特許 6707758 マルチポイントダイヤモンドツール及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6707758

(24)【登録日】2020年5月25日

(45)【発行日】2020年6月10日

(54)【発明の名称】マルチポイントダイヤモンドツール及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   B28D 5/00 20060101AFI20200601BHJP

   C03B 33/10 20060101ALI20200601BHJP

   B28D 5/04 20060101ALI20200601BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20200601BHJP

【ＦＩ】

   B28D5/00 Z

   C03B33/10

   B28D5/04 A

   H01L21/78 G

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2016-129977(P2016-129977)

(22)【出願日】2016年6月30日

(65)【公開番号】特開2018-1536(P2018-1536A)

(43)【公開日】2018年1月11日

【審査請求日】2019年5月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】390000608

【氏名又は名称】三星ダイヤモンド工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120341

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 幹雄

(74)【代理人】

【識別番号】100084364

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 宜喜

(72)【発明者】

【氏名】曽山 浩

【審査官】 山下 浩平

(56)【参考文献】

【文献】 実公昭４１−００３１６９（ＪＰ，Ｙ１）

【文献】 実開昭６０−１１３８０４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００５−０８８４５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／００８９３０４（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許第０３６８０２１３（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２１Ｄ １／００ − ７／０４

Ｃ０３Ｂ ３３／０２７、３３／１０

Ｈ０１Ｌ ２１／７８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の厚さを有する角柱状であって、２つの側面と複数の外周面を有するベースと、
少なくとも１つの相隣り合う一対の外周面と一方の側面との間に設けられ、前記一対の外周面を傾斜させた第１，第２の傾斜面と、
前記第１，第２の傾斜面の交線である第１の稜線と、
前記一対の外周面と前記第１，第２の傾斜面との間に設けられた第１の天面と、
前記相隣り合う一対の外周面と他方の側面との間に形成され、前記一対の外周面を傾斜させた第３，第４の傾斜面と、
前記第３，第４の傾斜面の交線である第２の稜線と、
前記一対の外周面と前記第３，第４の傾斜面との間に設けられた第２の天面と、を有し、
前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、
前記第１の天面と前記第１の稜線との交点及び前記第２の天面と前記第２の稜線との交点をポイントとするマルチポイントダイヤモンドツール。

【請求項2】

請求項１記載のマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法であって、
少なくとも１つの相隣り合う一対の外周面の間に第１の天面を形成し、
前記一対の外周面及び前記第１の天面と一方の側面との間に、前記一対の外周面を傾斜させるように研磨して第１，第２の傾斜面を形成し、
前記一対の外周面の間に第２の天面を形成し、
前記一対の外周面及び前記第２の天面と他方の側面との間に、前記一対の外周面を傾斜させるように研磨して第３，第４の傾斜面を形成するマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はガラス基板やシリコンウエハ等の脆性材料基板をダイヤモンドポイントによってスクライブするためのマルチポイントダイヤモンドツール及びその製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来ガラス基板やシリコンウエハをスクライブするために、スクライビングホイールや単結晶ダイヤモンドによるダイヤモンドポイントを用いたツールが用いられている。ガラス基板に対しては、主に基板に対して転動させるスクライビングホイールが用いられてきたが、スクライブ後の基板の強度が向上するなどの利点より、固定刃であるダイヤモンドポイントの使用も検討されてきている。特許文献１，２にはサファイアウエハやアルミナウエハ等の硬度の高い基板をスクライブするためのポイントカッターが提案されている。これらの特許文献には、角錐の稜線上にカットポイントを設けたツールや、先端が円錐になったツールが用いられている。又特許文献３にはガラス板をスクライブするために円錐形の先端を有するガラススクライバを用いたスクライブ装置が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３−１８３０４０号公報

【特許文献2】特開２００５−０７９５２９号公報

【特許文献3】特開２０１３−０４３７８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の固定刃であるツールでスクライブを進めていくとポイントが摩耗するため、ポイントを変更する必要がある。角錐形や円錐形のツールでは使用可能なポイントとなる頂点は２箇所又は最大で４箇所である。従って２箇所又は４箇所のポイントを変更するとツールを交換する必要があり、交換頻度が高くなるという問題点があった。また、ツールによるスクライブにおいては、ポイントが基板に対して適切な角度で接触する必要がある。しかし、従来のツールでは、ポイントを変更する場合ツールを軸方向に回転させる必要があり、この接触角度を精度良く設定することが容易ではなかった。

