特許 6707963 位置決め装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6707963

(24)【登録日】2020年5月25日

(45)【発行日】2020年6月10日

(54)【発明の名称】位置決め装置

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20200601BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20200601BHJP

   F16J 15/40 20060101ALI20200601BHJP

【ＦＩ】

   G03F7/20 501

   G03F7/20 521

   H01L21/68 K

   F16J15/40 Z

【請求項の数】11

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2016-79623(P2016-79623)

(22)【出願日】2016年4月12日

(65)【公開番号】特開2017-191173(P2017-191173A)

(43)【公開日】2017年10月19日

【審査請求日】2019年2月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004204

【氏名又は名称】日本精工株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中村 剛

【審査官】 右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−０８５２９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３３１９３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−０１７５４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１６６６２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０８５３４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−１９１１７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｊ １５／４０−１５／４５３

Ｆ１６Ｊ １５／５４−１５／５６

Ｇ０３Ｆ ７／２０−７／２４

Ｇ０３Ｆ ９／００−９／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７

Ｈ０１Ｌ ２１／３０

Ｈ０１Ｌ ２１／４６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

筐体に囲まれた第１空間と、前記第１空間と異なる第２空間とを区切る板状部材と、
前記第１空間に配置され、前記板状部材に設けられた孔部を覆うとともに、前記板状部材の前記第１空間側の面と隙間を有して対向し、前記板状部材の前記第１空間側の面と平行な面内に移動可能に設けられたステージと、
前記第２空間に配置される駆動機構と、
前記板状部材の前記孔部に挿通され、前記ステージと前記駆動機構とを連結する連結軸と、
前記板状部材の前記孔部よりも外側において前記隙間に開口して、前記隙間に気体を供給することにより、前記第２空間から前記第１空間に向かう方向に前記気体を前記第１空間側に流入させる給気部と、を有する位置決め装置。

【請求項2】

板状部材と、
前記板状部材の第１空間側に設けられ、前記板状部材と隙間を有して対向するとともに、前記板状部材の前記第１空間側の面と平行な面内に移動可能に設けられたステージと、
前記ステージに連結された駆動機構と、を有し、
前記板状部材の前記第１空間側の面に垂直な方向で、前記板状部材、前記ステージ、前記駆動機構の順に設けられ、
前記隙間に開口して、前記隙間に気体を供給することにより、前記板状部材と前記ステージとの間の前記第１空間と、前記第１空間の外側の第２空間との間を封止するとともに、前記第２空間から前記第１空間に向かう方向に前記気体を前記第１空間側に流入させる給気部と、を有する位置決め装置。

【請求項3】

前記給気部は、前記孔部の周りにスリット状に設けられている請求項１に記載の位置決め装置。

【請求項4】

前記隙間は、前記給気部よりも前記第１空間側の第１隙間と、前記給気部よりも前記第２空間側の第２隙間とを含む請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の位置決め装置。

【請求項5】

前記気体は、前記第１隙間を通って前記第１空間に流入するとともに、前記第２隙間を通って前記第２空間に流入する請求項４に記載の位置決め装置。

【請求項6】

前記第１隙間の間隔は、前記第２隙間の間隔よりも大きい請求項４に記載の位置決め装置。

【請求項7】

前記板状部材は、前記ステージ側に突出する突出部が設けられている請求項３から請求項６のいずれか１項に記載の位置決め装置。

【請求項8】

前記突出部は、環状に設けられる請求項７に記載の位置決め装置。

【請求項9】

前記突出部の径方向の外側の面と第３隙間を有して対向するシール部材が設けられ、
前記給気部は、前記第３隙間を含む請求項７又は請求項８に記載の位置決め装置。

【請求項10】

前記第３隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも小さく、かつ、前記第２隙間の間隔よりも小さい請求項９に記載の位置決め装置。

