。

【0017】

本発明の粘着シート製造装置では、前記粘着剤供給部は、前記シートに前記樹脂部分を積層した状態で供給する複数の供給部を備え、前記複数の供給部のうち少なくとも一部は前記樹脂部分に前記複数の微粒子が混在する構成が好ましい。
この構成では、複数の供給部によって、複数の層が同時に形成されることになるので、微粒子がシートに対して所定位置に配置されることになる。そのため、微粒子の存在に起因した樹脂の割れが確実に生じることになり、樹脂層の表面に凹凸が生じる。従って、優れたエア抜け性と粘着特性とを有する粘着シートを得ることができる。

【0018】

本発明の粘着シート製造装置では、前記制御部は、前記判定部が前記凹部及び凸部に対する前記凸部の面積比率が前記許容範囲より大きいと判定した場合には前記供給部から供給される前記複数の微粒子が混在した前記樹脂部分の供給量を多くし、前記凹部及び前記凸部に対する前記凸部の面積比率が小さいと判定した場合には前記供給部から供給される前記複数の微粒子が混在した前記樹脂部分の供給量を少なくする構成としてもよい。
凸部の凹部及び凸部に対する面積比率が許容範囲より大きいと、エア抜け性が十分ではなくなる。そのため、判定部で凸部の凹部及び凸部に対する面積比率が許容範囲より大きいと判定された場合には、制御部によって、供給部から供給される複数の微粒子が混在した樹脂部分の供給量を多くして、エア抜け性を向上させる。逆に、判定部で凸部の凹部及び凸部に対する面積比率が許容範囲より小さいと、判定された場合には、制御部によって、供給部から供給される複数の微粒子が混在した樹脂部分の供給量を少なくして、粘着特性を向上させる。

【0019】

本発明の粘着シート製造装置では、前記撮像部は、前記樹脂層の凹部と凸部とに光を照射する光源と、前記樹脂層の凹部と凸部との少なくとも一方から反射した光を受光するカメラと、を備えた構成が好ましい。
この構成では、光源の光量を制御することで、カメラの感度を向上させることができる。そのため、撮像精度を向上させることで、判定部における判定を正確なものにできる。

【0020】

本発明の粘着シート製造装置では、前記粘着剤供給部と前記撮像部との間に、前記樹脂層を乾燥させる乾燥部を配置したことが好ましい。
この構成では、粘着剤供給部によりシートに形成された樹脂層が乾燥部で乾燥されることになる。そのため、撮像部で撮像される前に、樹脂層の表面に凹部と凸部とが確実に形成されることになり、自然乾燥させる場合に比べて、製造作業の短縮化が図れる。

【0021】

本発明の粘着シート製造方法は、基材又は剥離材を構成するシートを送る工程と、前記シートを送る工程で送られたシートに、主成分として樹脂を含む樹脂部分と前記樹脂部分に混在する複数の微粒子とを含む材料を供給し、粘着性を有する樹脂層を形成する工程と、前記シートに形成された樹脂層を乾燥させる工程と、前記乾燥させる工程で乾燥した樹脂層の前記シートと接する面とは反対側の面にそれぞれ形成される凹部と凸部との少なくとも一方から反射する光を受光する工程と、前記受光した光から前記樹脂層の凹部と凸部との比率を演算する工程と、前記比率が許容範囲にあるか否かを判定する工程と、前記比率が許容範囲にない場合に前記シートに送られる前記樹脂部分と前記複数の微粒子との相対的な量を変更する工程と、を備えたことを特徴とする。
本発明では、前述の効果を奏することができる粘着シート製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】粘着シートの断面図。

【図2】粘着シート製造装置の側面を示す概略図。

【図3】粘着シート製造装置の平面を示す概略図。

【図4】カメラで撮像された樹脂層の表面画像を示す図。

【図5】二値化された樹脂層の表面画像を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
［粘着シートの構成］
図１には、粘着シートが拡大して示されている。
図１において、粘着シートＭは、基材又は剥離材を構成するシートＳと、シートＳの上に設けられた樹脂層Ｒとを備えている。

