特許 6701966 ロードポート装置及びＥＦＥＭ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6701966

(24)【登録日】2020年5月11日

(45)【発行日】2020年5月27日

(54)【発明の名称】ロードポート装置及びＥＦＥＭ

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20200518BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20200518BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   H01L21/68 T

【請求項の数】9

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2016-106301(P2016-106301)

(22)【出願日】2016年5月27日

(65)【公開番号】特開2017-188639(P2017-188639A)

(43)【公開日】2017年10月12日

【審査請求日】2019年3月6日

(31)【優先権主張番号】特願2016-72812(P2016-72812)

(32)【優先日】2016年3月31日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001494

【氏名又は名称】前田・鈴木国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】江本 淳

(72)【発明者】

【氏名】工藤 拓哉

(72)【発明者】

【氏名】岩本 忠将

【審査官】 中田 剛史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００９−２９０１０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−２０４３４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０４５９３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０３８０７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記容器に対向する外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口を開閉するための開閉部と、
前記容器の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部と、
前記内側面における前記装置開口の上辺の上方に、前記上辺に沿って設けられており、前記内側面に対して略垂直に突出する庇部と、を有しており、
前記庇部には、前記庇部を上下方向に貫通するスリット又は貫通孔が、前記上辺に沿う方向に形成されていることを特徴とするロードポート装置。

【請求項2】

基端であるリップ基端が前記庇部の先端である庇先端に接続しており、先端であるリップ先端が前記リップ基端から前記壁部に近づく斜め上方に延出しており、前記上辺に沿う方向に設けられるリップ部を有することを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項3】

基端である折り返し部基端が前記庇先端に接続しており、先端である折り返し部先端が前記庇先端から下方に延出する庇折り返し部を有することを特徴とする請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項4】

前記庇折り返し部には、前記庇折り返し部を水平方向に貫通する折り返しスリット又は折り返し貫通孔が、前記上辺に沿う方向に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のロードポート装置。

【請求項5】

基端である第２リップ基端が前記庇先端に接続しており、先端である第２リップ先端が前記第２リップ基端から前記壁部に対して遠ざかる斜め下方に延出しており、前記上辺に沿う方向に設けられる第２リップ部を有することを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のロードポート装置。

【請求項6】

前記第２リップ先端は、前記折り返しスリット又は前記折り返し貫通孔より、前記上下方向に関して上方に位置することを特徴とする請求項５に記載のロードポート装置。

【請求項7】

前記スリット又は前記貫通孔は、前記庇部の上面に形成される上面開口と、前記庇部の下面に形成されており前記上面開口より前記壁部からの距離が遠い下面開口と、を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項8】

請求項１から７のいずれかに記載のロードポート装置と、
前記ロードポート装置が端部に設けられるウエハ搬送室内および前記ウエハ搬送室にダウンフローを形成するファンフィルタユニットを有するミニエンバイロメント装置と、
を有するＥＦＥＭ。

【請求項9】

ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記容器に対向する外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口を開閉するための開閉部と、
前記容器の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部と、を有するロードポート装置と、
前記ロードポート装置が端部に設けられるウエハ搬送室内および前記ウエハ搬送室にダウンフローを形成するファンフィルタユニットを有するミニエンバイロメント装置と、を有しており、
前記ウエハ搬送室は、前記装置開口の上辺の上方に、前記上辺に沿って設けられており、前記内側面に対して略垂直に突出する庇部を有しており、
前記庇部には、前記庇部を上下方向に貫通するスリット又は貫通孔が、前記上辺に沿う方向に形成されていることを特徴とするＥＦＥＭ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ロードポート装置及びＥＦＥＭに関し、より詳細には、容器の内部に清浄化ガスを導入可能なロードポート装置及びこれを有するＥＦＥＭに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の製造工程では、プープ（ＦＯＵＰ）等と呼ばれる容器を用いて、各処理装置の間のウエハの搬送が行われる。ウエハに対して処理を実施する際、容器は、各処理装置に備えられるロードポート装置の載置台に載置され、ロードポート装置は、搬送容器内の空間と処理室の空間を連通させる。これにより、ロボットアーム等により搬送容器からウエハを取り出し、このウエハを処理室へ受け渡すことが可能となる。

