特許 6704764 赤外線処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6704764

(24)【登録日】2020年5月15日

(45)【発行日】2020年6月3日

(54)【発明の名称】赤外線処理装置

(51)【国際特許分類】

   F26B 3/30 20060101AFI20200525BHJP

   F27B 9/06 20060101ALI20200525BHJP

   F27D 11/02 20060101ALI20200525BHJP

   F27D 7/02 20060101ALI20200525BHJP

   F26B 21/00 20060101ALI20200525BHJP

   F26B 13/10 20060101ALI20200525BHJP

【ＦＩ】

   F26B3/30

   F27B9/06 E

   F27D11/02 A

   F27D7/02 A

   F26B21/00 C

   F26B13/10 E

【請求項の数】6

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2016-58296(P2016-58296)

(22)【出願日】2016年3月23日

(65)【公開番号】特開2017-172855(P2017-172855A)

(43)【公開日】2017年9月28日

【審査請求日】2018年10月12日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004064

【氏名又は名称】日本碍子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000017

【氏名又は名称】特許業務法人アイテック国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 努

(72)【発明者】

【氏名】近藤 良夫

【審査官】 岩瀬 昌治

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１４／１３２９５２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 実開昭６３−０５１６６１（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０６−００４５９２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 国際公開第２０１３／１１１５１１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１２−１７２９６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２１１７３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２３７１５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１５２２０３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ２６Ｂ ３／３０

Ｆ２６Ｂ １３／１０

Ｆ２６Ｂ ２１／００

Ｆ２７Ｂ ９／０６

Ｆ２７Ｄ ７／０２

Ｆ２７Ｄ １１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部に処理空間を有する炉体と、
前記処理空間内の被処理物に赤外線を放射する赤外線ヒーターと、
気体が流通可能な第１流路及び第２流路を内部に有する本体部と、該第１流路と該第２流路とを連通させ且つ該第１流路の流路断面積の最大値よりも流路断面積の小さい第１開口を形成する板状部材と、該第２流路から前記処理空間への出口となる第２開口を有するノズル部と、を有するダクトと、
前記本体部に接続され、前記第１流路内に向けて前記板状部材の表面に垂直に気体を流通させる配管と、
を備え、
前記第２開口は、前記第１開口における気体の流通方向と垂直な前方向に向けて前記本体部の前端側で開口し、長手方向が該流通方向及び該前方向に垂直な左右方向に沿っており、
前記第１開口は、長手方向が前記左右方向に平行であり前記第１流路のうち前側の領域と連通する前側開口と、前記第１流路のうち左側及び右側の領域とそれぞれ連通する左側開口及び右側開口と、を有する、
赤外線処理装置。

【請求項2】

前記第２開口は、長手方向と短手方向とを有し、
前記第１開口は、長手方向が前記第２開口の長手方向に平行な開口を有する、
請求項１に記載の赤外線処理装置。

【請求項3】

前記板状部材は、前記左側開口の右端部に隣接し該左側開口における気体の流通方向と平行に前記第１流路側に突出した板状の左側突出部と、前記右側開口の左端部に隣接し該右側開口における気体の流通方向と平行に前記第１流路側に突出した板状の右側突出部と、を有する、
請求項１又は２に記載の赤外線処理装置。

【請求項4】

前記第２流路は、少なくとも一部が前記第１開口よりも流路断面積が大きい、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の赤外線処理装置。

【請求項5】

前記第２開口は、前記第２流路の流路断面積の最大値よりも流路断面積が小さい、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の赤外線処理装置。

【請求項6】

請求項１〜５のいずれか１項に記載の赤外線処理装置であって、
前記被処理物を前記処理空間内で搬送方向に搬送する搬送手段、
を備え、
前記第２開口は、長手方向が前記搬送方向に垂直且つ前記被処理物の幅方向に平行である、
赤外線処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、赤外線処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、赤外線を用いて乾燥などの処理を行う赤外線処理装置としては、種々の構造のものが開発されている。例えば、特許文献１には、炉体となる乾燥本体部と、塗膜に赤外線を放射する赤外線ヒーターと、乾燥本体部に冷風を供給して塗膜を冷却する内部風供給装置と、を備えた乾燥炉が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１４−０３５０８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、赤外線処理装置においてダクトから処理空間に送風を行う場合、例えばダクトの開口の端部と中央とで送風の風速がばらつく場合があり、送風の風速をなるべく均一化したいという要望があった。

【0005】

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、処理空間内に供給する風の風速のばらつきを低減させることを主目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。

【0007】

本発明の第１の赤外線処理装置は、
内部に処理空間を有する炉体と、
前記処理空間内の被処理物に赤外線を放射する赤外線ヒーターと、
気体が流通可能な第１流路を内部に有し外周面に配設された第１開口を有する有底の筒状部材と、前記筒状部材の外周面のうち少なくとも前記第１開口を含む部分を覆い前記第１開口を介して前記第１流路と連通する第２流路を内部に有する本体部と、該第２流路から前記処理空間への出口となる第２開口を有するノズル部と、を有するダクトと、
を備えたものである。

【0008】

この第１の赤外線処理装置では、内部に第１流路を有する筒状部材の外周面に第１開口が配設されている。これにより、第１流路から第１開口を通過して本体部内の第２流路に気体が流出する際に、気体の少なくとも一部が筒状部材の内周面などに当たることにより動圧の少なくとも一部が静圧に変換され、気体の流線が整った状態になる。これにより、第２流路を通過して第２開口から処理空間を流れる風は、風速のばらつきが低減される。

【0009】

本発明の第１の赤外線処理装置において、前記第２開口は、長手方向と短手方向とを有し、前記第１開口は、長手方向が前記第２開口の長手方向に平行な開口を有していてもよい。こうすれば、第２開口と第１開口とが長手方向が平行であることで、第２開口から流出する風は長手方向での風速のばらつきがより低減されやすい。

【0010】

本発明の第１の赤外線処理装置において、前記第２開口は、長手方向と短手方向とを有し、前記筒状部材は、軸方向が前記第２開口の長手方向と平行になるように配置されていてもよい。この場合において、前記第１開口は、長手方向が前記第２開口の長手方向に平行な開口を有していてもよい。こうすれば、筒状部材の軸方向と第１開口の長手方向とが平行になるため、第１開口の長手方向の長さを大きくしやすい。

【0011】

本発明の第２の赤外線処理装置は、
内部に処理空間を有する炉体と、
前記処理空間内の被処理物に赤外線を放射する赤外線ヒーターと、
気体が流通可能な第１流路及び第２流路を内部に有する本体部と、該第１流路と該第２流路とを連通させ且つ該第１流路の流路断面積の最大値よりも流路断面積の小さい第１開口を形成する板状部材と、該第２流路から前記処理空間への出口となる第２開口を有するノズル部と、を有するダクトと、
を備えたものである。

【0012】

この第２の赤外線処理装置では、板状部材が存在することにより、本体部内の第１流路と第２流路との間に第１流路の流路断面積の最大値よりも流路断面積の小さい第１開口が存在している。これにより、第１流路から第１開口を通過して第２流路に気体が流出する際に、気体の少なくとも一部が板状部材に当たることにより動圧が静圧に変換され、気体の流線が整った状態になる。これにより、第２流路を通過して第２開口から処理空間を流れる風は、風速のばらつきが低減される。この場合において、前記板状部材は、他の部材（例えば前記本体部）との隙間として前記第１開口を形成してもよいし、該板状部材自身に前記第１開口が配設されていてもよい。