【0024】

樹脂層Ｒは、シートＳに積層された第一層ＲＭ１と、第一層ＲＭ１に積層された第二層ＲＭ２と、第二層ＲＭ２に積層された第三層ＲＭ３とを有する。樹脂層Ｒの厚さは、例えば１μｍ以上３００μｍ以下である。
第一層ＲＭ１と第三層ＲＭ３とは、それぞれ主成分として樹脂を含む樹脂部分ＲＭを構成するものである。
第二層ＲＭ２は、樹脂部分ＲＭに複数の微粒子Ｃが含まれている。第二層ＲＭ２において、微粒子Ｃの含有量は第二層ＲＭ２の全体に対して１５質量％以上である。なお、第一層ＲＭ１と第三層ＲＭ３とにおいて、樹脂の含有量は４０質量％以上１００質量％以下である。第一層ＲＭ１と第三層ＲＭ３とに微粒子Ｃが１５質量％未満の範囲で含まれていてもよい。

【0025】

第三層ＲＭ３の表面には凹部ＲＲと凸部ＲＰとがそれぞれ複数形成されている。凸部ＲＰは、図示しない被着材と接着する粘着面（接着面）として機能する。凹部ＲＲは、被着材に貼り付ける際のエア抜けとして機能する。
第三層ＲＭ３の表面の任意の位置において、１辺５ｍｍの正方形で囲まれた領域内に、高低差の最大値が０．５μｍ以上の凹部ＲＲが複数存在する。一個の凹部ＲＲの高低差の最大値は、好ましくは、５．０μｍ以上樹脂層Ｒの厚み以下である。
複数の凹部ＲＲは不規則に存在するものであり、それらの平面形状も異なり、複数の凸部ＲＰの平面形状もそれぞれ異なる（図４参照）。
凹部ＲＲの幅寸法の平均値、つまり、隣合う凸部ＲＰのそれぞれの頂点間の寸法の平均値は、好ましくは、１μｍ以上５００μｍ以下である。

【0026】

樹脂部分ＲＭに含まれる樹脂としては、表面に粘着性を発現させるために、粘着性樹脂を用いることが好ましい。粘着性樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、シリコーン系樹脂等が挙げられるが、これらのうちアクリル系樹脂が好ましい。アクリル系樹脂の含有量は、樹脂部分ＲＭに含まれる樹脂の総量に対して、好ましくは、２０質量％以上１００質量％以下である。樹脂部分ＲＭが官能基を有する樹脂を含むことが好ましく、官能基を有するアクリル系樹脂を含むことがより好ましい。
樹脂部分ＲＭは架橋剤を含むことが好ましい。架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、金属キレート系架橋剤等が挙げられる。
本実施形態では、樹脂層Ｒを形成するために、粘着性樹脂の組成物を溶媒に溶かし、組成物の溶液の形態とするが、溶融状態としてもよい。溶媒としては、水や有機溶媒等が挙げられる。当該有機溶媒としては、例えば、トルエン、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ｔ−ブタノール、ｓ−ブタノール、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、ｎ−ヘキサン、シクロヘキサン等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で、又は２種以上を併用してもよい。
第二層ＲＭ２に含まれる微粒子Ｃとして、特に制限はないが、シリカ粒子、酸化金属粒子、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ガラスビーズ、スメクタイト等の無機粒子や、アクリルビーズ等の有機粒子を挙げることができる。これらの微粒子の中でも、シリカ粒子、酸化金属粒子及びスメクタイトから選ばれる１種以上が好ましく、シリカ粒子がより好ましい。微粒子Ｃの平均粒径は、０．０１μｍ以上１００μ以下である。

【0027】

シートＳを基材として用いる場合は、その材質として、紙基材、樹脂フィルム、紙基材に樹脂フィルムをラミネートしたもの、その他を例示できる。
紙基材を構成する紙としては、例えば、薄葉紙、中質紙、上質紙、含浸紙、コート紙、アート紙、硫酸紙、グラシン紙等を例示できる。樹脂フィルムを構成する樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体等のビニル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、三酢酸セルロース、ポリカーボネート、ポリウレタン、アクリル変性ポリウレタン等のウレタン系樹脂、ポリメチルペンテン、ポリスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリイミド等のポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル樹脂、フッ素系樹脂等が挙げられる。
基材の厚さは特に制限はないが、例えば、５〜１０００μｍである。
剥離材として、両面剥離処理された剥離シートや、片面剥離処理された剥離シート等が用いられ、剥離材用の基材上に剥離剤を塗布したものが挙げられる。なお、剥離処理面は凹凸形状が形成されておらず、平坦な剥離材が好ましい。
剥離材用の基材としては、紙基材、樹脂フィルム、紙基材に樹脂フィルムをラミネートしたもの、その他を例示できる。剥離剤としては、シリコーン系樹脂、オレフィン系樹脂、イソプレン系樹脂、等が挙げられる。剥離材としての厚さは、特に制限はないが、好ましくは、１０μｍ以上２００μｍ以下である。