【0003】

ここで、ウエハが収納される容器内の環境は、ウエハ表面を酸化や汚染から守るために、所定の状態を上回る不活性状態及び清浄度が保たれることが好ましい。搬送容器内の気体の不活性状態や清浄度を向上させる方法としては、搬送容器の底面に形成された底孔や搬送容器の主開口を介して、搬送容器に清浄化ガスを導入するロードポート装置が提案されている（特許文献１参照）。

【0004】

一方、ロードポート装置が取り付けられるウエハ搬送室の内部に、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）などを用いてダウンフローを形成し、搬送中のウエハ等の汚染等を防止するＥＦＥＭが提案されている。このようなＥＦＥＭでは、ウエハ搬送室のダウンンフローに伴う気流が、容器内若しくは容器の開口付近の気流を乱し、容器内への清浄化ガスの導入を妨げる問題が生じるが、このような問題に対応した技術として、例えばダウンフローを停止させる上部庇を設ける技術が提案されている（特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００７−５６０７号公報

【特許文献2】特開２０１５−２０４３４４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従来のような上部庇を設ける技術では、ダウンフロー自体を停止する効果はあるものの、上部庇の近傍で乱流が形成されるという新たな問題が生じる場合がある。すなわち、上部庇を設ける従来の技術は、このような乱流が容器内への清浄化ガスの導入を妨げる場合があるため、容器内への清浄化ガスの円滑な導入という観点では、新たな課題を有している。

【0007】

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、容器内への清浄化ガスの円滑な導入を実現し得るロードポート装置及びこのようなロードポート装置を有するＥＦＥＭを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記容器に対向する外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口を開閉するための開閉部と、
前記容器の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部と、
前記内側面における前記装置開口の上辺の上方に、前記上辺に沿って設けられており、前記内側面に対して略垂直に突出する庇部と、を有しており、
前記庇部には、前記庇部を上下方向に貫通するスリット又は貫通孔が、前記上辺に沿う方向に形成されていることを特徴とする。

【0009】

本発明に係るロードポート装置が有する庇部には、庇部を上下方向に貫通するスリット又は貫通孔が、上辺に沿う方向に形成されているため、庇部の下方、すなわち装置開口の周辺で乱流が形成される問題を防止できる。したがって、本発明に係るロードポート装置は、容器内への清浄化ガスの円滑な導入を実現することができる。これは、スリット又は貫通孔を通過する気流と、庇部の外側を通過する気流との間で気圧差が生じ、スリット又は貫通孔を通過する気流の方が庇部の外側を通過する気流に比べて気圧が高くなることから、庇部の下方の気流が装置開口から離間する方向に引っ張られるためであると考えられる。

【0010】

また、例えば、本発明に係るロードポート装置は、基端であるリップ基端が前記庇部の先端である庇先端に接続しており、先端であるリップ先端が前記リップ基端から前記壁部に近づく斜め上方に延出しており、前記上辺に沿う方向に設けられるリップ部を有してもよい。

【0011】

このようなリップ部を設けることにより、庇部を通過する気流と庇部の外側を通過する気流との間の圧力差が大きくなり、庇部の下方の気流が装置開口から離間する方向に強く引っ張られるようになるため、装置開口の周辺で乱流が形成される問題を効果的に防止できる。

【0012】

また、例えば、本発明に係るロードポート装置は、基端である折り返し部基端が前記庇先端に接続しており、先端である折り返し部先端が前記庇先端から下方に延出する庇折り返し部を有してもよい。

【0013】

このような庇折り返し部は、庇部の下部への気流の巻き込みを防止し、装置開口付近での乱流の発生を抑制することができる。

【0014】

また、例えば、前記庇折り返し部には、前記庇折り返し部を水平方向に貫通する折り返しスリット又は折り返し貫通孔が、前記上辺に沿う方向に形成されていてもよい。

【0015】

折り返し部に折り返しスリットを形成することにより、スリットを通過した気流を装置開口から効果的に遠ざけることが可能となり、装置開口付近での乱流の発生を抑制することができる。

【0016】

また、例えば、本発明に係るロードポート装置は、基端である第２リップ基端が前記庇先端に接続しており、先端である第２リップ先端が前記第２リップ基端から前記壁部に対して遠ざかる斜め下方に延出しており、前記上辺に沿う方向に設けられる第２リップ部を有してもよい。

【0017】

第２リップ部を設けることにより、スリット又は貫通孔を通過して庇部の下方に形成される気流と、第１リップ部及び第２リップ部の斜め上側の表面を流れる気流との関係を調整し、装置開口付近での乱流の発生を効果的に抑制することができる。

