特許第6700361号(P6700361)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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6700361基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法
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  • 6700361-基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 図000004
  • 6700361-基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 図000005
  • 6700361-基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 図000006
  • 6700361-基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 図000007
  • 6700361-基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 図000008
  • 6700361-基板支持構造体と、これを含む真空蒸着装置及び蒸着方法 図000009
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