【請求項11】

前記シール部材と前記ステージとの間に前記第１隙間が設けられ、前記突出部と前記ステージとの間に前記第２隙間が設けられる請求項９又は請求項１０に記載の位置決め装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、位置決め装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置、工作機械又は半導体製造装置には、真空雰囲気や特殊ガス雰囲気のプロセス室内でステージを回転させる回転機構や、ステージをスライド移動させる位置決め装置が用いられる。下記特許文献１には、真空室を囲み、開口が設けられた壁と、この開口をシールする摺動シールプレートとを有するリソグラフィ装置（位置決め装置）が記載されている。特許文献１では、壁と摺動シールプレートとの隙間に高圧の気体を供給して、隙間部分に高圧領域を発生させることで、壁と摺動シールプレートとの間が非接触でシールされる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０００−３３１９３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

例えば、蒸着装置等のガス置換環境でワークの位置決めを行う場合や、アディティブマニュファクチャリングに代表される粉塵が舞う環境内でワークの位置決めを行う場合がある。このような位置決め装置において、ワークの位置決めを行う空間の気体が外部に流出すると、ワークの位置決めを行うための駆動機構に不具合が生じる可能性がある。特許文献１は、隙間に供給された気体を排出する排気通路が設けられているが、構成が煩雑になり、また、ワークの位置決めを行う空間が異物環境である場合は、排気通路で目詰まりする可能性がある。

【0005】

本発明は、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行う空間の気体が外部に流出することを抑制可能な位置決め装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係る位置決め装置は、筐体に囲まれた第１空間と、前記第１空間と異なる第２空間とを区切る板状部材と、前記第１空間に配置され、前記板状部材に設けられた孔部を覆うとともに、前記板状部材の前記第１空間側の面と隙間を有して対向し、前記板状部材の前記第１空間側の面と平行な面内に移動可能に設けられたステージと、前記第２空間に配置される駆動機構と、前記板状部材の前記孔部に挿通され、前記ステージと前記駆動機構とを連結する連結軸と、前記板状部材の前記孔部よりも外側において前記隙間に開口して、前記隙間に気体を供給することにより、前記第２空間から前記第１空間に向かう方向に前記気体を前記第１空間側に流入させる給気部と、を有する。

【0007】

本発明の一態様に係る位置決め装置は、板状部材と、前記板状部材の第１空間側に設けられ、前記板状部材と隙間を有して対向するとともに、前記板状部材の前記第１空間側の面と平行な面内に移動可能に設けられたステージと、前記ステージに対し前記板状部材と反対側に設けられる駆動機構と、前記隙間に開口して、前記隙間に気体を供給することにより、前記板状部材と前記ステージとの間の前記第１空間と、前記第１空間の外側の第２空間との間を封止するとともに、前記第２空間から前記第１空間に向かう方向に前記気体を前記第１空間側に流入させる給気部と、を有する。

【0008】

この構成によれば、板状部材とステージとの隙間に、給気部から気体が供給されることにより、第１空間と、第２空間とがシールされる。この給気部の気体の供給により、第２空間から第１空間に向かう方向に気体が流れる。このため、第１空間の気体が外部に流出することを抑制できる。また、隙間の気体を排出するための配管や通路等を設ける必要がない。したがって、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行うための第１空間の気体が外部に流出することを抑制できる。

【0009】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記給気部は、前記孔部の周りにスリット状に設けられている。この構成によれば、孔部の周方向に沿った全周において、第２空間から第１空間に向かう方向の気体の流れが発生するため、確実に第１空間の気体が外部に流出することを抑制できる。

【0010】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記隙間は、前記給気部よりも前記第１空間側の第１隙間と、前記給気部よりも前記第２空間側の第２隙間とを含む。これによれば、第１隙間の間隔と第２隙間の間隔とを調整することにより、第１隙間と第２隙間とを通る気体の方向を調整できる。

【0011】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記気体は、前記第１隙間を通って前記第１空間に流入するとともに、前記第２隙間を通って前記第２空間に流入する。これによれば、隙間に供給された気体の一部が第１隙間を通って第１空間に流入するので、第１空間の気体が外部に流出することを抑制できる。

【0012】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記第１隙間の間隔は、前記第２隙間の間隔よりも大きい。これによれば、いわゆるエゼクタ効果により、第２隙間において、第２空間の気体が、第１空間側に流入する負圧が発生する。このため、第１空間の気体が外部に流出することを抑制できる。