【0005】

そこで図１に示すように角柱状のツールの各頂点に側方より隣り合う２面の外周面に向けて研磨して傾斜面を形成し、稜線と傾斜面との交点をポイントＰ１，Ｐ２・・・としたスクライビングツール１００が考えられる。このようなスクライビングツールを用い、図１（ａ）に示すように稜線を先行させ傾斜面である天面を後方としてポイントＰ１を基板１０１に押し当ててスクライブする場合には、基板１０１の端部を通過するようにスクライブする、いわゆる外切りで基板１０１にスクライブを終了した場合であっても他方のポイントＰ２には損傷を与えることはない。

【0006】

しかし図１（ｂ）に示すように、ポイントＰ２を用いて天面を先行させ稜線を後方とするように前方に傾けて外切りスクライブをする場合には、外切りを終了したときに使用していないポイントＰ１も基板１０１の面に接触し損傷する可能性があるという問題点がある。

【0007】

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブに使用しているポイントが摩耗しても容易にポイント位置を変更して交換頻度を少なくすることができ、スクライブを外切りで終了した場合もツールの他のポイントに損傷を与えることのないダイヤモンドツール及びその製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは、所定の厚さを有する角柱状であって、２つの側面と複数の外周面を有するベースと、少なくとも１つの相隣り合う一対の外周面と一方の側面との間に設けられ、前記一対の外周面を傾斜させた第１，第２の傾斜面と、前記第１，第２の傾斜面の交線である第１の稜線と、前記一対の外周面と前記第１，第２の傾斜面との間に設けられた第１の天面と、前記相隣り合う一対の外周面と他方の側面との間に形成され、前記一対の外周面を傾斜させた第３，第４の傾斜面と、前記第３，第４の傾斜面の交線である第２の稜線と、前記一対の外周面と前記第３，第４の傾斜面との間に設けられた第２の天面と、を有し、前記ベースの少なくとも外周面がダイヤモンドで形成されており、前記第１の天面と前記第１の稜線との交点及び前記第２の天面と前記第２の稜線との交点をポイントとするものである。

【0009】

この課題を解決するために、本発明のマルチポイントダイヤモンドツールの製造方法は、少なくとも１つの相隣り合う一対の外周面の間に第１の天面を形成し、前記一対の外周面及び前記第１の天面と一方の側面との間に、前記一対の外周面を傾斜させるように研磨して第１，第２の傾斜面を形成し、前記一対の外周面の間に第２の天面を形成し、前記一対の外周面及び前記第２の天面と他方の側面との間に、前記一対の外周面を傾斜させるように研磨して第３，第４の傾斜面を形成するものである。

【発明の効果】

【0010】

このような特徴を有する本発明によれば、ダイヤモンドツールの側面の両側にポイントを設けることができる。従って１つのポイントが摩耗しても別の新たなポイントを使用することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができるという効果が得られる。又天面を先とし、稜線を後となるようにダイヤモンドツールを走行させてスクライブし、スクライブを外切りで終了した場合であっても、ダイヤモンドツールの他のポイントに損傷を与えることがないという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は角柱状で幅方向に２つのポイントを持つダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図である。

【図2】図２は本発明の第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの正面図及び側面図である。

【図3】図３は本発明の第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの製造過程の一部分を示す拡大図である。

【図4】図４は本発明の第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの製造過程の一部分を示す拡大図である。

【図5】図５は本発明の第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの主要部を示す拡大図である。

【図6】図６は第１の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールを用いたスクライブを示す側面図である。

【図7】図７は本発明の第２の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの正面図及び側面図である。

【図8】図８は本発明の第３の実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツールの平面図、正面図及び側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

次に本発明の第１の実施の形態について説明する。図２は本実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツール（以下、単にダイヤモンドツールという）１０の一例を示す正面図及び側面図、図５と図３（ｂ），図４（ｂ）は図２（ａ），（ｂ）に夫々円形で示した部分の拡大図である。このダイヤモンドツール１０は一定の厚さで任意の数の辺から成る多角形の角柱をベース１１とする。この実施の形態では、一定厚さの正四角形のベース１１を単結晶ダイヤモンドにより構成している。ベース１１は厚さ方向（図２（ａ）については紙面に垂直な軸）に平行な四方の外周面１３ａ〜１３ｄと、軸に垂直な側面１４ａ，１４ｂを有している。