【0013】

本発明の第２の赤外線処理装置において、前記第２開口は、長手方向と短手方向とを有し、前記第１開口は、長手方向が前記第２開口の長手方向に平行な開口を有していてもよい。こうすれば、第２開口と第１開口とが長手方向が平行であることで、第２開口から流出する風は長手方向での風速のばらつきがより低減されやすい。

【0014】

本発明の第２の赤外線処理装置において、前記第２開口は、前記第１開口における気体の流通方向と垂直な前方向に向けて前記本体部の前端側で開口し、長手方向が該流通方向及び該前方向に垂直な左右方向に沿っており、前記第１開口は、長手方向が前記左右方向に平行であり前記第１流路のうち前側の領域と連通する前側開口と、前記第１流路のうち左側及び右側の領域とそれぞれ連通する左側開口及び右側開口と、を有していてもよい。こうすれば、例えば左側開口及び右側開口を有さない場合と比較して、処理空間内に供給される風の風速のばらつきがより低減される。

【0015】

本発明の第２の赤外線処理装置において、前記板状部材は、前記左側開口の右端部に隣接し該左側開口における気体の流通方向と平行に前記第１流路側に突出した板状の左側突出部と、前記右側開口の左端部に隣接し該右側開口における気体の流通方向と平行に前記第１流路側に突出した板状の右側突出部と、を有していてもよい。こうすることで、板状部材へ接触せず動圧が静圧に変換されぬまま流出しようとする気体の少なくとも一部が左側突出部又は右側突出部に当たることよって、更に動圧を静圧に変換することが出来る。そのため、処理空間内に供給される風の風速のばらつきをより低減することが可能となる。

【0016】

本発明の第１，第２の赤外線処理装置の少なくとも一方において、前記第２流路は、少なくとも一部が前記第１開口よりも流路断面積が大きくてもよい。また、本発明の第１，第２の赤外線処理装置の少なくとも一方において、前記第２開口は、前記第２流路の流路断面積の最大値よりも流路断面積が小さくてもよい。こうすれば、処理空間内に供給される風の風速を高くしやすい。

【0017】

本発明の第１，第２の赤外線処理装置の少なくとも一方は、前記被処理物を前記処理空間内で搬送方向に搬送する搬送手段、を備え、前記第２開口は、長手方向が前記搬送方向に垂直且つ前記被処理物の幅方向に平行であってもよい。こうすれば、被処理物の幅方向での風速のばらつきが低減されるため、被処理物に処理むらが生じにくくなる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】第１実施形態の赤外線処理装置１０の縦断面図。

【図2】給気ダクト２２を右上前方から見た斜視図。

【図3】給気ダクト２２を前方から見た正面図。

【図4】第２実施形態の赤外線処理装置１０Ｂの縦断面図。

【図5】給気ダクト２２Ｂを右上前方から見た斜視図。

【図6】図４の給気ダクト２２Ｂの拡大部分のＢ−Ｂ断面図。

【図7】変形例の給気ダクト２２Ｂを右上前方から見た斜視図。

【図8】変形例の給気ダクト２２Ｂを上方から断面視した断面図。

【発明を実施するための形態】

【0019】

［第１実施形態］
次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である赤外線処理装置１０の縦断面図である。図２は、給気装置２０の給気ダクト２２を右上前方から見た斜視図である。図３は、給気ダクト２２を前方から見た正面図である。なお、図１中の右上の給気ダクト２２の拡大断面図は、図３のＡ−Ａ断面図に相当する。また、図２，３では、仕切り板１９は図示を省略している。赤外線処理装置１０は、シート７５上に塗布された被処理物としての塗膜７７の赤外線処理（ここでは乾燥）を赤外線を用いて行うものであり、炉体１４と、給気装置２０と、排気装置５０と、赤外線ヒーター６０と、搬送装置７０と、制御装置８０と、を備えている。この赤外線処理装置１０は、塗膜７７が上面に形成されたシート７５を搬送装置７０のロール７２，７３により連続的に搬送方向（後方）に搬送して塗膜７７の乾燥を行う、ロールトゥロール方式の乾燥炉として構成されている。なお、本実施形態において、上下方向，左右方向及び前後方向は、図１〜３に示した通りとする。

【0020】

炉体１４は、略直方体に形成された断熱構造体であり、前端面１５及び後端面１６にそれぞれ開口１７，１８を有している。この炉体１４は、前端面１５から後端面１６までの長さが例えば２〜１０ｍである。炉体１４は、内部に仕切り板１９が配設されている。この仕切り板１９は、水平方向に配置されて炉体１４内の空間を上部空間１４ａと下部空間（処理空間１４ｂ）とに上下に分離している。仕切り板１９は、赤外線ヒーター６０からの赤外線の少なくとも一部（例えば波長が０．７μｍ以上４μｍ以下の近赤外線）を透過する赤外線透過材料で構成されている。本実施形態では、仕切り板１９の材質は波長が４μｍを超える赤外線を吸収し且つ波長が４μｍ以下の赤外線を透過する石英ガラスとした。仕切り板１９は、赤外線ヒーター４０が存在する上部空間１４ａと塗膜７７が通過する処理空間１４ｂとを分離することで、塗膜７７の過熱を抑制したり給気装置２０から処理空間１４ｂ内への送風を整流したりする役割を果たす。開口１７，１８は処理空間１４ｂに開口している。片面に塗膜７７が塗布されたシート７５は、開口１７から搬入され、処理空間１４ｂを水平方向に進行し、開口１８から搬出される。

【0021】

給気装置２０は、処理空間１４ｂ内の塗膜７７の表面（上面）側に気体を供給（送風）して、処理空間１４ｂ内のシート７５及び塗膜７７の冷却と塗膜７７から蒸発した溶剤などの成分の除去との少なくとも一方を行う装置である。給気装置２０は、給気ファン２１と、給気ダクト２２（本発明のダクトに相当）と、を備えている。給気ファン２１は、炉体１４外に配置されて給気ダクト２２内に気体を供給するものである。給気ファン２１は、気体の流量の調節が可能となっており、気体の温度も調節可能であってもよい。給気ファン２１が供給する気体、本実施形態ではシート７５及び塗膜７７を冷却可能な冷風（例えば常温や５０℃以下の空気）とした。給気ファン２１から供給された気体は、給気ダクト２２内を通過して、給気ダクト２２の前側に設けられた第２開口４４から処理空間１４ｂ内に供給される。第２開口４４は、図２，３に示すように、長手方向と短手方向とを有する長方形状をしている。第２開口４４は、長手方向が左右方向と平行であり、短手方向が上下方向と平行になっている。第２開口４４から処理空間１４ｂに供給される気体の風速は、特にこれに限定するものではないが、例えば１ｍ／ｓ〜１５ｍ／ｓとしてもよい。

【0022】

給気ダクト２２について図１〜３を用いて詳細に説明する。給気ダクト２２は、第１開口３４を有する筒状部材３０と、筒状部材３０を囲む本体部４１と、本体部４１の前端側に配設されたノズル部４３と、を備えている。給気ダクト２２は、例えばＳＵＳ３０４やアルミニウムなどの金属で構成されている。