【0013】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記板状部材は、前記ステージ側に突出する突出部が設けられている。これによれば、板状部材とステージとの隙間の調整が容易である。また、板状部材の強度が向上するため、隙間の大きさの変動を抑制できる。

【0014】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記突出部は、環状に設けられる。これによれば、第２空間の気体が隙間を通って第１空間側に流入する負圧が、孔部の周方向に沿って全周に発生するため、確実に第１空間の気体が第２空間に流出することを抑制できる。

【0015】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記突出部の径方向外側の面と第３隙間を有して対向するシール部材が設けられ、前記給気部は、前記第３隙間を含む。これによれば、気体は第３隙間を通って第１隙間及び第２隙間に供給される。そして、シール部材と板状部材との間に隙間が形成される。第３隙間から供給される気体が、シール部材と板状部材との間の隙間を通って第１空間側に流入する。又は、第２空間の気体が第１空間側に流入する。また、シール部材を設けることにより、ステージとシール部材との隙間の間隔の調整が容易であり、第３隙間の調整も容易である。

【0016】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記第３隙間の間隔は、前記第１隙間の間隔よりも小さく、かつ、前記第２隙間の間隔よりも小さい。これによれば、第３隙間を通る気体の流速が大きくなるので、確実に第２空間の気体が第１隙間及び第２隙間を通って第１空間側に流入する負圧を発生させることができる。

【0017】

本発明の一態様に係る位置決め装置において、前記シール部材と前記ステージとの間に前記第１隙間が設けられ、前記突出部と前記ステージとの間に前記第２隙間が設けられる。すなわち、シール部材が第１空間側に配置され、突出部がシール部材よりも第２空間側に配置される構成であっても、簡便な構成で、第１空間へ気体が流入することを抑制できる。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、簡便な構成で、ワークの位置決めや検査を行う空間の気体が外部に流出することを抑制可能な位置決め装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】図１は、第１の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。

【図2】図２は、第１の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。

【図3】図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿う断面図である。

【図4】図４は、第１の実施形態の変形例に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。

【図5】図５は、第２の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。

【図6】図６は、第３の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。

【図7】図７は、第４の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。

【図8】図８は、第５の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、図面は、実施形態の説明のため、実際の寸法、形状と適宜変更して示している。

【0021】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。図２は、第１の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。図１は、連結軸３２の中心軸を含み、かつ中心軸と平行な平面で位置決め装置１０を切った断面を示している。位置決め装置１０は、密閉空間内に配置されたワークを直線移動、又は回転移動させるための装置であり、工作機械、搬送装置、半導体製造装置、又は、減圧空間内でモールド加工を行うナノインプリント装置などに適用可能である。本実施形態の位置決め装置１０は、例えば、蒸着装置等のガス置換環境でワークの位置決めを行う装置や、アディティブマニュファクチャリング（積層造形）に代表される粉塵が舞う環境内でワークの位置決めを行う装置等に適用可能である。

【0022】

ここで、アディティブマニュファクチャリングは、樹脂や金属粉末などの素材を積層して物体を形成する積層加工技術である。アディティブマニュファクチャリングは、例えば、レーザを照射して粉状の素材を溶かしながら積層するパウダースプレー式や、加工台に金属粉を敷き詰めてレーザを照射して、レーザが照射された部分の金属粉が溶融、固化されることで成形を行うパウダーベッド式がある。

【0023】

図１では、説明を分かりやすくするために、左右方向の１軸移動可能な例を示しているものの、これに限定されない。例えば、左右方向の移動に加え、図１の前後方向に移動可能な２軸移動や、回転移動が可能な構成であってもよい。

【0024】

図１に示すように、本実施形態の位置決め装置１０は、筐体２０と、支持部２８と、板状部材２０ａと、ステージ３０と、駆動ステージ３４と、連結軸３２とを備える。筐体２０に囲まれた第１空間Ｐは、特定の環境を維持し、ワークの位置決めや、加工、検査等を行うための密閉空間である。なお、密閉空間とは、外部から完全に密閉されている場合に限定されず、作業に適した特定の環境を維持できる空間であればよい。第１空間Ｐは、真空、減圧、ガス置換（減圧又は陽圧）、温度の異なる空間、クリーン環境、異物環境等の様々な環境に適用可能である。