【0013】

さて本実施の形態では、ベース１１に対して図３（ａ）に示すように、相隣り合う一対の外周面１３ａ，１３ｂでなす稜線よりベース１１の厚みの右側を一方の側面１４ａに向けて研磨することで、第１の天面１５ａを形成する。このときベース１１の外周面１３ａ，１３ｂと天面１５ａとの成す角がそれぞれ等しくなるように 研磨することが好ましい。同様に相隣り合う一対の外周面１３ｂ，１３ｃでなす稜線より側面１４ａに向けて研磨することで天面１５ｂを形成する。残りの外周面１３ｃ，１３ｄ及び１３ｄ，１３ａについても同様にして天面１５ｃ及び１５ｄを形成する。天面１５ａ〜１５ｄを先に形成することで、スクライブにおいて適切な天面の幅、例えば後述するポイント部分において４０μｍ以上の幅を確保することが容易になる。

【0014】

そして図３（ｂ）に示すように天面１５ａと側面１４aの交差する領域を外周面１３ａに向けて研磨して第１の傾斜面１６ａを形成する。又天面１５ａと外周面１３ｂ及び側面１４ａの交差する領域を外周面１３ｂに向けて研磨して第２の傾斜面１７ａを形成する。そして図５（ｂ）に示すように、この傾斜面１６ａ，１７ａの交線を第１の稜線１８ａとする。

【0015】

天面１５ｂについても天面１５ｂと側面１４ａの交差する領域を外周面１３ｂ，１３ｃに向けて同様にして研磨して第１，第２の傾斜面１６ｂ，１７ｂを形成し、その交線を第１の稜線１８ｂとする。更に天面１５ｃと側面１４ａの交差する領域を外周面１３ｃ，１３ｄに向けて研磨して第１，第２の傾斜面１６ｃ，１７ｃを形成し、その交線を第１の稜線１８ｃとする。天面１５ｄについても同様にして第１，第２の傾斜面１５ｄ，１６ｄと第１の稜線１８ｄを形成する。

【0016】

このような天面及び傾斜面はレーザ加工又は機械加工によって容易に形成することができる。また、レーザ加工の後にさらに機械研磨を行い、さらに精密な研磨面としてもよい。

【0017】

こうすれば第１の天面１５ａ〜１５ｄと第１の稜線１８ａ〜１８ｄとの交点をポイントとして、図２（ｂ）に示すようにベースの側面視において右側に４つのポイントＰ１〜Ｐ４を形成することができる。

【0018】

次にベース１１に対して図４（ａ）に示すように相隣り合う一対の外周面１３ａ，１３ｂでなす稜線よりベース１１の左側を他方の側面１４ｂに向けて研磨することで天面１９ａを形成する。このときベース１１の外周面１３ａ，１３ｂと天面１９ａとの成す角が等しくなるように研磨することが好ましい。同様に相隣り合う一対の外周面１３ｂ，１３ｃでなす稜線より側面１４ｂに向けて研磨することで天面１９ｂを形成する。残りの外周面１３ｃ，１３ｄ及び１３ｄ，１３ａについても同様にして天面１９ｃ及び１９ｄを形成する。天面１９ａ〜１９ｄを先に形成することで、スクライブにおいて適切な天面の幅、例えばポイント部分において４０μｍ以上の幅を確保することが容易になる。

【0019】

そして図４（ｂ）に示すように天面１９ａと側面１４ｂの交差する領域を外周面１３ａに向けて研磨して第３の傾斜面２０ａを形成する。又天面１９ａと外周面１３ｂ及び側面１４ａの交差する領域を外周面１３ｂに向けて研磨して第４の傾斜面２１ａを形成する。そして図５に示すように、この傾斜面２０ａ，２１ａの交線を第２の稜線２２ａとする。

【0020】

天面１９ｂについても天面１９ｂと側面１４ｂの交差する領域を外周面１３ｂ，１３ｃに向けて同様にして研磨して第３，第４の傾斜面２０ｂ，２１ｂを形成し、その交線を第２の稜線２２ｂとする。更に天面１９ｃと側面１４ｂの交差する領域を外周面１３ｃ，１３ｄに向けて研磨して第３，第４の傾斜面２０ｃ，２１ｃを形成し、その交線を第２の稜線２２ｃとする。天面１９ｄについても同様にして第３，第４の傾斜面２０ｄ，２１ｄと第２の稜線２２ｄを形成する。