【0023】

筒状部材３０は、図２に示すように、底部３８を有する有底の管である。筒状部材３０は、軸方向が第２開口４４の長手方向（左右方向）と平行になるように配置されている。筒状部材３０は、本体部４１の右側の壁を左右に貫通し、図示は省略するが炉体１４も貫通して炉体１４外まで配設されている。筒状部材３０の内部は、気体が流通可能な第１流路３２となっており、給気ファン２１から供給された気体は第１流路３２内を右から左に流通し、底部３８側に向けて流れていく。筒状部材３０は、断面円形の管であり、第１流路３２も流路断面（気体の流通方向に垂直な断面）は円形になっている。筒状部材３０にはフランジ３１が配設されており、このフランジ３１を介して本体部４１の右側の外壁面にボルトなどで取り付けられて固定されている。なお、筒状部材３０は本体部４１内に位置する部分と本体部４１外に位置する部分とが一体であっても別の部材であってもよく、別の部材である場合は両部材がこのフランジ３１で接続されていてもよい。筒状部材３０の底部３８は、本体部４１の内壁面に接触しており、ボルトなどで本体部４１に固定されている。筒状部材３０は、第１流路３２からの気体の出口となる第１開口３３を１以上有している。第１開口３３は筒状部材３０の外周面（側面）に配設されている。第１開口３３は複数配設されていてもよく、本実施形態では第１開口３４〜３７の４個が配設されている。第１開口３４〜第１開口３７を第１開口３３と総称する。第１開口３４〜第１開口３７は、いずれも角が丸い長方形状をしており、いずれも長手方向が第２開口４４の長手方向（左右方向）に平行に開口している。第１開口３４〜第１開口３７は、いずれも本体部４１内に位置しており、且つ、底部３８よりも第１流路３２の流通方向（右から左に向かう方向）で上流側に位置している。第１開口３４，３５は、筒状部材３０の外周面の前端に配設され、第１流路３２中の気体が後方から前方に向かって流出するようになっている。第１開口３４と第１開口３５とは、互いに左右に並んで配設されている。第１開口３４，３５の軸方向（気体の流通方向）は、前後方向と平行になっている。第１開口３６，３７は、筒状部材３０の外周面の後端に配設され、第１流路３２中の気体が前方から後方に向かって流出するようになっている。第１開口３６と第１開口３７とは、互いに左右に並んで配設されている。第１開口３６，３７の軸方向（気体の流通方向）は、前後方向と平行になっている。第１開口３４〜３７はいずれも同じ形状且つ同じ大きさになっている。また、第１開口３４と第１開口３６とは、筒状部材３０の軸線を通り上下方向に平行な仮想面に対して面対称になっている。同様に、第１開口３５及び第１開口３６も面対称になっている。

【0024】

本体部４１は、略直方体形状（立方体形状を含む）に形成された中空の部材である。本体部４１は、筒状部材３０の外周面のうち少なくとも第１開口３３を含む部分を覆っている。本実施形態では、本体部４１内には筒状部材３０の底部３８も配置されており、本体部４１は第１開口３３だけでなく筒状部材３０の左端部（フランジ３１の配設された部分から底部３８まで）全体を囲んでいる。本体部４１の内部の中空部分（略直方体形状の空間）は第２流路４２となっており、第２流路４２は筒状部材３０の第１開口３３を介して第１流路３２と連通している。

【0025】

ノズル部４３は、気体が流通可能な管であり、本実施形態では角管状に形成されている。ノズル部４３は、本体部４１に配設されており、本実施形態では本体部４１と一体的に形成されている。ノズル部４３は、本体部４１の下端且つ前端に配設されており、内部の空間は本体部４１内部の空間と連通している。なお、ノズル部４３内部の空間も第２流路４２に含まれるものとする。ノズル部４３は、第２流路４２から処理空間１４ｂへの気体の出口となる第２開口４４を有している。第２開口４４は、ノズル部４３の前端で前方に向けて水平に開口している。これにより、給気装置２０は、シート７５の搬送方向とは反対方向に（後方から前方に向けて）気体を供給する。第２開口４４は、上述したように長手方向が左右方向と平行であり、短手方向が上下方向と平行になっている。第２開口４４の長手方向（左右方向）は、搬送装置７０による塗膜７７の搬送方向（前後方向）に垂直且つ塗膜７７の幅方向に平行になっている。第２開口４４の長手方向は、上下方向に垂直になっている。第２開口４４の軸方向（気体の流通方向）は、前後方向と平行になっている。ノズル部４３内の空間の軸方向（気体の流通方向）も、前後方向と平行になっている。第２流路４２を流通した気体は、この第２開口４４を介して後方から前方に向かって流出する。なお、ノズル部４３の前後方向の長さ（ノズル部４３内の流通方向の長さ）やノズル部４３内の空間の軸方向は、第２開口４４から流出する気体が所望の向きになるように適宜調整することができる。例えば、ノズル部４３内の空間の軸方向が上前方や下前方を向くように、ノズル部４３の内周面（特に上面及び下面）の向きを傾斜させてもよい。第２開口４４の左右の幅（第２開口４４の長手方向の長さであり、図３の２本の二点鎖線間の距離）は、図３に示すように、塗膜７７の左右の幅よりも大きくなっている。そして、搬送される塗膜７７の左右方向の両端は、第２開口４４の長手方向の両端の間の領域に位置するようになっている。すなわち、塗膜７７は、第２開口４４の長手方向の両端の間の領域に含まれるような位置関係を保ちつつ搬送される。ノズル部４３及び第２開口４４は、図１，３に示すように、第１開口３３よりも下方に位置しており、さらに筒状部材３０のうち本体部４１に覆われた部分よりも下方に位置している。

【0026】

ここで、第１開口３３の流路断面積（開口面積）を面積Ｓ１とし、第２開口４４の流路断面積（開口面積）を面積Ｓ２とし、第１流路３２の流路断面積を面積Ｓ３とし、第２流路４２の流路断面積を面積Ｓ４とする。なお、流路が複数の孔で構成されている場合は、面積Ｓ１〜Ｓ４はいずれも合計面積とする。例えば、面積Ｓ１は、第１開口３４〜３７の流路断面積の合計値とする。また、本実施形態では第１流路３２の流路断面積（筒状部材３０の内径で定まる円の面積）は一定としたが、第１流路３２の流路断面積が流通方向に沿って変化する部分がある場合には、第１流路３２中の流路断面積の最大値を面積Ｓ３とする。面積Ｓ４についても同様とする。そのため、本実施形態では、面積Ｓ４は、ノズル部４３内の流路断面積ではなく、本体部４１内の流路断面積に基づいて定まる。また、面積Ｓ４は、第２流路４２のうち第１開口３３から第２開口４４までの間の気体の経路の中で定めるものとする。そのため、本実施形態では、第２流路４２のうち第１開口３３よりも上方の領域の断面積は、面積Ｓ４には無関係とする。以上のことから、本実施形態における面積Ｓ４は、図１に示すように本体部４１内部の筒状部材３０よりも下方且つノズル部４３よりも上方の空間における流路断面積（流通方向に垂直すなわち前後左右に平行な面の面積）となる。

【0027】

この面積Ｓ１〜Ｓ４に関して、本実施形態では、Ｓ３＜Ｓ１とした。ただし、Ｓ３＝Ｓ１としてもよいし、Ｓ３＞Ｓ１としてもよい。また、本実施形態では、Ｓ１＜Ｓ４とした。すなわち、第２流路４２の少なくとも一部が第１開口３３よりも流路断面積が大きくなるようにした。ただし、Ｓ１＝Ｓ４としてもよいし、Ｓ１＞Ｓ４としてもよい。また、本実施形態では、Ｓ４＞Ｓ２とした。すなわち、第２開口４４は、第２流路４２の流路断面積の最大値よりも流路断面積が小さくなるようにした。ただし、Ｓ４＝Ｓ２としてもよいし、Ｓ４＜Ｓ２としてもよい。また、本実施形態では、Ｓ１＞Ｓ２とした。ただし、Ｓ１＝Ｓ２としてもよいし、Ｓ１＜Ｓ２としてもよい。なお、面積Ｓ２すなわち第２開口４４の開口面積を調整することで、第２流路４２から処理空間１４ｂに供給される風の風速を調整することができる。そのため、面積Ｓ２は、必要な風速が得られるように定めてもよい。