【0018】

また、例えば、前記第２リップ先端は、前記折り返しスリット又は前記折り返し貫通孔より、前記上下方向に関して上方に位置してもよい。

【0019】

第２リップ先端が、前記折り返しスリット又は前記折り返し貫通孔より上方に位置することにより、前記折り返しスリット又は前記折り返し貫通孔を通過して前記装置開口から離れる方向へ流れる気流を強めることができるため、このようなロードポート装置は、スリットを通過した気流を装置開口から効果的に遠ざけることができる。

【0020】

また、例えば、前記スリット又は前記貫通孔は、前記庇部の上面に形成される上面開口と、前記庇部の下面に形成されており前記上面開口より前記壁部からの距離が遠い下面開口と、を有してもよい。

【0021】

このようなスリット又は貫通孔が形成された庇部では、庇部を通過する気流と庇部の外側を通過する気流との間の圧力差が大きくなり、庇部の下方の気流が装置開口から離間する方向に強く引っ張られるようになるため、装置開口の周辺で乱流が形成される問題を効果的に防止できる。

【0022】

本発明に係るＥＦＥＭは、上記いずれかのロードポート装置と、
前記ロードポート装置が端部に設けられるウエハ搬送室内および前記ウエハ搬送室にダウンフローを形成するファンフィルタユニットを有するミニエンバイロメント装置と、を有する。

【0023】

本発明に係るＥＦＥＭでは、ファンフィルタユニットによるダウンフローを庇部が弱めるとともに、庇部にスリット又は貫通孔が形成されていることにより装置開口近傍で乱流が形成される問題を防止することができる。したがって、このようなＥＦＥＭに備えられるロードポート装置は、容器内への清浄化ガスの円滑な導入を実現できる。

【0024】

また、発明の第２の観点に係るＥＦＥＭは、ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記容器に対向する外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口を開閉するための開閉部と、
前記容器の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部と、を有するロードポート装置と、
前記ロードポート装置が端部に設けられるウエハ搬送室内および前記ウエハ搬送室にダウンフローを形成するファンフィルタユニットを有するミニエンバイロメント装置と、を有しており、
前記ウエハ搬送室は、前記装置開口の上辺の上方に、前記上辺に沿って設けられており、前記内側面に対して略垂直に突出する庇部と、を有しており、
前記庇部には、前記庇部を上下方向に貫通するスリット又は貫通孔が、前記上辺に沿う方向に形成されていることを特徴とする。

【0025】

スリットが形成された庇部は、ロードポート装置の壁部に設けられていてもよく、ロードポート装置の壁部の上方に連続しており、壁部と同方向を向くウエハ搬送室の壁面に設けられていても良い。また、庇部と合わせて、リップ部、第２リップ部及び庇折り返し部等についても、ウエハ搬送室の壁部に設けられていてもよい。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】図１は本発明の一実施形態に係るロードポート装置及びロードポート装置を含むＥＦＥＭの概略図である。

【図2】図２は、図１に示すロードポート装置を、壁部の内側面側から見た概略斜視図である。

【図3】図３は、図２に示すロードポート装置における庇部およびリップ部を拡大して表示した拡大断面図である。

【図4】図４は、本発明の第１変形例に係るロードポート装置における庇部を拡大して表示した拡大断面図である。

【図5】図５は、本発明の第２変形例に係るロードポート装置を、壁部の内側面側から見た概略斜視図である。

【図6】図６は、本発明の第３変形例に係るロードポート装置を、壁部の内側面側から見た概略斜視図である。

【図7】図７は、本発明の第４変形例に係るロードポート装置を、壁部の内側面側から見た概略斜視図である。

【図8】図８は、本発明の第５変形例に係るロードポート装置を、壁部の内側面側から見た概略斜視図である。

【図9】図９は、本発明の第６変形例に係るロードポート装置を、壁部の内側面側から見た概略斜視図である。

【図10】図１０は、第６変形例に係るロードポート装置における庇部を拡大して表示した拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０及びロードポート装置１０を含むＥＦＥＭ５０の概略図である。ＥＦＥＭ（イーフェム、Equipment front end module)５０は、ロードポート装置１０の他に、ミニエンバイロメント装置５１を有する。