【0021】

こうすれば第２の稜線２２ａ〜２２ｄと第２の天面１９ａ〜１９ｄとの交点をポイントとして図２（ｂ）に示すようにベースの側面視において左側に４個のポイントＰ５〜Ｐ８を形成することができる。このように天面の端部をポイントＰ１〜Ｐ８とすることで、四角形のダイヤモンドツール１０について外周に合計で８箇所のポイントを形成することができる。

【0022】

次にこの実施の形態のダイヤモンドツール１０を用いてスクライブする場合について、図６を用いて説明する。基板３０をスクライブする際には、図６（ａ）に示すように稜線と基板３０に対するダイヤモンドツール１０の角度が垂直から反時計方向となるようにダイヤモンドツール１０をわずかに傾け、１つのポイントＰ１を基板３０に対して接するように固定してダイヤモンドツール１０を図示の矢印Ａ方向に移動させ、スクライブを行う。このときポイントＰ１に接する天面１５ａが進行方向となり、稜線１８ａが後方となるようにスクライブを行う。このスクライブの間にダイヤモンドツール１０は転動させることなく、同じポイントＰ１でスクライブする。そして基板３０の端部までダイヤモンドツールを走行させて外切りでスクライブを終了しても、他のポイントＰ５は先行しているため、ダイヤモンドツール１０が基板３０の位置から図示のように離れても他のポイントＰ５を損傷することはない。

【0023】

このように、天面を先行させて稜線が後となるようにスクライブを行う場合には、スクライブ荷重など種々の条件を比較的広い範囲でとることができ、有効である。又基板に垂直クラックを伴わずにスクライブラインを形成し、その後、外切りでスクライブを終了させることで基板の端部を基点としてスクライブラインの下方にクラックを浸透させることもできる。本実施の形態によればこの場合にも他のポイントに損傷を与えることなく、スクライブの終端において外切りが実行できる。なお、この場合には図６（ａ）に示すように基板の端部から離れた部分からスクライブを開始することが好ましい。

【0024】

又ここでは図６（ａ）に示すように天面を先行させ稜線を後となるようにスクライブしているが、図６（ｂ）に示すようにダイヤモンドツール１０を逆方向に傾け、ポイントＰ５を用いてスクライブしてよいことはいうまでもない。この場合にはポイントＰ１が損傷する可能性があるので、外切りでスクライブを終了させないようにすることが好ましい。

【0025】

基板３０に接しているポイントＰ１が摩耗により劣化した場合には、多角形の回転中心を中心にダイヤモンドツール１０を９０°回転させ、隣接するポイントＰ２を基板３０に接触させて同様にしてスクライブを行う。この場合も天面１５ｂが進行方向となり、稜線１８ｂが後方となるようにスクライブを行う場合に、外切りでスクライブを終了してもポイントＰ６を損傷することがない。又ダイヤモンドツール１０を９０°回転させても、刃先の稜線が基板に接触する角度は変わらないため、ポイント交換時の基板に対する接触角度を設定することが容易である。

【0026】

又ポイントＰ１〜Ｐ４の４箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール１０を反転させ、稜線と脆性材料基板との所定の角度となるよう再度固定して他方の側面のポイントＰ５〜Ｐ８を順次接触させてスクライブを行う。こうすれば更に４回ポイント位置を変化させてスクライブを行うことができ、合計８回ポイントを使用してスクライブを行うことができる。なお、ポイントを使用する順番はこれに限られるものではなく、ポイントＰ１を用いたあと、図示を省略するダイヤモンドツール１０を保持するツールホルダを１８０°回転させて他方の側面のポイントＰ５を用いるようにしてもよい。

【0027】

次に本発明の第２の実施の形態について図７を用いて説明する。図７は本実施の形態によるマルチポイントダイヤモンドツール（以下、単にダイヤモンドツールという）４０の一例を示す正面図及び側面図である。このダイヤモンドツール４０は回転対称の多角形を六角形とし、各頂点部分に第１の実施の形態と同様に一対のポイントを形成したものである。この実施の形態では、一定厚さの正六角形のベース４１を単結晶ダイヤモンドにより構成している。ベース４１は厚さ方向に垂直な軸（図７（ａ）については紙面に垂直な軸）に平行な六方の外周面４３ａ〜４３ｆと、軸に垂直な側面４４ａ，４４ｂを有している。