【0028】

排気装置５０は、炉体１４内の雰囲気ガスを排出する装置である。排気装置５０は、排気ダクト５２内の雰囲気ガスを排気する排気ファン５１と、雰囲気ガスを排気ファン５１に導く排気ダクト５２と、処理空間１４ｂから排気ダクト５２への雰囲気ガスの出口となる排気口５４と、を備えている。排気口５４は、炉体１４のうちシート７５の搬入側である開口１７側の端部に設けられ、搬出側である開口１８側に向けて水平に開口している。排気装置５０は、この排気口５４を介して炉体１４内の雰囲気ガス（主に塗膜７７の表面に沿って流れた後の給気装置２０からの送風）を吸気して、排気ファン５１により炉体１４の外部へ排気する。なお、排気ファン５１は、例えば図示しない排気用の配管に接続されていてもよく、処理空間１４ｂ内の雰囲気ガスに含まれる塗膜７７から蒸発した有機溶剤などの成分を除去するなど、適切な処理を行ってから赤外線処理装置１０外に雰囲気ガスを排気してもよい。また、排気ファン５１は、排気ダクト５２内の雰囲気ガスを赤外線処理装置１０外に排気せず、給気ファン２１の吸気として循環させてもよい。

【0029】

赤外線ヒーター６０は、処理空間１４ｂ内を通過する塗膜７７に赤外線を照射する装置であり、上部空間１４ａ内に複数取り付けられている。本実施形態では、赤外線ヒーター６０は前端面１７側から後端面１８側にわたって略均等に複数本（本実施形態では６本）配置されている。この複数の赤外線ヒーター６０は、いずれも同様の構成を有しており、いずれも長手方向が搬送方向と直交するように取り付けられている。以下、１つの赤外線ヒーター３０の構成について説明する。

【0030】

赤外線ヒーター６０は、図１の拡大図に示すように、発熱体であるフィラメント６１を内管６２が囲むように形成されたヒーター本体６３と、このヒーター本体６３の外側に設けられ内管６２を囲むように形成された外管６４と、外管６４の外表面に配設された反射層６５と、を備えている。

【0031】

ヒーター本体６３は、本実施形態ではハロゲンヒーターとして構成されている。フィラメント６１は、加熱すると赤外線を放射する発熱体であり、本実施形態ではＷ（タングステン）製とした。なおフィラメント６１の材料としては、他にＮｉ−Ｃｒ合金，Ｍｏ，Ｔａ，及びＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金などを挙げることができる。フィラメント６１の両端には、図示しない電力供給源から電力が供給される。内管６２は、円筒状の管であり、フィラメント６１からの赤外線の少なくとも一部を透過する赤外線透過材料で構成されている。本実施形態では、内管６２の材質は仕切り板１９と同じ石英ガラスとした。内管６２の内部は、アルゴンガスにハロゲンガスを添加した雰囲気となっている。

【0032】

外管６４は、上述した赤外線透過材料で形成された管である。本実施形態では、外管６４は、内管３２と同様に石英ガラスで形成されているものとした。

【0033】

反射層６５は、外管６４の外周面のうち、フィラメント６１からみて塗膜７７とは反対側（上側）を含む領域に形成され、フィラメント６１の周囲の一部のみを覆うように設けられている。本実施形態では、反射層６５は、外管６４の上側半分を全て覆っているものとした。反射層６５は、その断面の円弧を含む円の中心位置にフィラメント６１が位置するように配置されている。この反射層６５は、フィラメント６１から放射される電磁波のうち赤外線の少なくとも一部を反射する赤外線反射材料で形成されている。赤外線反射材料としては、例えば金，白金，アルミニウムなどが挙げられる。

【0034】

冷媒流路６６は、内管６２と外管６４との間の空間であり、例えば炉体１４を左右に貫通する図示しない流体出入口などを介して冷媒が流通可能となっている。冷媒は、例えば空気などの流体である。冷媒流路６６を流通する冷媒は、赤外線ヒーター６０の外面である外管６４及び反射層６５の温度を下げたり、任意の温度に調整（例えば２００℃以下など）したりする役割を果たす。

【0035】

搬送装置７０は、塗膜７７を搬送する機構であり、炉体１４の前方に設けられたロール７２と、炉体１４の後方に設けられたロール７３と、ロール７２，７３に掛け渡されたシート７５と、を備えている。シート７５はロール７２，７３に巻き付けられており、ロール７２，７３の回転によって処理空間１４ｂ内を搬送方向（後方）に移動する。シート７５は、特に限定するものではないが、例えば樹脂製のシートであり、本実施形態ではＰＥＴフィルムからなるものとした。シート７５は、特に限定するものではないが、例えば厚さ１０〜１００μｍ，幅２００〜１０００ｍｍである。

【0036】

塗膜７７は、シート７５の上面に塗布された被処理物であり、例えば乾燥後にＭＬＣＣ（積層セラミックコンデンサ）用の薄膜として用いられるものである。塗膜７７は、例えばセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものである。塗膜７７の厚みは、特に限定するものではないが、例えば２０〜１０００μｍである。

【0037】

制御装置８０は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されている。この制御装置８０は、給気ファン２１及び排気ファン５１の各々に制御信号を出力して、給気ダクト２２の第２開口４４から送風される気体の温度及び風量を制御したり、処理空間１４ｂの雰囲気の排気口５４からの排気量を制御したりする。また、制御装置８０は、フィラメント６１の電力供給源に制御信号を出力して、フィラメント６１のヒーター出力（消費電力）を制御し、これによりフィラメント６１の温度や塗膜７７に照射される赤外線の放射強度を制御する。制御装置８０は、図示しない冷媒供給源から冷媒流路６６に流れる冷媒の流量を制御して、外管６４及び反射層６５の温度を調整する。制御装置８０は、ロール７２，７３の回転速度を制御することで、炉体１４内のシート７５及び塗膜７７の通過時間やシート７５及び塗膜７７にかかる張力を調整することができる。また、制御装置８０は、図示しないタッチパネルなどの表示操作部を備えており、作業者からの指示を入力したり作業者に情報を出力したりする。

【0038】

次に、こうして構成された制御装置８０を用いて塗膜７７を乾燥する様子について説明する。まず、制御装置８０は、例えば作業者からの処理開始指示を入力すると、フィラメント６１に通電して赤外線を放射させると共に、給気ファン２１，排気ファン５１を制御して処理空間１４ｂ内への送風および排気を行う。これにより、制御装置８０は処理空間１４ｂ内の温度や風量を所定の状態になるよう調整する。次に、制御装置８０はロール７２，７３を回転させ、シート７５の搬送を開始する。これによりロール７２からシート７５が巻き外されていく。また、シート７５は開口１７から処理空間１４ｂ内に搬入される直前に図示しないコーターによって上面に塗膜７７が塗布される。そして、塗膜７７が塗布されたシート７５は、処理空間１４ｂ内に搬送される。シート７５が処理空間１４ｂ内を通過する間に、シート７５の上面に形成された塗膜７７は、赤外線ヒーター６０からの赤外線が照射されることによって溶剤などの成分が蒸発して乾燥される。また、これと同時に、給気装置２０からの冷風が塗膜７７やシート７５を冷却したり、塗膜７７から蒸発した溶剤を除去したりする。そして、塗膜７７は乾燥されて薄膜となり、開口１８から搬出される。この薄膜（塗膜７７）は、ロール７３にシート７５とともに巻き取られる。その後、薄膜はシート７５から剥離され、所定形状に切断されて積層され、ＭＬＣＣが製造される。