【0028】

ミニエンバイロメント装置５１は、ウエハ搬送室５２と、ウエハ搬送機５４と、ファンフィルタユニット５６等を有する。ウエハ搬送機５４は、ウエハ１を掴むことができるアーム５４ａと、アーム５４ａを移動させるアーム駆動部（不図示）を有しており、ウエハ１を搬送する。ウエハ搬送機５４は、フープ２の内部に収容してあるウエハ１を、クリーン状態に維持されたウエハ搬送室５２を介して、図示しない処理室の内部に移動させることができる。また、ウエハ搬送機５４は、処理室において処理が終了したウエハ１を、処理室からフープ２の内部に移動させることができる。

【0029】

ウエハ搬送室５２は、ウエハ１を搬送する容器としてのフープ２と処理室（不図示）とを連結する空間である。後述するロードポート装置１０は、ウエハ搬送室５２の端部に設けられており、ロードポート装置１０の壁部１１は、ウエハ搬送室５２の外壁に形成された開口を塞ぐように、ウエハ搬送室５２に組み込まれている。

【0030】

ウエハ搬送室５２の天井部には、送風手段としてのファン５６ａとフィルタ５６ｂとを有するファンフィルタユニット５６が設けられており、ファンフィルタユニット５６は、ウエハ搬送室５２にダウンフローを形成する。ファン５６ａは、例えば、回転方向に対して傾斜した羽根と、羽根を回転させるためのモータを有する。ファン５６ａは、フィルタ５６ｂの直上に設けられる。フィルタ５６ｂとしては特に限定されないが、たとえばパーティクル除去フィルタとケミカルフィルタとを組み合わせたものを用いることができ、ウエハ搬送室５２を満たす気体中に存在するパーティクルや汚染物質を除去することができる。なお、ファンフィルタユニット５６は、ファン５６ａのような送風手段とフィルタ５６ｂを有していればよく、ファンフィルタユニット５６には、送風手段とフィルタとが別々に配置されるものも含まれる。

【0031】

ロードポート装置１０は、フープ（Front Opening Unified Pod)２を載置する載置台１４を有している。フープ２は、例えば天井搬送システム等によって、載置台１４の上まで搬送される。

【0032】

載置台１４の上部に載置されるフープ２は、収容物としての複数のウエハ１を密封して保管及び搬送する。フープ２の内部には、ウエハ１を内部に収めるための空間が形成されている。フープ２は、箱状の形状を有しており、フープ２が有する複数の側面の一つには、フープ２の内部に収容したウエハ１を出し入れする主開口２ｂが形成されている。また、フープ２は、主開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。

【0033】

ロードポート装置１０は、載置台１４に載置されたフープ２の主開口２ｂを、ウエハ搬送室５２に気密に接続することができる。すなわち、ロードポート装置１０は、装置開口１３が形成された壁部１１と、フープ２の主開口２ｂを開閉するための開閉部１８とを有している。ロードポート装置１０は、載置台１４を移動させることにより、図１に示すように、フープ２の主開口２ｂを装置開口１３に接続する。フープ２の主開口２ｂおよび壁部１１に形成される装置開口１３は、いずれも略矩形である。

【0034】

さらに、ロードポート装置１０の開閉部１８は、装置開口１３に接続した主開口２ｂを閉鎖している蓋４を主開口２ｂから取り外し、主開口２ｂおよび装置開口１３を介して、フープ２内部とウエハ搬送室５２とを連通させることができる。すなわち、開閉部１８は、装置開口を閉鎖するドア１８ａとドア駆動部１８ｂとを有しており、ドア駆動部１８ｂは、ドア１８ａとともに、ドア１８ａに係合したフープ２の蓋４をウエハ搬送室５２の内部に移動させることができる。

【0035】

また、ロードポート装置１０は、フープ２の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部としてのボトムガス導入部１６と、フロントガス導入部１７とを有している。ボトムガス導入部１６は、フープ２の底面に設けられた底孔５、６に対して、載置台１４から突出して接続可能なガス導入ノズルを有しており、底孔５、６から清浄化ガスをフープ２内に導入する。なお、ボトムガス導入部１６は、フープ２内部とウエハ搬送室５２とが連通した状態において、フープ２内部に清浄化ガスを導入することができるが、このような場合だけでなく、フープ２の主開口２ｂが蓋４で閉鎖されている状態でも、フープ２内部に清浄化ガスを導入することができる。