【0028】

［粘着シート製造装置の概略］
図２には本実施形態にかかる粘着シート製造装置の側面概略が示され，図３には粘着シート製造装置の上面概略が示されている。
図２及び図３において、粘着シート製造装置１は、シート送り部２と、シート送り部２から送られたシートＳに粘着性を有する樹脂層Ｒを形成する粘着剤供給部３と、樹脂層Ｒを乾燥させる乾燥部４と、乾燥した樹脂層Ｒを検査する検査装置５と、検査装置５の検査結果に基づいて粘着剤供給部３を制御する制御部６と、樹脂層Ｒが設けられたシートＳを巻き取るシート巻取部７とを備えて構成されている。
シート送り部２とシート巻取部７とは、シートＳを所定速度、例えば、３０ｍ／minの速度で搬送する。

【0029】

［粘着剤供給部の構成］
粘着剤供給部３は、三層ダイ３０と、三層ダイ３０にそれぞれ設けられた第一ポンプ３１、第二ポンプ３２及び第三ポンプ３３とを備えている。
三層ダイ３０は、樹脂部分ＲＭを第一層ＲＭ１としてシートＳに積層する第一供給部３０１と、微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭを第二層ＲＭ２として第一層ＲＭ１に積層する第二供給部３０２と、樹脂部分ＲＭを第三層ＲＭ３として第二層ＲＭ２に積層する第三供給部３０３とを有する。
第一供給部３０１、第二供給部３０２及び第三供給部３０３は、それぞれダイ本体３００に形成された流路である。第一供給部３０１、第二供給部３０２及び第三供給部３０３は一体に設けられている。
第一供給部３０１は第一ポンプ３１と接続されており、第二供給部３０２は第二ポンプ３２と接続されており、第三供給部３０３は第三ポンプ３３と接続されている。なお、本実施形態で使用されるポンプは、例えば、ダイアフラムポンプ、ギアポンプ、プランジャーポンプ、スクリューポンプ等の従来公知のポンプが挙げられ、樹脂を吐出する構成であれば、その構造は限定されるものではない。
第一ポンプ３１、第二ポンプ３２及び第三ポンプ３３は、図示しない材料収納タンクと接続されている。
乾燥部４は、シートＳの樹脂層Ｒに温風を吹き付ける装置や、遠赤外線を照射する装置、その他の装置から構成される。

【0030】

［粘着シート検査装置］
検査装置５は、樹脂層Ｒの表面にそれぞれ形成される凹部ＲＲと凸部ＲＰとを撮像する撮像部５１と、撮像部５１で撮像された凹部ＲＲと凸部ＲＰとの面積比率を演算する凹凸比演算部５２と、凹凸比演算部５２で求められた面積比率が許容範囲にあるか否かを判定する判定部５３と、判定部５３で判定した結果を表示する表示部５４とを備えている。
撮像部５１は、樹脂層Ｒの凹部ＲＲと凸部ＲＰとから反射する光を受光する受光部として機能する。
凹凸比演算部５２、判定部５３及び表示部５４は、制御部６とともにパーソナルコンピューター８に組み込まれている。パーソナルコンピューター８には、キーボード等からなる操作部８１と、記憶部８２とが設けられている。