【0039】

なお、制御装置８０は、上記の塗膜７７の赤外線処理を行う際、例えば、フィラメント６１から放射される赤外線のピーク波長が所定の波長領域（例えば波長１μｍ〜４μｍ，２μｍ〜３．５μｍなど）内の値になるように、赤外線ヒーター６０のヒーター出力を制御する。

【0040】

また、制御装置８０は、シート７５の温度が所定値となるように給気ファン２１の温度や流量を制御する。この温度および流量はあらかじめ定められているものとしてもよいし、処理空間１４ｂ内に設けられた温度センサが検出した温度に基づいて制御装置８０が温度及び流量を調整してもよい。

【0041】

ここで、給気ファン２１から処理空間１４ｂまでの気体の流れについて説明する。給気ファン２１から供給された気体は、第１流路３２，第１開口３３，第２流路４２，第２開口４４をこの順に通過して、第２開口４４から処理空間１４ｂに供給される。このとき、第１流路３２を有する筒状部材３０の外周面に第１開口３３が配設されていることで、気体の少なくとも一部は筒状部材３０の内周面や底部３８などに当たってから第１開口３３を通過して第２流路４２に流出する。このように筒状部材３０の内周面や底部３８などに気体が当たることにより、気体の動圧の少なくとも一部が静圧に変換され、第１開口３３から流出する際には気体の流線が整った状態になる。これにより、第２流路４２を通過して第２開口４４から処理空間１４ｂを流れる風は、風速のばらつきが低減される。例えば、第２開口４４の長手方向の両端と中央とにおける風速のばらつきが低減される。これにより、例えば風速がよりばらついている場合と比較して、塗膜７７の乾燥にむらが生じることなどを低減でき、ＭＬＣＣの品質や歩留まりの低下などを抑制できる。

【0042】

以上詳述した本実施形態の赤外線処理装置１０によれば、内部に第１流路３２を有する筒状部材３０の外周面に第１開口３３が配設されていることで、第２流路４２を通過して第２開口４４から処理空間１４ｂに流出する風は、風速のばらつきが低減される。

【0043】

また、第２開口４４は、長手方向と短手方向とを有し、第１開口３３は、長手方向が第２開口４４の長手方向に平行な第１開口３４〜３７を有している。第２開口４４と第１開口３３（３４〜３７）とが長手方向が平行であることで、第２開口４４から流出する風は長手方向での風速のばらつきがより低減されやすい。

【0044】

さらに、第２開口４４は、長手方向と短手方向とを有し、筒状部材３０は、軸方向が第２開口４４の長手方向と平行になるように配置されている。しかも、第１開口３３は、上記のように長手方向が第２開口４４の長手方向に平行な第１開口３４〜第１開口３７を有している。これにより、筒状部材３０の軸方向と第１開口３３（３４〜３７）の長手方向とが平行になるため、第１開口３３（３４〜３７）の長手方向の長さを大きくしやすい。

【0045】

さらにまた、第２流路４２は、少なくとも一部が第１開口３３よりも流路断面積が大きい（Ｓ１＜Ｓ４）。そしてまた、第２開口４４は、第２流路４２の流路断面積の最大値よりも流路断面積が小さい（Ｓ４＞Ｓ２）ため、処理空間１４ｂ内に供給される風の風速を高くしやすい。

【0046】

そしてまた、赤外線処理装置１０は、塗膜７７を処理空間１４ｂ内で搬送方向に搬送する搬送装置７０を備え、第２開口４４は、長手方向が搬送方向に垂直且つ塗膜７７の幅方向に平行である。これにより、塗膜７７の幅方向での風速のばらつきが低減されるため、塗膜７７に乾燥の処理むらが生じにくくなる。

【0047】

［第２実施形態］
図４は、第２実施形態の赤外線処理装置１０Ｂの縦断面図である。図５は、給気ダクト２２Ｂを右上前方から見た斜視図である。図６は、図４の給気ダクト２２Ｂの拡大部分のＢ−Ｂ断面図である。なお、図４中の右上の給気ダクト２２Ｂの拡大断面図は、図６のＣ−Ｃ断面図に相当する。また、図５，６では、仕切り板１９は図示を省略している。赤外線処理装置１０Ｂは、給気装置２０に代えて給気装置２０Ｂを備える点以外は、第１実施形態の赤外線処理装置１０と同じ構成をしている。そのため、赤外線処理装置１０と同じ構成要素については同じ符号を付して説明を省略する。

【0048】

給気装置２０Ｂは、給気ファン２１と、給気ダクト２２Ｂ（本発明のダクトに相当）と、を備えている。給気装置２０Ｂは、給気ダクト２２の代わりに給気ダクト２２Ｂを備えている点以外は、給気装置２０と同様である。

【0049】

給気ダクト２２Ｂは、本体部４１Ｂと、板状部材３０Ｂと、ノズル部４３と、配管４５Ｂと、を備えている。給気ダクト２２Ｂは、給気ダクト２２と同様に、例えばＳＵＳ３０４やアルミニウムなどの金属で構成されている。

【0050】

本体部４１Ｂは、略直方体形状（立方体形状を含む）に形成された中空の部材であり、内部に気体が流通可能な第１流路３２Ｂ及び第２流路４２Ｂを有している。本実施形態では、本体部４１Ｂの天井部分は、図５に示すように、上方ほど第１流路３２Ｂの流路断面積が小さくなる形状に一部が傾斜している。第１流路３２Ｂの天井部分の中央には配管４５Ｂが取り付けられている。配管４５Ｂは、炉体１４の天井を貫通しており、給気ファン２１から本体部４１Ｂ（第１流路３２Ｂ）までの気体の流路を形成している。給気ファン２１から供給された気体は配管４５Ｂ内を上から下に流通し、第１流路３２Ｂに向けて流れていく。