【0036】

一方、フロントガス導入部１７は、壁部１１の内側面１１ａに備えられるガス放出ノズルを有しており、主開口２ｂおよび装置開口１３を介して、清浄化ガスをフープ２内に導入する。したがって、フロントガス導入部１７は、ボトムガス導入部１６とは異なり、フープ２内部とウエハ搬送室５２とが連通した状態のみで、フープ２内部に清浄化ガスを導入することができる。

【0037】

ボトムガス導入部１６およびフロントガス導入部１７には、図示しない配管部を介して清浄化ガスが供給される。ボトムガス導入部１６およびフロントガス導入部１７によってフープ２内部に導入される清浄化ガスは特に限定されないが、例えば窒素ガス等が好適に用いられる。

【0038】

図２は、図１に示すロードポート装置１０を、壁部１１の内側面１１ａ側から見た概略斜視図である。なお、図２では、説明の便宜上、図１に示すフロントガス導入部１７、開閉部１８およびフープ２については図示していない。

【0039】

図２に示すように、ロードポート装置１０の壁部１１は、載置台１４の載置されるフープ２に対向する外側面１１ｂと、外側面１１ｂとは反対方向であるウエハ搬送室５２側を向く内側面１１ａとを有している。内側面１１ａにおける装置開口１３の上辺１３ａの上方には、内側面１１ａに対して略垂直に突出する庇部２０が設けられている。

【0040】

庇部２０は、上辺１３ａと略平行な長辺を有する略矩形平板状の外形状を有しており、装置開口１３の上辺１３ａに沿って設けられている。庇部２０には、庇部２０を上下方向に貫通するスリット２２が、上辺１３ａに沿う方向に形成されている。なお、スリット２２は、上辺１３ａに沿う方向に断続的に形成される貫通孔であってもよい。

【0041】

図２に示すように、庇部２０には、リップ部３０が接続されている。リップ部３０の基端であるリップ基端３２は、庇部２０の先端である庇先端２４に接続しており、リップ部３０の先端であるリップ先端３４は、リップ基端３２から壁部１１に近づく斜め上方に延出している。リップ部３０は、庇部２０と同様に、上辺１３ａと略平行な長辺を有する略矩形平状の外形状を有しており、装置開口１３の上辺１３ａに沿って設けられている。

【0042】

図３は、図２に示すロードポート装置１０における庇部２０およびリップ部３０の周辺を拡大して表示した拡大断面図である。スリット２２は、庇部２０の上面２０ａに形成される上面開口２２ａと、庇部２０の下面２０ｂに形成される下面開口２２ｂとを有している。スリット２２は、庇部２０を鉛直方向に貫通しているため、上面開口２２ａと下面開口２２ｂとは、壁部１１から等距離に位置する。

【0043】

ここで、ウエハ搬送室５２内に形成されるダウンフローのうち、図３に示す庇部２０へ向かうものは、庇部２０のスリット２２を通過する気流Ａと、リップ部３０に沿って庇部２０の外側を通過する気流Ｂに分かれると考えられる。そして、スリット２２を通過する気流Ａは、庇部２０の外側を通過する気流Ｂに比べて気圧が高くなるため、図３に示すように、庇部２０の下方の気流Ａが、装置開口１３から離間する方向に引っ張られる。したがって、図２に示すようなスリット２２が形成された庇部２０は、ダウンフローを止める庇部の下方に気流を巻き込む形態の乱流が形成されるという従来の問題を、効果的に防止することができる。また、これにより、図１〜図３に示すロードポート装置１０は、装置開口１３の周辺に、ダウンフローが直接流れてきたり、又は気流の乱れが生じたりする問題を防止し、容器内への清浄化ガスの円滑な導入を実現することができる。

【0044】

図３に示すリップ先端３４の位置は特に限定されないが、気流Ａおよび気流Ｂが適切に形成されるように、壁部１１からの距離で考えた場合、庇部２０の中心位置Ｃより庇先端２４側に配置されることが好ましい。また、リップ部３０と庇部２０との間に形成される角度θも特に限定されないが、気流Ａと気流Ｂの気圧差を好適に形成する観点から、３０〜６０度とすることが好ましい。また、スリット２２は、庇部２０の中心位置Ｃより庇先端２４側に形成されていることが、気流Ｂ側へ引っ張られる気流Ａを好適に形成する観点から好ましい。