【0031】

撮像部５１は、樹脂層Ｒの表面に形成された凹部ＲＲと凸部ＲＰとに光を照射する光源５１Ａと、樹脂層Ｒの凹部ＲＲと凸部ＲＰとから反射した光を受光するカメラ５１Ｂと、光源５１Ａ及びカメラ５１Ｂを一体に保持するフレーム５１Ｃと、フレーム５１ＣをシートＳの流れ方向とは直交する方向に進退させる進退機構５１Ｄとを備えている。
光源５１Ａとしては、例えば、ＬＥＤ光源を用いることができるが、これに限定されるものではない。
カメラ５１Ｂとしては、例えば、ラインセンサカメラを用いることができるが、これに限定されるものではない。
カメラ５１Ｂで撮像された情報はパーソナルコンピューター８に送られる。
カメラ５１Ｂは、樹脂層Ｒの表面を撮像するものであり、撮像画像データはグレースケール化された明暗画像である（図４（Ａ）〜（Ｃ）参照）。

【0032】

光源５１Ａは、光源の光軸と樹脂層Ｒの平面とのなす角度αが１５°〜８５°となるように配置されるが、この角度に限定されるものではない。光源５１Ａの投光距離、つまり、光源５１Ａの光軸に沿った長さのうち光源５１Ａの先端と樹脂層Ｒとの間の距離は１５０ｍｍ以上２５０ｍｍ以下である。なお、この距離は限定されるものではなく、光源５１Ａの光量等に応じて変更される。
カメラ５１Ｂは、カメラのレンズ光軸と樹脂層Ｒの平面とのなす角度βが１５°〜８５°となるように配置されるが、この角度に限定されるものではない。カメラ５１Ｂの受光距離、つまり、カメラ５１Ｂのレンズ光軸に沿った長さのうちカメラ５１Ｂの先端と樹脂層Ｒとの間の距離は１００ｍｍ以上７５０ｍｍ以下である。なお、この距離は限定されるものではなく、カメラ５１Ｂの性能等に応じて変更される。
これらの光源５１Ａとカメラ５１Ｂとの配置は一例であって、本実施形態では、当該配置に限定されるものではない。
進退機構５１Ｄは、フレーム５１Ｃに螺合されたボールねじ５１Ｄ１と、ボールねじ５１Ｄ１を回転駆動するモータ５１Ｄ２とを備えている。
カメラ５１Ｂは、進退機構５１Ｄによって所定位置、例えば、シートＳの送り方向と直交する方向（幅方向）の中央部、その両側の３箇所において、所定エリアの樹脂層Ｒの表面をサンプリングして撮像する。

【0033】

凹凸比演算部５２は、カメラ５１Ｂで撮像された明暗画像を二値化する二値化部５２１と、二値化部５２１で二値化された画像に基づいて凹部ＲＲと凸部ＲＰとの面積比率を算出する面積比算出部５２２とを備えている。
二値化部５２１は、グレースケール化されかつ所定エリアで切り出された画像データを白と黒の２階調に変換する（図５（Ａ）〜（Ｃ）参照）。例えば、凹部ＲＲが黒、凸部ＲＰが白として変換される。
面積比算出部５２２は、所定エリア内で黒表示された凹部ＲＲの合計面積と、白表示された凸部ＲＰの合計面積とをそれぞれ演算し、凹部ＲＲの合計面積ＸＲと凸部ＲＰの合計面積ＸＰとを合算した全体面積（ＸＲ＋ＸＰ）に対する凸部ＲＰの合計面積ＸＰの比率（ＸＰ／（ＸＲ＋ＸＰ））を算出する。なお、カメラ５１Ｂの分解能を最適化することで、測定視野を大きくすることができる。

【0034】

判定部５３は、所定エリア内における凹部ＲＲ及び凸部ＲＰの全体面積（ＸＲ＋ＸＰ）に対する凸部ＲＰの面積ＸＰの比率（ＸＰ／（ＸＲ＋ＸＰ））が許容範囲より大きいか否かを判定するものである。凹部ＲＲ及び凸部ＲＰの全体面積（ＸＲ＋ＸＰ）に対する凸部ＲＰの面積ＸＰの比率を、以後、凸部面積率と称する。凸部面積率は、本実施形態では、３０％以上７０％以下が許容範囲である。
表示部５４は、判定部５３での判定結果が表示されるものであり、例えば、判定結果が許容範囲にある場合には「ＯＫ」マークが表示され、許容範囲から外れた場合には「ＮＧ」マークが表示される。