【0025】

支持部２８は、定盤５５の上に配置されて、筐体２０を支持する。支持部２８に囲まれた第２空間Ｒは、ステージ３０を移動させるための駆動機構等が設けられる。第２空間Ｒは、第１空間Ｐと区分けされ、第１空間Ｐと異なる環境となっている。支持部２８は、筐体２０を支持することが可能な枠状であってもよく、若しくは、駆動機構等を内部に収納可能な底部を備えてもよい。

【0026】

本実施形態において、第１空間Ｐは、板状部材２０ａを含む筐体２０とステージ３０とで囲まれた空間である。第２空間Ｒは、支持部２８と、板状部材２０ａと、ステージ３０と、定盤５５とで囲まれた空間である。

【0027】

ステージ３０は、第１空間Ｐに配置される。ステージ３０は、板状部材２０ａの孔部２０ｃを覆うとともに、板状部材２０ａの上面と隙間２４を有して対向する。ステージ３０は、第１面３０ａと、第１面３０ａの反対側の第２面３０ｂとを有する板状の部材である。ステージ３０は、上面から見たときに、円形状であってもよく、長円状、正方形状、矩形状等、他の形状であってもよい。ステージ３０は、第１面３０ａに連結軸３２の一方の端部が接続されており、連結軸３２の移動に伴って、図１の左右方向に１軸移動可能となっている。なお、上述のように、ステージ３０は、図１の前後方向にも移動可能な２軸移動可能であってもよく、回転移動可能であってもよい。ステージ３０の第２面３０ｂにワーク（図示しない）等が載置又は固定され、ワーク等の位置決め等が行われる。

【0028】

駆動ステージ３４は、第２空間Ｒに配置される。駆動ステージ３４は、板状部材２０ａよりも下方に配置され、連結軸３２の他方の端部と接続される。駆動ステージ３４は、図示しない外部の駆動部から駆動力が伝達され、図１の左右方向に移動可能となっている。駆動部は、例えば、リニアモータが用いられる。また、駆動部は、駆動モータとボールねじとを組み合わせた機構であってもよい。この場合、駆動モータが回転駆動力を発生し、ボールねじがこの回転駆動力を１軸方向の駆動力に変換して駆動ステージ３４に伝達する。図１に示すように、連結軸３２は、少なくとも図１の左右方向において、板状部材２０ａと間隔を有して配置される。つまり、孔部２０ｃの径は、連結軸３２の移動を許容するように、連結軸３２の径よりも大きくなっている。これにより、駆動ステージ３４の移動に伴って、連結軸３２を介して、ステージ３０が面内方向に移動可能となっている。

【0029】

リニアベアリング３５、３５は、駆動ステージ３４の下面に配置され、駆動ステージ３４の移動とともに一体に移動する。リニアベアリング３５、３５は、駆動ステージ３４の左右方向の中心位置に対して、右側の領域と、左側の領域とにそれぞれ配置される。定盤５５の上にベース部材３７が固定され、ベース部材３７の上にガイド部材３６が設けられる。２つのリニアベアリング３５、３５は、ガイド部材３６に連結されて、ガイド部材３６の延在方向に沿って円滑に移動可能になっている。このような構成により、駆動ステージ３４は、リニアモータ等の駆動部から駆動力を受けたときに、１軸方向に円滑に移動可能になっている。図１では省略して示すが、駆動ステージ３４は上面から見たときに、略矩形状である。ガイド部材３６及びリニアベアリング３５、３５は、駆動ステージ３４の１辺に沿って配置され、かつ、対向する２辺にそれぞれ配置される。

【0030】

次に、第１空間Ｐのシール構造について説明する。図１及び図２に示すように、本実施形態の位置決め装置１０において、板状部材２０ａとステージ３０との間に隙間２４が設けられる。隙間２４に給気ポンプ５０から気体が供給されることで、板状部材２０ａとステージ３０との間が封止（シール）される。