【0045】

以上のように、本発明に係るロードポート装置１０及びＥＦＥＭ５０を、実施形態を挙げて説明したが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではなく、様々な変形例を含むものであることは言うまでもない。

【0046】

図４は、第１変形例に係るロードポート装置１１０における庇部１２０の周辺を拡大して表示した拡大断面図である。ロードポート装置１１０は、庇部１２０におけるスリット１２２の形状が異なり、リップ部を有しないことを除き、図１〜図３に示すロードポート装置１０と同様であるため、ロードポート装置１１０については、ロードポート装置１０との相違点のみ説明する。

【0047】

図４に示すように、庇部１２０に形成されるスリット１２２は、庇部２０の上面１２０ａに形成される上面開口１２２ａと、庇部１２０の下面１２０ｂに形成される下面開口１２２ｂとを有している。スリット１２２は、庇部１２０を斜めに貫通しており、下面開口１２２ｂは、上面開口１２２ａより壁部１１からの距離が遠い。

【0048】

このような庇部１２０でも、図４に示すように、スリット１２２を通過する気流Ａが、庇部１２０の外側を通過する気流Ｂに比べて気圧が高くなるため、庇部１２０の下方の気流Ａが、装置開口１３から離間する方向に引っ張られる現象が生じる。また、図４に示すように庇部１２０を斜めに貫通するスリット１２２は、図３に示すような庇部２０を鉛直方向に貫通するスリット２２に比べて、気流Ａと気流Ｂとの間の気圧差を大きくするか、または気流Ａを装置開口１３から離間する方向へ効果的に導くことができる。したがって、第１変形例に係るロードポート装置１１０も、実施形態に係るロードポート装置１０と同様の効果を奏する。

【0049】

図５は、第２変形例に係るロードポート装置２１０を、壁部１１の内側面１１ａ側から見た概略斜視図である。ロードポート装置２１０は、庇折り返し部２２５を有することを除き、図１〜図３に示すロードポート装置１０と同様であるため、ロードポート装置１０との相違点のみ説明する。

【0050】

ロードポート装置２１０は、庇部２０の先端である庇先端２４から下方に延出する庇折り返し部２２５を有している。庇折り返し部２２５は、装置開口１３の上辺１３ａと略平行な長辺を有する略矩形平板状の外形状を有している。庇折り返し部２２５には、庇折り返し部２２５を水平方向に貫通する折り返しスリット２２６が形成されている。

【0051】

庇折り返し部２２５は、庇部２０の下部への気流の巻き込みを防止し、装置開口１３付近での乱流の発生を抑制することができる。また、折り返しスリット２２６が形成されているため、図３に示すような気流Ａが装置開口１３から離れる現象が生じやすく、図１〜図３に示すロードポート装置１０と同様の効果を奏する。

【0052】

図６は、第３変形例に係るロードポート装置３１０を、壁部１１の内側面１１ａ側から見た概略斜視図である。ロードポート装置３１０は、一対の側方庇部３２７を有することを除き、図１〜図３に示すロードポート装置１０と同様であるため、ロードポート装置１０との相違点のみ説明する。

【0053】

ロードポート装置３１０は、内側面１１ａにおける装置開口１３の一対の側辺１３ｂ（鉛直方向の辺）に隣接して設けられており、内側面１１ａに対して略垂直に突出する側方庇部３２７を有している。側方庇部３２７は、装置開口１３の側辺１３ｂに略平行な長辺を有する矩形平板状の外形状を有している。

【0054】

側方庇部３２７は、装置開口１３の両サイドからのダウンフローの流入を防止することができるため、ロードポート装置３１０によるフープ２内部への清浄化ガスの円滑な導入に資する。また、ロードポート装置３１０は、図１〜図３に示すロードポート装置１０と同様の効果を奏する。

【0055】

図７は、第４変形例に係るロードポート装置４１０を、壁部１１の内側面１１ａ側から見た概略斜視図である。ロードポート装置４１０は、一対の側方庇部４２７を有することを除き、図５に示すロードポート装置２１０と同様であるため、ロードポート装置２１０との相違点のみ説明する。

【0056】

ロードポート装置４１０は、内側面１１ａにおける装置開口１３の一対の側辺１３ｂ（鉛直方向の辺）に隣接して設けられており、内側面１１ａに対して略垂直に突出する側方庇部４２７を有している。側方庇部４２７は、装置開口１３の側辺１３ｂに略平行な長辺を有する矩形平板状の外形状を有している。側方庇部４２７には、側方庇部４２７を水平方向に貫通する側方スリット４２８が形成されている。