【0028】

さて本実施の形態では、ベース４１に対して相隣り合う一対の外周面４３ａ，４３ｂでなす稜線よりベース１１の一方の側面４４ａに向けて研磨することで、第１の天面４５ａを形成する。このときベース４１の外周面４３ａ，４３ｂと天面４５ａとの成す角が等しくなるように研磨することが好ましい。同様に相隣り合う一対の外周面４３ｂ，４３ｃでなす稜線より側面４４ａに向けて研磨することで天面４５ｂを形成する。残りの外周面４３ｃと４３ｄ、４３ｄと４３ｅ、４３ｅと４３ｆ、４３ｆと４３ａについても同様にして天面４５ｃ〜４５ｆを形成する。天面４５ａ〜４５ｆを先に形成することでポイント部分において例えば４０μｍ以上の幅を確保することが容易になる。

【0029】

そして天面４５ａと側面４４aの交差する領域を外周面４３ａに向けて研磨して第１の傾斜面４６ａを形成する。又天面４５ａと側面４４ａの交差する領域を外周面４３ｂに向けて研磨して第２の傾斜面４７ａを形成する。そして図７（ｂ）に示すように、この傾斜面４６ａ，４７ａの交線を第１の稜線４８ａとする。

【0030】

同様にして天面４５ｂについても天面４５ｂと側面４４ａの交差する領域を外周面４３ｂ，４３ｃに向けて隣り合う領域を研磨して第１，第２の傾斜面４６ｂ，４７ｂを形成し、その交線を稜線４８ｂとする。更に天面４５ｃと側面４４ａの交差する領域を外周面４３ｃ，４３ｄに向けて研磨して第１，第２の傾斜面４６ｃ，４７ｃを形成し、その交線を稜線４８ｃとする。天面４５ｄについても同様にして第１，第２の傾斜面４５ｄ，４６ｄと稜線４８ｄを形成する。天面４５ｅについても同様にして第１，第２の傾斜面４５ｅ，４６ｅと稜線４８ｅを形成し、天面４５ｆについても同様にして第１，第２の傾斜面４５ｆ，４６ｆと稜線４８ｆを形成する。

【0031】

そして第１の天面４５ａ〜４５ｆと第１の稜線４８ａ〜４８ｆとの交点をポイントとして、図７（ｂ）に示すようにベースの側面視において右側に６つのポイントＰ１〜Ｐ６を形成することができる。

【0032】

次にベース４１に対して図３（ｂ）に示すように相隣り合う一対の外周面４３ａ，４３ｂでなす稜線よりベース４１の他方の側面４４ｂに向けて研磨することで天面４９ａを形成する。このときベース４１の外周面４３ａ，４３ｂと天面４９ａとの成す角が等しくなるように研磨することが好ましい。同様に相隣り合う一対の外周面４３ｂ，４３ｃでなす稜線より側面４４ｂに向けて研磨することで天面４９ｂを形成する。残りの外周面４３ｃ，４３ｄ及び４３ｄ，４３ａについても同様にして天面４９ｃ及び４９ｄを形成する。天面４９ａ〜４９ｄは先に形成することでポイント部分において例えば４０μｍ以上の幅を確保することが容易になる。

【0033】

そして図７に示すように天面４９ａと側面４４ｂの交差する領域を外周面４３ａに向けて研磨して第３の傾斜面５０ａを形成する。又天面４９ａと側面４４ｂの交差する領域を外周面４３ｂに対向け研磨して第４の傾斜面５１ａを形成する。そして図５（ｂ）に示すように、この傾斜面５０ａ，５１ａの交線を第２の稜線５２ａとする。

【0034】

同様にして天面４９ｂについても天面４９ｂと側面４４ｂの交差する領域を外周面４３ｂ，４３ｃに向けて研磨して第３，第４の傾斜面５０ｂ，５１ｂを形成し、その交線を第２の稜線５２ｂとする。更に天面４９ｃと側面４４ｂの交差する領域を外周面４３ｃに向けて研磨して第３，第４の傾斜面５０ｃ，５１ｃを形成し、その交線を稜線５２ｃとする。天面４９ｄについても同様にして第３，第４の傾斜面５０ｄ，５１ｄと稜線５２ｄを形成する。その他の天面についても同様に傾斜面と稜線を形成する。こうすれば各稜線５２ａ〜５２ｆと第２の天面４９ａ〜４９ｆとの交点を夫々ポイントとして図２（ｂ）に示すようにベースの側面視において左側に６個のポイントＰ７〜Ｐ１２を形成することができる。このように天面の端部をポイントＰ１〜Ｐ１２とすることで、六角形のダイヤモンドツール４０について外周に合計で１２箇所のポイントを形成することができる。