【0035】

［制御部］
制御部６は、判定部５３で凸部面積率が許容範囲にない場合に粘着剤供給部３からシートＳに送られる樹脂部分ＲＭと微粒子Ｃとの相対的な量を変更するものであり、具体的には、第一層ＲＭ１の塗布量、第二層ＲＭ２の塗布量、第三層ＲＭ３の塗布量の全てあるいは一部を制御する。ここでは、第一層ＲＭ１の塗布量、第二層ＲＭ２の塗布量、第三層ＲＭ３の塗布量のうち第二層ＲＭ２の塗布量を制御する手法について説明をする。
第一層ＲＭ１の樹脂部分ＲＭは、アクリル系樹脂溶液１００質量部、アルミニウムキレート系架橋剤５質量部、及び希釈用液としてのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を添加して作製される。
アクリル系樹脂溶液は、アクリル系樹脂（ブチルアクリレート（ＢＡ）及びアクリル酸（ＡＡ）に由来する構成単位を有するアクリル系共重合体、ＢＡ／ＡＡ＝９０／１０（質量％）、Ｍｗ：４７万）を含有する固形分濃度３３．６質量％のトルエンと、酢酸エチルとの混合溶液である。
アルミニウムキレート系架橋剤は製品名「Ｍ−５Ａ」（総研化学株式会社製、固形分濃度４．９５質量％）を用いる。
第三層ＲＭ３の樹脂部分ＲＭは、第一層ＲＭ１の樹脂部分ＲＭと同じである。

【0036】

第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭは、アクリル系樹脂溶液３０．３質量部、微粒子分散液６９．７質量部、アルミニウムキレート系架橋剤５．５２質量部及びイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を添加して作製される。アクリル系樹脂溶液及びアルミニウムキレート系架橋剤は第一層ＲＭ１と同じ材料のものである。
微粒子分散液は、第一層ＲＭ１と同じアクリル系樹脂溶液１００質量部に対して、微粒子Ｃとして、シリカ粒子（製品名「ニップシール Ｅ−２００Ａ」、東ソー・シリカ株式会社製、体積平均二次粒子径：３μｍ）を５０．４質量部及びトルエンを添加して、微粒子を分散させて作製された溶液である。以上の材料条件を材料条件Ｘとする。
この材料条件Ｘに対して、第一層ＲＭ１の樹脂部分ＲＭの塗布量が８．４ｇ／ｍ^２であり、第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量が１０．５ｇ／ｍ^２であり、第三層ＲＭ３の樹脂部分ＲＭの塗布量が１５．５ｇ／ｍ^２である。これを塗布条件Ｘとする。なお、塗布条件Ｘにおける塗布量は乾燥後の塗布量である。

【0037】

図４には、微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を変化させた場合のカメラ５１Ｂの撮像画像が示されている。図４（Ａ）は前記塗布条件Ｘの場合の撮像画像であり、図４（Ｂ）は前記塗布条件Ｘにおける微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を９．５％増加させた場合の撮像画像であり、図４（Ｃ）は前記塗布条件Ｘにおける微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を１９％増加させた場合の撮像画像である。

【0038】

図５には二値化された画像が示されている。図５（Ａ）は前記塗布条件Ｘの場合の二値化画像であり、図５（Ｂ）は前記塗布条件Ｘにおける微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を９．５％増加させた場合の二値化画像であり、図５（Ｃ）は前記塗布条件Ｘにおける微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を１９％増加させた場合の二値化画像である。
図５で示される二値化画像に基づいて、凸部面積率を求めた結果、前記塗布条件Ｘの場合では、凸部面積率が５２％であり、前記塗布条件Ｘにおける微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を９．５％増加させた場合では、凸部面積率が４９％であり、前記塗布条件Ｘにおける微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を１９％増加させた場合では、凸部面積率が４４％であった。
即ち、微粒子Ｃを含む第二層ＲＭ２の樹脂部分ＲＭの塗布量を多くすると、凸部面積率が小さくなるので、制御部６では、判定部５３で凸部面積率が許容範囲より大きいと判定された場合には、第二供給部３０２から供給される微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭの供給量を多くし、凸部面積率が小さいと判定された場合には第二供給部３０２から供給される微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭの供給量を少なくする。