【0057】

側方庇部４２７は、図６に示す側方庇部３２７と同様に、装置開口１３の両サイドからのダウンフローの流入を防止することができるため、ロードポート装置４１０によるフープ２内部への清浄化ガスの円滑な導入に資する。また、側方スリット４２８は、側方から装置開口１３への気流を調整し、乱流等が形成される問題を抑制できる。また、ロードポート装置４１０は、図５に示すロードポート装置２１０と同様の効果を奏する。

【0058】

図８は、第５変形例に係るロードポート装置５１０を、壁部１１の内側面１１ａ側から見た概略斜視図である。ロードポート装置５１０は、一対の側方庇折り返し部５２９を有することを除き、図７に示すロードポート装置４１０と同様であるため、ロードポート装置４１０との相違点のみ説明する。

【0059】

ロードポート装置５１０は、側方庇部４２７の先端から水平方向かつ装置開口１３側へ延出する側方庇折り返し部５２９を有しており、側方庇折り返し部５２９は、装置開口１３の側辺１３ｂと略平行な長辺を有する略矩形平板状の外形状を有している。

【0060】

側方庇折り返し部５２９は、側方庇部４２７と同様に、装置開口１３の両サイドからのダウンフローの流入を防止することができるため、ロードポート装置５１０によるフープ２内部への清浄化ガスの円滑な導入に資する。また、ロードポート装置５１０は、図７に示すロードポート装置２１０と同様の効果を奏する。なお、側方庇折り返し部５２９には、側方庇部４２７と同様に、気流を調整するためのスリット又は貫通孔が形成されていてもよい。

【0061】

図９は、本発明の第６変形例に係るロードポート装置６１０を、壁部１１の内側面１１ａ側から見た概略斜視図である。また、図１０は、ロードポート装置６１０における庇部２０の周辺を拡大して表示した拡大断面図である。ロードポート装置６１０は、庇折り返し部６２５及び第２リップ部６３５を有する点を除き、第１実施形態に係るロードポート装置１０と同様であるため、ロードポート装置１０との相違点のみ説明する。

【0062】

図９および図１０に示すように、ロードポート装置６１０は、基端である折り返し部基端６２５ａが庇先端２４（図１０参照）に接続しており、先端である折り返し部先端６２５ｂが庇先端２４から下方に延出する庇折り返し部６２５を有する。庇折り返し部６２５は、庇部２０に対して下方へ向かって略垂直に折り返された矩形平板状であり、庇折り返し部６２５は壁部１１に対して略平行になるように設けられている。

【0063】

庇折り返し部６２５には、庇折り返し部６２５を水平方向に貫通する折り返しスリット６２６が、装置開口１３の上辺１３ａに沿う方向に形成されている。図１０に示すように、庇部２０に形成されたスリット２２を通過した気流Ａの一部は、装置開口１３から離れる方向に、折り返しスリット６２６を通過した後、下方に流れる。

【0064】

図９及び図１０に示すように、ロードポート装置６１０は、基端である第２リップ基端６３６が庇先端２４に接続しており、先端である第２リップ先端６３７が第２リップ基端６３６から壁部１１に対して遠ざかる斜め下方に延出しており、上辺１３ａに沿う方向に設けられる第２リップ部６３５を有する。第２リップ基端６３６は、リップ部３０のリップ基端３２（図３参照）と同様に庇先端２４に接続しているが、リップ先端３４が斜め上方に延出しているのに対して、第２リップ先端６３７は斜め下方に延出している。第６変形例では、リップ部３０と第２リップ部６３５は別箇の板材で構成されており、それぞれの基端が庇先端２４に固定されている。ただし、リップ基端３２と第２リップ基端６３６は繋がっていても良く、リップ部３０と第２リップ部６３５とは連続する一体の部材で構成されていてもよい。