【0051】

板状部材３０Ｂは、本体部４１Ｂの内部に配置された部材であり、本体部４１Ｂの内部空間を区画することで、第１流路３２Ｂと第２流路４２Ｂとを区画している。本実施形態では、板状部材３０Ｂは第１流路３２Ｂに面する表面（ここでは上面）が前後左右と平行になるように配置され、本体部４１Ｂの内部を上方の空間（第１流路３２Ｂ）と下方の空間（第２流路４２Ｂ）とに区画している。板状部材３０Ｂは、図４に示すように、本体部４１Ｂの後側の壁を前後に貫通している。本体部４１Ｂの後側の外壁面には接続板３１Ｂがボルトなどで固定されている。この接続板３１Ｂと板状部材３０Ｂとがボルトなどで固定されることで、板状部材３０Ｂは接続板３１Ｂを介して本体部４１Ｂに取り付けされている。板状部材３０Ｂは、本体部４１Ｂの内周面との間の隙間であり第１流路３２からの気体の出口となる第１開口３３Ｂを１以上形成するように配置されている。第１開口３３Ｂは、本体部４１Ｂと板状部材３０Ｂとが第１流路３２の流通方向（上下方向）に垂直な方向に離間していることで形成される隙間である。この第１開口３３Ｂは、図５，６に示すように、長手方向が第２開口４４の長手方向（左右方向）に平行であり板状部材３０Ｂの第２開口４４側（前側）に位置する前側開口３４Ｂと、板状部材３０Ｂの左側に位置する左側開口３５Ｂと、板状部材３０Ｂの右側に位置する右側開口３６Ｂと、を有している。前側開口３４Ｂ，左側開口３５Ｂ，及び右側開口３６Ｂを第１開口３３Ｂと総称する。第１開口３３Ｂは、第１流路３２Ｂと第２流路４２Ｂとを連通させている。第１開口３３Ｂの軸方向（気体の流通方向）は、第１流路３２の流通方向（上下方向）と平行になっている。前側開口３４Ｂは、板状部材３０Ｂの前側に位置していることで、第１流路３２Ｂのうち前側の領域と連通している。言い換えると、第１流路３２Ｂの流通方向に沿って見たときに、前側開口３４Ｂは第１流路３２Ｂのうち前側の領域と重複するように位置している。同様に、左側開口３５Ｂは、第１流路３２Ｂのうち左側の領域と連通している。右側開口３６Ｂは、第１流路３２Ｂのうち右側の領域と連通している。言い換えると、第１流路３２Ｂの流通方向に沿って見たときに、左側開口３５Ｂ及び右側開口３６Ｂは、第１流路３２Ｂのうち左側の領域及び右側の領域とそれぞれ重複するように位置している。また、前側開口３４Ｂと左側開口３５Ｂとは接続されており、前側開口３４Ｂと左側開口３５Ｂとは接続されている。そのため、前側開口３４Ｂ，左側開口３５Ｂ，及び右側開口３６Ｂは全体として１つの開口になっている。左側開口３５Ｂ及び右側開口３６Ｂは、いずれも長手方向が前後方向と平行になっている。前側開口３４Ｂ，左側開口３５Ｂ，右側開口３６Ｂは、いずれも矩形状をしている。左側開口３５Ｂと右側開口３６Ｂとは同じ形状且つ同じ大きさをしており、左右対称になっている。

【0052】

ノズル部４３は、第１実施形態のノズル部４３と同じである。ノズル部４３は、本体部４１Ｂの下端且つ前端に配設されている。ノズル部４３及び第２開口４４は、第１開口３３Ｂよりも下方に位置しており、板状部材３０Ｂよりも下方に位置している。第２開口４４は、第１開口３３Ｂにおける気体の流通方向（上下方向）と垂直な方向（前方向）に向けて本体部４１Ｂの前端側で開口している。第２流路４２Ｂを流通する気体は、第２開口４４から処理空間１４ｂ内に供給される。

【0053】

本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第１開口３３Ｂの流路断面積（開口面積）を面積Ｓ１とし、第２開口４４の流路断面積（開口面積）を面積Ｓ２とし、第１流路３２Ｂの流路断面積を面積Ｓ３とし、第２流路４２Ｂの流路断面積を面積Ｓ４とする。流路が複数の孔で構成されている場合に面積Ｓ１〜Ｓ４をいずれも合計面積とする点も、第１実施形態と同じとする。面積Ｓ３，Ｓ４については流路断面積の最大値とする点や、面積Ｓ４は第２流路４２Ｂのうち第１開口３３Ｂから第２開口４４までの間の気体の経路の中で定める点も、第１実施形態と同じとする。そのため、本実施形態では、面積Ｓ３は、第１流路３２Ｂのうち流路断面積が小さい本体部４１Ｂの天井付近ではなく、板状部材３０Ｂ付近の流路断面積に基づいて定まる（図４参照）。また、面積Ｓ４は、第１実施形態と同様に、本体部４１Ｂ内部の板状部材３０Ｂよりも下方且つノズル部４３よりも上方の空間における流路断面積（流通方向に垂直すなわち前後左右に平行な面の面積）となる（図４参照）。

【0054】

面積Ｓ１〜Ｓ４に関して、本実施形態では、Ｓ３＞Ｓ１となっている。すなわち、第１流路３２Ｂの流路断面積の最大値よりも第１開口３３Ｂの方が流路断面積が小さくなっている。それ以外の面積Ｓ１〜Ｓ４の大小関係については、第１実施形態と同様に適宜調整することができる。なお、本実施形態では、Ｓ１＜Ｓ４とし、Ｓ４＞Ｓ２とし、Ｓ１＞Ｓ２とした。

【0055】

以上詳述した本実施形態の赤外線処理装置１０Ｂによれば、板状部材３０Ｂが存在することにより、本体部４１Ｂ内の第１流路３２Ｂと第２流路４２Ｂとの間に第１流路３２Ｂの流路断面積の最大値よりも流路断面積の小さい第１開口３３Ｂが存在している。これにより、第１流路３２Ｂから第１開口３３Ｂを通過して第２流路４２Ｂに気体が流出する際に、気体の少なくとも一部が板状部材３０Ｂの上面に当たることにより動圧の少なくとも一部が静圧に変換され、気体の流線が整った状態になる。これにより、第２流路４２Ｂを通過して第２開口４４から処理空間１４ｂを流れる風は、風速のばらつきが低減される。

【0056】

また、第２開口４４は、長手方向と短手方向とを有し、第１開口３３Ｂは、長手方向が第２開口４４の長手方向に平行な前側開口３４Ｂを有している。こうすれば、第２開口４４と第１開口３４Ｂとが長手方向が平行であることで、第２開口４４から流出する風は長手方向での風速のばらつきがより低減されやすい。

【0057】

さらに、第２開口４４は、第１開口３３Ｂにおける気体の流通方向（上下方向）と垂直な前方向に向けて本体部４１Ｂの前端側で開口し、長手方向が流通方向（上下方向）及び前方向に垂直な左右方向に沿っている。そして、第１開口３３Ｂは、長手方向が左右方向に平行であり第１流路３２Ｂのうち前側の領域と連通する前側開口３４Ｂと、第１流路のうち左側及び右側の領域とそれぞれ連通する左側開口３５Ｂ及び右側開口３６Ｂと、を有している。これにより、例えば左側開口３５Ｂ及び右側開口３６Ｂを有さない場合と比較して、処理空間１４ｂ内に供給される風の風速のばらつきがより低減される。

【0058】

さらにまた、第２流路４２Ｂは、少なくとも一部が第１開口４４Ｂよりも流路断面積が大きい（Ｓ１＜Ｓ４）。そしてまた、第２開口４４は、第２流路４２Ｂの流路断面積の最大値よりも流路断面積が小さい（Ｓ４＞Ｓ２）ため、処理空間１４ｂ内に供給される風の風速を高くしやすい。

【0059】

そしてまた、赤外線処理装置１０Ｂは、塗膜７７を処理空間１４ｂ内で搬送方向に搬送する搬送装置７０を備え、第２開口４４は、長手方向が搬送方向に垂直且つ塗膜７７の幅方向に平行である。これにより、塗膜７７の幅方向での風速のばらつきが低減されるため、塗膜７７に乾燥の処理むらが生じにくくなる。