【0039】

［粘着シート製造方法］
次に、本実施形態にかかる粘着シート製造方法を説明する。
シート送り部２とシート巻取部７とを作動させて、シートＳを粘着剤供給部３に送る。
その後、粘着剤供給部３でシートＳに樹脂層Ｒを供給する。まず、第一供給部３０１で樹脂部分ＲＭをシートＳに積層して第一層ＲＭ１を形成し、第二供給部３０２で微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭを第一層ＲＭ１に積層して第二層ＲＭ２を形成し、さらに、第三供給部３０３で樹脂部分ＲＭを第二層ＲＭ２に積層して第三層ＲＭ３を形成する。シートＳに樹脂層Ｒを設けた直後では、樹脂層Ｒの表面は図１の想像線で示される通り、平面状となる。
その後、シートＳに供給された樹脂層Ｒを乾燥部４で乾燥させる。この乾燥工程において、樹脂層Ｒの表面に複数の凹部ＲＲと凸部ＲＰとが形成されることになる（図１の実線参照）。

【0040】

樹脂層Ｒが乾燥する工程において、樹脂層Ｒの内部に収縮応力が発生し、微粒子Ｃの存在に起因すると思われる樹脂の結合力が弱くなった部分で樹脂層Ｒの内部に割れが生じる。この割れ部分の周辺の樹脂が割れにより一時的に生じる空間に流入することと考えられる。乾燥の工程において、樹脂層Ｒに割れが生じた際に、当初存在していた微粒子Ｃが他の部分に押しのけられるため、凹部ＲＲが形成される箇所の微粒子Ｃの割合は凸部ＲＰが形成される箇所に比べて少ないものと考えられる（図１参照）。

【0041】

乾燥した樹脂層Ｒの表面の凹部ＲＲと凸部ＲＰとを撮像部５１で撮像する。そのため、光源５１Ａから樹脂層Ｒの表面に向けて光を照射し、樹脂層Ｒの表面で反射した光をカメラ５１Ｂで撮像する。カメラ５１Ｂによる樹脂層Ｒの表面の撮像は、進退機構５１Ｄによって、光源５１Ａ及びカメラ５１ＢがシートＳの送り方向とは直交する方向に進退しながら、所定位置でサンプリングして行われる。カメラ５１Ｂで撮像された画像情報はパーソナルコンピューター８の凹凸比演算部５２に送られる。
凹凸比演算部５２では、カメラ５１Ｂで撮像された画像が二値化部５２１で二値化され、二値化された画像に基づいて凸部ＲＰの凹部ＲＲに対する面積比率、つまり、凸部面積率が面積比算出部５２２で算出される。
面積比算出部５２２で算出された凸部面積率が許容範囲にあるか否かが判定部５３で判定され、その判定結果が表示部５４で表示される。
判定部５３において、凸部面積率が許容範囲にないと判定された場合には、制御部６により、シートＳに送られる樹脂部分ＲＭと微粒子Ｃとの相対的な量を変更するように粘着剤供給部３が制御される。

【0042】

［実施形態の効果］
従って、本実施形態では次の効果を奏することができる。
（１）樹脂部分ＲＭ及び複数の微粒子Ｃを含み、かつ、表面にそれぞれ凹部ＲＲと凸部ＲＰとが形成された樹脂層ＲをシートＳに設けた粘着シートを検査する装置を、樹脂層Ｒの凹部ＲＲと凸部ＲＰとを撮像する撮像部５１と、撮像部５１で撮像された凸部ＲＰの凹部ＲＲ及び凸部ＲＰに対する面積比率（凸部面積率）を演算する凹凸比演算部５２と、凹凸比演算部５２で求められた面積比率が許容範囲にあるか否かを判定する判定部５３と、を備えた構成にした。樹脂層Ｒの表面に生じた凹部ＲＲと凸部ＲＰとの面積比率が許容範囲にあるか否かが判定部で判定されるので、エア抜け性と粘着特性とを達成できる粘着シートの検査を実現できる。