【0035】

このダイヤモンドツール４０を用いてスクライブする際には、１つのポイントＰ１を基板３０に接触させてスクライブを行う。そしてこのポイントが摩耗した場合には、前述した実施の形態と同様にダイヤモンドツール３０を図示しない中心軸に対して６０°回転させ、隣接するポイントを接触させてスクライブを行う。

【0036】

又ポイントＰ１〜Ｐ６の６箇所のポイントが全て摩耗すると、ダイヤモンドツール４０を反転させ、他方の側面のポイントＰ７〜Ｐ１２を順次接触させてスクライブを行う。こうすれば更に６回ポイント位置を変化させてスクライブを行うことができ、合計１２回ポイントを使用してスクライブを行うことができる。

【0037】

次に本発明の第３の実施の形態について説明する。前述した第１の実施の形態では正四角形、第２の実施の形態では正六角形のベースを用いているが、任意の辺数の多角形をベースとしてもよい。また夫々のベースの周囲に８箇所又は１２箇所のポイントを設けているが、少なくとも多角形の１つの角において、対向する両側面にそれぞれ１個のポイントを有するものであればよい。第３の実施の形態では、図８に示すように三角形のベース６１を用いている。ベース６１は軸に垂直な三方の外周面６３ａ，６３ｂ，６３ｃと側面６４ａ，６４ｂを有している。そして一対の外周面６３ａ，６３ｂと側面６４ａとの間に前述した第１，第２の実施の形態と同様に、第１の天面６５，第１の傾斜面６６，第２の傾斜面６７と、第１の稜線６８を形成する。又外周面６３ａ，６３ｂと側面６４ｂとの間に第２の天面６９，第３の傾斜面７０，第４の傾斜面７１，第２の稜線７２を形成する。こうすれば２つのポイントＰ１，Ｐ２のみを有するダイヤモンドツール６０を形成することができる。

【0038】

第１の実施の形態では四角形、第２の実施の形態では六角形の夫々のベースの周囲に８箇所又は１２箇所のポイントを設けているが、必ずしも全ての角に傾斜面とポイントを設ける必要はない。しかし隣接するポイントが互いに干渉しない範囲で、外周部にはなるべく多くのポイントを設けておくことが好ましい。又、これ以外の任意の辺数の多角形をベースとして構成することができる。例えば正八角形として１６箇所のポイントを設けるようにしてもよい。これにより各ポイントが摩耗したときダイヤモンドツールを回転させるだけでポイントを交換することができ、ダイヤモンドツールの交換頻度を少なくすることができる。

【0039】

又前述した実施の形態ではベース全体を単結晶ダイヤモンドで構成しているが、脆性材料基板に接触する表面部分にダイヤモンド層があれば足りるため、超硬合金や焼結ダイヤモンド製のベースの外周面および側面の端部分の表面に多結晶ダイヤモンド層を形成してこれに傾斜面を形成してもよい。また、ボロン等の不純物をドープし、導電性を持たせた単結晶または多結晶ダイヤモンドを使用してもよい。導電性を有するダイヤモンドを用いることで、放電加工により側面、外周面、天面および第１、第２の傾斜面を容易に形成することができる。

【産業上の利用可能性】

【0040】

本発明のマルチポイントダイヤモンドツールは脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に用いることができ、特にダイヤモンドツールの摩耗が多くなる硬度の高いスクライブ対象にも有効に使用することができる。

【符号の説明】

【0041】

１０，４０，６０ マルチポイントダイヤモンドツール
１１，４１，６１ ベース
１３ａ〜１３ｄ，４３ａ〜４３ｆ，６３ａ〜６３ｃ 外周面
１４ａ，１４ｂ，４４ａ，４４ｂ，６４ａ，６４ｂ 側面
１５ａ〜１５ｄ，４５ａ〜４５ｆ，６５ 第１の天面
１６ａ〜１６ｄ，４６ａ〜４６ｆ，６６ 第１の傾斜面
１７ａ〜１７ｄ，４７ａ〜４７ｆ，６７ 第２の傾斜面
１８ａ〜１８ｄ，４８ａ〜４８ｆ，６８ 第１の稜線
１９ａ〜１９ｄ，４９ａ〜４９ｆ，６９ 第２の天面
２０ａ〜２０ｄ，５０ａ〜５０ｆ，７０ 第３の傾斜面
２１ａ〜２１ｄ，５１ａ〜５１ｆ，７１ 第４の傾斜面
２２ａ〜２２ｄ，５２ａ〜５２ｆ，７２ 第２の稜線
Ｐ１〜Ｐ１２ ポイント

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】