【0065】

図１０に示すように、ウエハ搬送室内に形成されるダウンフローのうち、庇部２０へ向かうものは、庇部２０のスリット２２を通過する気流Ａと、リップ部３０及び第２リップ部６３５に沿って庇部２０の外側を通過する気流Ｂに分かれると考えられる。図１０に示す第６変形例でも、第１実施形態と同様に、スリット２２を通過する気流Ａは、庇部２０の外側を通過する気流Ｂに比べて気圧が高くなるため、庇部２０の下方の気流Ａが、装置開口１３から離間する方向に引っ張られる。特に、第６変形例では、庇部２０に形成されたスリット２２を通過した気流Ａの一部は、装置開口１３から離れる方向に、折り返しスリット６２６を通過する。そのため、ロードポート装置６１０は、スリット２２を通過した気流Ａを装置開口１３から効果的に遠ざけることが可能となり、装置開口１３付近での乱流の発生を抑制することができる。また、リップ部３０と第２リップ部６３５の両方を有するロードポート装置６１０は、図１０に示すような気流を形成し、装置開口１３付近での乱流の発生を効果的に抑制することができる。

【0066】

リップ部３０と庇部２０との間に形成される角度θ１と、第２リップ部６３５と庇折り返し部６２５との間に形成される角度θ２とは特に限定されず、ダウンフローが装置開口１３付近で乱流を生じないように調整される。例えば、角度θ１は６０度以下とし、角度θ２は４０度以下とすることが、スリット２２を通過した気流Ａを装置開口１３から効果的に遠ざける観点から好ましい。また、同様の理由から、角度θ２は、角度θ１より小さいことが好ましく、また、角度θ１と角度θ２との和は、９０度より小さいことが好ましい。

【0067】

さらに、第２リップ先端６３７は、折り返しスリット６２６より、上下方向に関して上方に位置してもよい。第２リップ先端６３７が、折り返しスリット６２６より上方に位置することにより、折り返しスリット６２６を通過して装置開口１３から離れる方向へ流れる気流を強めることができるため、このようなロードポート装置６１０は、スリット２２を通過した気流Ａを装置開口１３から効果的に遠ざけることができる。また、第６変形例に係るロードポート装置６１０も、第１実施形態に係るロードポート装置１０と同様の効果を奏する。なお、折り返しスリット６２６は、上辺１３ａに沿う方向に断続的に形成される貫通孔で構成される折り返し貫通孔であってもよい。

【0068】

実施形態及び変形例で示される庇部２０、１２０やリップ部３０等の組み合わせは、任意に変更することができる。例えば、第６変形例に係る庇部２０、リップ部３０、庇折り返し部６２５及び第２リップ部６３５は、他の変形例で示した側方庇部３２７、４２７や、側方庇折り返し部５２９と共に用いられても良く、また、第１実施形態及び第２〜第６変形例で採用される庇部２０に代えて、第１変形例に示す庇部１２０を用いることも可能である。

【0069】

上述した実施形態および変形例は、本発明に含まれる実施形態の例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。また、図３に示す庇部２０は、装置開口１３の上辺から、ファンフィルタユニット５１までの間の任意の場所に配置することができる。たとえば、庇部２０は、ロードポート装置１０における壁部１１の内側面１１ａではなく、内側面１１ａの上方に続くウエハ搬送室５２の壁面に設けられていても良い。

【符号の説明】

【0070】

１… ウエハ
２… フープ
４… 蓋
５、６…底孔
１０、１１０、２１０、３１０、４１０、５１０…ロードポート装置
１１…壁部材
１１ａ…内側面
１１ｂ…外側面
１３…装置開口
１３ａ…上辺
１３ｂ…側辺
１４…載置台
１６…ボトムガス導入部
１７…フロントガス導入部
１８…開閉部
１８ａ…ドア
１８ｂ…ドア駆動部
２０、１２０…庇部
２０ａ、１２０ａ…上面
２０ｂ、１２０ｂ…下面
２２、１２２…スリット
２２ａ、１２２ａ…上面開口
２２ｂ、１２２ｂ…下面開口
２４…庇先端
２２５、６２５…庇折り返し部
６２６ａ…庇折り返し部基端
６２６ｂ…庇折り返し部先端
２２６、６２６…折り返しスリット
３２７、４２７…側方庇部
４２８…側方スリット
４２９…側方庇折り返し部
３０…リップ部
３４…リップ先端
６３５…第２リップ部
６３６…第２リップ基端
６３７…第２リップ先端
５０…ＥＦＥＭ
５１…ミニエンバイロメント装置
５２…ウエハ搬送室
５４…ウエハ搬送機
５４ａ…アーム
５６…ファンフィルタユニット
５６ａ…ファン
５６ｂ…フィルタ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】