【0043】

（２）シートＳを送るシート送り部２と、シート送り部２から送られたシートＳに樹脂部分ＲＭ及び複数の微粒子Ｃを含む材料を供給して樹脂層Ｒを形成する粘着剤供給部３と、樹脂層Ｒの表面にそれぞれ形成される凹部ＲＲと凸部ＲＰとを撮像する撮像部５１と、撮像部５１で撮像された凸部ＲＰの凹部ＲＲ及び凸部ＲＰに対する面積比率（凸部面積率）を演算する凹凸比演算部５２と、凹凸比演算部５２で求められた面積比率が許容範囲にあるか否かを判定する判定部５３と、判定部５３で面積比率が許容範囲にない場合に粘着剤供給部３からシートＳに送られる樹脂部分ＲＭと微粒子Ｃとの相対的な量を変更する制御部６と、を備えて粘着シート製造装置を構成した。判定部５３の判定結果に基づいて制御部６が粘着剤供給部３を制御するから、エア抜け性と粘着特性とを達成できる粘着シートを製造できる。

【0044】

（３）凹凸比演算部５２は、撮像部５１で撮像された画像を二値化する二値化部５２１と、二値化部５２１で二値化された画像に基づいて面積比率を算出する面積比算出部５２２と、を備えている。撮像部５１で撮像された画像を二値化することで、面積比率を容易かつ正確に求めることができるから、検査精度が向上する。

【0045】

（４）粘着剤供給部３は、シートＳに樹脂部分ＲＭを積層する第一供給部３０１と、微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭを積層する第二供給部３０２と、樹脂部分ＲＭを積層する第三供給部３０３とを有する三層ダイ３０を備え、第一供給部３０１、第二供給部３０２及び第三供給部３０３が一体に三層ダイ３０に設けられているから、三層構造の樹脂層Ｒが同時に形成されることになり、乾燥に伴って、微粒子Ｃの存在に起因した樹脂割れが確実に生じる。そのため、樹脂層Ｒの表面に凹凸が確実に生じることになるので、優れたエア抜け性と粘着特性とを有する粘着シートを得ることができる。

【0046】

（５）制御部６を、判定部５３が凸部ＲＰの凹部ＲＲ及び凸部ＲＰに対する面積比率が許容範囲より大きいと判定した場合に第二供給部３０２から供給される微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭの供給量を多くし、凸部ＲＰの凹部ＲＲに対する面積比率が許容範囲より小さいと判定した場合には第二供給部３０２から供給される微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭの供給量を少なくした。第二供給部３０２により、微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭの供給量を制御することで、微粒子Ｃ自体の供給量を容易に調整することができる。

【0047】

（６）撮像部５１は、樹脂層Ｒの凹部ＲＲと凸部ＲＰとに光を照射する光源５１Ａと、樹脂層Ｒから反射した光を受光するカメラ５１Ｂとを備えているから、光源５１Ａの光量を制御することで、カメラ５１Ｂの感度を向上させることができる。そのため、撮像精度を向上させることで、判定部５３における判定を正確なものにできる。

【0048】

（７）撮像部５１は、カメラ５１Ｂをシート送り方向とは直交する方向（幅方向）に進退させる進退機構５１Ｄを備えているから、シートＳの送り方向だけでなく、シートＳの幅方向に沿っても樹脂層Ｒを撮像することができる。そのため、樹脂層Ｒの面積比率を算出するにあたり、撮像箇所の偏在に伴う不都合を回避することができる。

【0049】

（８）樹脂層Ｒを乾燥させる乾燥部４を粘着剤供給部３と撮像部５１との間に配置したから、樹脂層Ｒの表面に凹部ＲＲと凸部ＲＰとが確実に形成されることになり、自然乾燥させる場合に比べて、製造作業の短縮化が図れる。

【0050】

［変形例］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、受光部を、樹脂層Ｒの凹部ＲＲと凸部ＲＰとを撮像する撮像部とし、凹凸比演算部５２を、撮像部５１で撮像された凸部ＲＰの凹部ＲＲに対する面積比率を演算する構成としたが、本発明では、受光部をレーザー光源から照射されて樹脂層Ｒの表面で反射されるレーザー光のうち凹部ＲＲと凸部ＲＰの一方のみの反射光を受光する受光素子とし、凹凸比演算部５２を受光素子で受光された単位時間あたりの受光量を演算するものとしてもよい。つまり、凹部ＲＲと凸部ＲＰとはシート送り方向に沿って交互に配置されるため、受光部を凹部ＲＲと凸部ＲＰの反射光のうち一方を受光する構成とすることで、凹部ＲＲ及び凸部ＲＰに対する凸部ＲＰの比率を算出することが可能となる。この比率が予め求められた許容範囲にあるか否かを判定部で判定する。