【0060】

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

【0061】

例えば、上述した第２実施形態において、板状部材３０Ｂが左右の両側（第２開口４４の長手方向の両側）に突出部を有していてもよい。図７は、変形例の給気ダクト２２Ｂを右上前方から見た斜視図である。図８は、変形例の給気ダクト２２Ｂを上方から断面視した断面図である。この変形例の給気ダクト２２Ｂでは、板状部材３０Ｂは、左側突出部３７Ｂと右側突出部３８Ｂとを備えている。左側突出部３７Ｂ及び右側突出部３８Ｂは、長手方向が前後方向に沿った直方体形状の部材である。左側突出部３７Ｂ及び右側突出部３８Ｂは、板状部材３０Ｂから第１流路３２Ｂ側に突出するように配設されている。左側突出部３７Ｂは、左側開口３５Ｂの右端部に隣接し左側開口３５Ｂにおける気体の流通方向（上下方向）と平行に突出している。右側突出部３８Ｂは、右側開口３６Ｂの左端部に隣接し右側開口３６Ｂにおける気体の流通方向（上下方向）と平行に突出している。なお、図７では、左側突出部３７Ｂ及び右側突出部３８Ｂは下面が板状部材３０Ｂの上面に接するように配置されているが、左側突出部３７Ｂの右面の一部が板状部材３０Ｂの左端面に接するように配置されてもよい。同様に、右側突出部３８Ｂの左面の一部が板状部材３０Ｂの右端面に接するように配置されてもよい。また、左側突出部３７Ｂ及び右側突出部３８Ｂは板状部材３０Ｂと一体的に形成されていてもよい。この変形例の給気ダクト２２Ｂでは、板状部材３０Ｂへ接触せず動圧が静圧に変換されぬまま流出しようとする気体の少なくとも一部が左側突出部３７Ｂ又は右側突出部３８Ｂに当たることよって、更に動圧を静圧に変換することが出来る。そのため、処理空間１４ｂ内に供給される風の風速のばらつきをより低減することが可能となる。

【0062】

上述した第１実施形態では、筒状部材３０は軸方向が第２開口４４の長手方向と平行に配置されているが、特にこれに限られない。例えば、筒状部材３０の軸方向が図１の上下方向と平行であったりしてもよい。また、第１開口３３の長手方向は筒状部材３０の軸方向と平行としたが、特にこれに限られない。また、第１開口３３の長手方向は第２開口４４の長手方向と平行としたが、特にこれに限られない。第１開口３３の数，位置，及び形状も、上述した第１実施形態に限られない。例えば、第１開口３３は長手方向を有しない形状（例えば円形状）であってもよい。例えば、第１開口３３は筒状部材３０の下方（第２流路４２の流通方向と同方向）や上方に開口していてもよい、前後上下から傾斜した方向に開口していてもよい。

【0063】

上述した第１実施形態では、本体部４１は第１開口３３だけでなく筒状部材３０の左端部（フランジ３１の配設された部分から底部３８まで）全体を囲んでいたが、特にこれに限られず、本体部４１は少なくとも第１開口３３を囲んでいればよい。例えば、筒状部材３０の底部３８側の端部が本体部４１を貫通して左側に突出していてもよい。また、上述した第１実施形態では、本体部４１に底部３８が取り付けられていたが、特にこれに限らず、例えば底部３８が本体部４１から離間して本体部４１内に配置されていてもよい。この場合、底部３８の一部に第２流路４２に連通する開口が存在してもよい。なお、第１開口３３は少なくとも筒状部材３０の外周面に配設された開口を有する必要があるが、底部３８にも第２流路４２に連通する開口が存在する場合、この開口も第１開口３３に含めるものとし、この開口の面積も面積Ｓ１に含めるものとする。また、本体部４１の壁部が筒状部材３０の底部３８を兼ねていてもよい。

【0064】

上述した第２実施形態では、第１開口３３Ｂは前側開口３４Ｂ，左側開口３５Ｂ，及び右側開口３６Ｂを備えていたが、特にこれに限られない。これらの１以上を省略してもよいし、第１開口３３Ｂがこれらとは別の開口を備えていてもよい。例えば、第１開口３３Ｂが、板状部材３０Ｂの前後の中央に配設された開口を有していてもよいし、板状部材３０Ｂの後側に位置する開口（第１流路３２Ｂのうち後側の領域と連通する開口）を有していてもよいし、これらの開口と前側開口３４Ｂ，左側開口３５Ｂ，及び右側開口３６Ｂとのうち１以上を有していてもよい。また、第１開口３３Ｂの形状も、矩形状に限らず例えば円形状であってもよい。また、第１開口３３として形成された開口の数も、１以上であれば特に限定されない。例えば前側開口３４Ｂが左右に隣接する２つの開口で構成されていてもよい。

【0065】

上述した第２実施形態では、板状部材３０Ｂは第１流路３２Ｂに面する表面（上面）が前後左右と平行になるように配置されていたが、特にこれに限られない。例えば、板状部材３０Ｂのうち第１流路３２Ｂに面する表面が湾曲していてもよい。また、板状部材３０Ｂのうち第１流路３２Ｂに面する表面は、第１流路３２Ｂの流通方向とのなす角θ１が０°でなければよく、例えば上述した第２実施形態ではなす角θ１が９０°であるが、０°超過９０°以下の範囲で傾斜していればよい。なお、傾斜の向きは特に限定されず、例えば板状部材３０Ｂの前側が下方に向かうように傾斜してもよいし、後側が下方に向かうように傾斜してもよい。

【0066】

上述した第２実施形態では、板状部材３０Ｂは、他の部材（本体部４１Ｂ）との隙間として第１開口３３Ｂを形成していたが、これに限られない。板状部材３０Ｂ自身に第１開口３３Ｂが配設（形成）されていてもよい。また、板状部材３０Ｂは本体部４１とは別の部材としたが、これに限らず、本体部４１と一体的に形成されていてもよい。また、第２実施形態では、板状部材３０Ｂは中身の詰まった中実の板としたが、例えば中空の板であってもよい。

【0067】

上述した第１，第２実施形態では、第２開口４４は長手方向と短手方向を有する矩形状（長方形状）としたが、特にこれに限らず、正方形状であったり円形状であったりしてもよい。また、第２開口４４の開口の軸方向も特に限定されず、例えば軸方向が上下方向に平行であってもよい。この場合、例えばノズル部４３が本体部４１，４１Ｂの下端に配設されていてもよい。また、ノズル部４３は本体部４１，４１Ｂから突出していたが、これに限らず、本体部４１，４１Ｂの壁部に直接に第２開口４４が形成されていてもよい。この場合、本体部４１，４１Ｂの壁部のうち第２開口４４を形成する部分（第２開口４４の周辺部分）の部材がノズル部４３に相当する。

【0068】

上述した第１，第２実施形態では、仕切り板１９により上部空間１４ａと処理空間１４ｂとが区画されていたが、特にこれに限られず、例えば仕切り板１９を省略してもよい。また、赤外線ヒーター６０はいわゆる線状ヒーターとして説明したが、面状ヒーターであってもよい。また、赤外線ヒーター６０は炉体１４内に配置されているが、これに限らず、炉体１４の外側から被処理物に赤外線を放射してもよい。

【0069】

上述した第１，第２実施形態では、赤外線処理装置１０，１０Ｂは搬送装置７０を備えるいわゆる連続炉としたが、これに限られない。例えば、搬送装置７０を備えないバッチ炉としてもよい。また、連続炉の場合も、搬送装置７０はロール７２，７３でシート７５を搬送して塗膜７７を搬送する装置としたが、これに限られない。例えば、搬送装置はベルトコンベアであってもよいし、処理空間１４ｂ内に配置されたローラーであってもよい。

【0070】

上述した第１，第２実施形態では、上述した実施形態では、赤外線処理装置１０，１０Ｂは乾燥を行う装置としたが、これに限らず、赤外線により被処理物を処理する赤外線処理を行う装置であればよい。「赤外線処理」には、蒸発，乾燥，脱水などを含む物理変化をさせる処理や、イミド化などの化学反応をさせる処理、昇温などの温度変化をさせる処理などが含まれる。給気装置２０から処理空間１４ｂに供給する気体も、特に限定されず、例えば被処理物の加熱に用いられる熱風であってもよいし、被処理物と同程度の温度であってもよい。気体の種類についても空気に限らず、例えば不活性ガスなどとしてもよい。