【0051】

さらに、前記実施形態では、凹部ＲＲの合計面積と凸部ＲＰの合計面積とを合算した全体面積に対する凸部ＲＰの合計面積の比率を算出する構成としたが、本発明では、凹部ＲＲの合計面積と凸部ＲＰの合計面積とを合算した全体面積に対する凹部ＲＲの合計面積の比率を算出する構成としてもよく、さらには、凹部ＲＲの合計面積と凸部ＲＰの合計面積との面積比率を算出する構成としてもよい。
本発明では、シートＳを基材用のものとし、シートＳに設けられた樹脂層Ｒの表面に剥離材用ロールＳＲから送られる剥離材用シートＳ１を貼り付ける構成としてもよい（図２の想像線参照）。
さらに、前記実施形態では、樹脂層Ｒを乾燥させる乾燥部４を粘着剤供給部３と撮像部５１との間に配置したが、本発明では、粘着剤供給部３と撮像部５１との間の距離を十分にとれるのであれば、樹脂層Ｒは撮像部で撮像される前に自然乾燥することになるので、乾燥部は不要にできる。

【0052】

前記実施形態では、粘着シートの検査を、インラインで実施したが、オフラインで実施するものでもよい。
さらに、前記実施形態は、１台のカメラ５１Ｂを進退機構５１Ｄで進退させる構成としたが、本発明では、シートＳの幅方向に沿って複数台のカメラ５１Ｂを配置する構成としてもよい。なお、シートＳの幅が小さいときは１台のカメラ５１Ｂで検査可能である。
また、本発明では、第二ポンプ３２と接続された材料収納タンクは、微粒子Ｃと樹脂部分ＲＭとの混合比を調整可能としてもよい。つまり、第二ポンプ３２から供給される微粒子Ｃの樹脂部分ＲＭに対する相対的な量を調整可能とするものでもよい。

【0053】

さらに、前記実施形態では、樹脂部分ＲＭに複数の微粒子Ｃを混在させて樹脂層Ｒを構成したが、本発明の粘着シート検査装置では、樹脂層Ｒに複数の微粒子Ｃを含まない粘着シートでも適用できる。つまり、樹脂部分ＲＭに複数の微粒子Ｃが混在されていない場合でも、樹脂層Ｒの表面に凹部と凸部とが形成されることがあるので、本発明の粘着シート検査装置により、凹部と凸部との比率を演算し、この比率が許容範囲にあるか否かを判定することで、エア抜け性と粘着特性とを達成できる粘着シートの検査を実現できる。
また、前記実施形態では、第一供給部３０１、第二供給部３０２及び第三供給部３０３を備えて三層ダイ３０を構成したが、本発明では、供給部の数は３個に限定されるものではなく、１個、２個あるいは４個以上であってもよい。複数の微粒子Ｃが混在した樹脂部分ＲＭを供給する供給部は第二供給部３０２に限定されるものではなく、他の供給部、例えば、第一供給部３０１や第三供給部３０３であってもよい。

【産業上の利用可能性】

【0054】

本発明は、粘着シートの検査や製造に利用することができる。

【符号の説明】

【0055】

１…粘着シート製造装置、２…シート送り部、３…粘着剤供給部、３０…三層ダイ、３００…ダイ本体、３０１…第一供給部、３０２…第二供給部、３０３…第三供給部、３１…第一ポンプ、３２…第二ポンプ、３３…第三ポンプ、４…乾燥部、５…検査装置、５１…撮像部、５１Ａ…光源、５１Ｂ…カメラ、５１Ｃ…フレーム、５１Ｄ…進退機構、５２…凹凸比演算部、５２１…二値化部、５２２…面積比算出部、５３…判定部、５４…表示部、６…制御部、７…シート巻取部、８…パーソナルコンピューター、８１…操作部、８２…記憶部、Ｃ…微粒子、Ｍ…粘着シート、Ｒ…樹脂層、ＲＭ１…第一層、ＲＭ２…第二層、ＲＭ３…第三層、ＲＭ…樹脂部分、ＲＰ…凸部、ＲＲ…凹部、Ｓ…シート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】