【0071】

上述した第１，第２実施形態では、塗膜７７はＭＬＣＣ用の薄膜として用いられるものとしたが、被処理物はこれに限られず、赤外線処理の対象となる被処理物であればよい。例えば、塗膜７７は、ＬＴＣＣ（低温焼成セラミックス）やその他のグリーンシート用の薄膜として用いるものとしてもよい。あるいは、塗膜７７がリチウムイオン二次電池などの電池用の電極となる塗膜として用いられるものとしてもよい。塗膜７７が電池用の電極となる塗膜である場合、シート７５は、アルミニウムや銅等の金属シートとしてもよい。また、被処理物は、特に塗膜に限られない。

【実施例】

【0072】

以下には、本発明の第１の赤外線処理装置のダクト及び第２の赤外線処理装置のダクトを具体的に作製した例を実施例として説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

【0073】

［実施例１］
図１〜３に示した給気ダクト２２を作製し、給気ファン２１から給気ダクト２２に供給する気体の風量を０．３７０Ｎｍ³／ｍｉｎとした場合を、実施例１とした。実施例１では、筒状部材３０の内径を４７．８ｍｍとした。筒状部材３０のうち本体部４１内部に覆われる部分の軸方向長さは２４０ｍｍとした。第１開口３４〜３７はいずれも長手方向の大きさが１１０ｍｍとし、短手方向の大きさが１５ｍｍとした。本体部４１の内部空間は、前後が７６ｍｍ、上下が１００ｍｍ、左右が２４０ｍｍの直方体形状とした。ノズル部４３の内部空間は、前後が３０ｍｍ、上下が１５ｍｍ、左右が２４０ｍｍとした。第１開口３４〜３７の下端と第２開口４４の上端との上下方向の距離は４０ｍｍとした。給気ダクト２２に供給する気体の温度は２４℃とした。

【0074】

［実施例２〜６］
実施例１と同じ給気ダクト２２を用いて、給気ファン２１から供給する風量を表１のように種々変更した場合を、実施例２〜６とした。

【0075】

［実施例１Ｂ］
図４〜６に示した給気ダクト２２Ｂを作製し、給気ファン２１から給気ダクト２２Ｂに供給する気体の風量を１．３Ｎｍ³／ｍｉｎとした場合を、実施例１Ｂとした。給気ダクト２２Ｂに供給する気体の温度は実施例１〜６と同じく２４℃とした。実施例１Ｂでは、
本体部４１Ｂの内部空間は、前後が５０ｍｍ、上下が７５ｍｍ（底面から天井部分の傾斜面の最下端までの距離）、左右が４６０ｍｍとした。配管４５Ｂの内径は４８．６ｍｍとした。板状部材３０Ｂは前後が４８ｍｍ、左右が３９０ｍｍ、厚さが１ｍｍの板とした。これにより、前側開口３４Ｂの短手方向（前後）の大きさが２ｍｍ、左側開口３５Ｂ及び右側開口３６Ｂの短手方向（左右）の大きさがいずれも３３．５ｍｍとなった。また、本体部４１Ｂの内部空間の底面から板状部材３０Ｂまでの上下の距離は４６ｍｍとした。ノズル部４３の内部空間は、前後が３０ｍｍ、上下が１５ｍｍ、左右が４６０ｍｍとした。

【0076】

［実施例２Ｂ］
板状部材３０Ｂの前後の長さを小さくして前側開口３４Ｂの短手方向（前後）の大きさを７ｍｍとした点以外は実施例１Ｂと同様の給気ダクト２２Ｂを実施例２Ｂとした。

【0077】

［実施例３Ｂ］
図７，８に示した変形例の給気ダクト２２Ｂを作製し、実施例３Ｂとした。実施例３Ｂは、板状部材３０Ｂが左側突出部３７Ｂ及び右側突出部３８Ｂを備える点以外は実施例２Ｂと同じとした。左側突出部３７Ｂ及び右側突出部３８Ｂの突出高さは１０ｍｍとした。

【0078】

［比較例１］
板状部材３０Ｂを備えない点以外は実施例１Ｂと同様のダクトを作製し、比較例１とした。

【0079】

［風速のばらつきの評価］
比較例１，実施例１〜６，実施例１Ｂ〜３Ｂについて、風速を測定して風速のばらつきを評価した。風速の測定は、カノマックス社製の中高温用アネモマスター風速計（Model 6162）を用いて行った。実施例１〜６では、測定箇所は、第２開口４４から前方に１０ｍｍ離れた位置とし、第２開口４４の左端付近（第２開口４４の左端から右に１０ｍｍの位置），中央，右端付近（第２開口４４の右端から左に１０ｍｍの位置）の３箇所で測定した。比較例１及び実施例１Ｂ〜３Ｂでは、測定箇所は、第２開口４４から前方に１０ｍｍ離れた位置とし、第２開口４４の左端付近（第２開口４４の左端から右に３０ｍｍの位置），左（左端付近と中央との中間点），中央，右（右端付近と中央との中間点），右端付近（第２開口４４の右端から左に３０ｍｍの位置）の５箇所で測定した。比較例１，実施例１〜６，実施例１Ｂ〜３Ｂの各々について、測定した風速の平均値を導出し、変動係数（％）（＝標準偏差／平均値×１００）を導出した。変動係数が小さいほど、風速のばらつきが小さいことを意味する。

【0080】

比較例１，実施例１〜６，実施例１Ｂ〜３Ｂの各々について、風量，測定した風速，風速の平均値，及び風速の変動係数を表１にまとめて示す。

【0081】

【表1】

【0082】

表１に示すように、実施例１〜６，実施例１Ｂ〜３Ｂのいずれについても、比較例１と比べて変動係数が小さくなっており、風速のばらつきが低減されていた。実施例１〜６は、実施例１Ｂ〜３Ｂのいずれと比較しても風速のばらつきがより低減されていた。実施例１Ｂ〜３Ｂのうち、左側突出部３７Ｂ及び右側突出部３８Ｂを有する実施例３Ｂは、これらを有しない実施例１Ｂ，２Ｂと比較して風速のばらつきがより低減されていた。

【符号の説明】

【0083】

１０ 赤外線処理装置、１４ 炉体、１４ａ 上部空間、１４ｂ 処理空間、１５ 前端面、１６ 後端面、１７，１８ 開口、１９ 仕切り板、２０ 給気装置、２１ 給気ファン、２２ 給気ダクト、３０ 筒状部材、３１ フランジ、３２ 第１流路、３３，３４〜３７ 第１開口、３８ 底部、４１ 本体部、４２ 第２流路、４３ ノズル部、４４ 第２開口、５０ 排気装置、５１ 排気ファン、５２ 排気ダクト、５４ 排気口、６０ 赤外線ヒーター、６１ フィラメント、６２ 内管、６３ ヒーター本体、６４ 外管、６５ 反射層、６６ 冷媒流路、７０ 搬送装置、７２，７３ ロール、７５ シート、７７ 塗膜、８０ 制御装置、１０Ｂ 赤外線処理装置、２０Ｂ 給気装置、２２Ｂ 給気ダクト ３０Ｂ 板状部材、３１Ｂ 接続板、３２Ｂ 第１流路、３３Ｂ 第１開口、３４Ｂ 前側開口、３５Ｂ 左側開口、３６Ｂ 右側開口、３７Ｂ 左側突出部、３８Ｂ 右側突出部、４１Ｂ 本体部、４２Ｂ 第２流路、４５Ｂ 配管。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】