【0031】

隙間２４は、第１隙間２４Ａと第２隙間２４Ｂとを含む。板状部材２０ａは、ステージ３０に向かい突出する突出部２０ｂが設けられている。突出部２０ｂは、板状部材２０ａと一体に形成されている。これに限られず、突出部２０ｂは、板状部材２０ａと別部材で設けてもよい。また、板状部材２０ａの上面において、突出部２０ｂよりも径方向外側にシール部材２２が配置される。シール部材２２の上面２２ｃと、ステージ３０の第１面３０ａとが第１隙間２４Ａを有して対向する。後述するように、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、孔部２０ｃを囲む環状の部材である。

【0032】

突出部２０ｂは、板状部材２０ａの上面に設けられ、板状部材２０ａの孔部２０ｃ側の端部に設けられる。突出部２０ｂの側面２０ｄは、板状部材２０ａの端面と連続している。これに限られず、突出部２０ｂはステージ３０の第１面３０ａと対向する位置に配置されていればよく、突出部２０ｂの側面２０ｄが、板状部材２０ａの端面よりも径方向外側に位置してもよい。突出部２０ｂの上面２０ｅと、ステージ３０の第１面３０ａとが第２隙間２４Ｂを有して対向する。このように、突出部２０ｂとシール部材２２とを設けているため、第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂの寸法の管理を容易に行うことができる。本実施形態では、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１は、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２と等しい大きさになっている。第１隙間２４Ａの間隔ｔ１及び第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、例えば、数百μｍ以上、数ｍｍ以下程度である。第１隙間２４Ａの間隔ｔ１及び第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、より狭い方が好ましい。こうすれば、第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂを通る気体の流速が高められるので、少ない気体の流量で異物の侵入を抑制することができる。また、板状部材２０ａは、突出部２０ｂが設けられているので、強度が向上する。したがって、板状部材２０ａの変形が抑制され、第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂの寸法の変動を抑制することができる。

【0033】

図２に示すように、シール部材２２は、第１側面２２ｄと第２側面２２ｅとを有している。第１側面２２ｄ及び第２側面２２ｅは、突出部２０ｂの外側面２０ｆと隙間を有して対向する。第１側面２２ｄは板状部材２０ａ側に配置され、第２側面２２ｅはステージ３０側に配置される。第１側面２２ｄは、第２側面２２ｅよりも突出部２０ｂから離れた位置に設けられ、第１側面２２ｄと第２側面２２ｅとで段差が形成される。

【0034】

シール部材２２の第１側面２２ｄと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとで、給気溝２２ａが構成される。シール部材２２の第２側面２２ｅと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとの隙間によりスリット状の給気部２２ｂ（第３隙間）が構成される。給気部２２ｂは、給気溝２２ａと連続して、給気溝２２ａからステージ３０に向かう方向に延びて、隙間２４に開口する。第１隙間２４Ａは、給気部２２ｂよりも第１空間Ｐ側に配置される。第２隙間２４Ｂは、給気部２２ｂよりも第２空間Ｒ側に配置される。

【0035】

給気部２２ｂは、第２側面２２ｅと外側面２０ｆとの間の第３隙間の間隔ｔ３が小さい絞り部であり、第３隙間の間隔ｔ３は、給気溝２２ａの幅（第１側面２２ｄと外側面２０ｆとの間隔）よりも小さくなっている。給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３は、例えば、数μｍ以上、数十μｍ以下程度である。給気部２２ｂは、突出部２０ｂとシール部材２２との２つの部材を対向させて設けられるため、一つの部材に絞り部を形成する場合に比べて、第３隙間の間隔ｔ３の管理が比較的容易である。また、シール部材２２に段差を形成することで給気溝２２ａが形成されるため、給気部２２ｂ及び給気溝２２ａを容易に形成することができる。

【0036】

図１に示すように、給気ポンプ５０から給気溝２２ａに気体が供給される。気体は、給気溝２２ａから給気部２２ｂを通って隙間２４に供給される。給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３は、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さく、かつ、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２よりも小さくなっている。

【0037】

ここで、給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３は、シール部材２２の第２側面２２ｅと垂直な方向における、シール部材２２の第２側面２２ｅと突出部２０ｂの外側面２０ｆとの距離である。また、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１は、シール部材２２の上面２２ｃと垂直な方向における、シール部材２２の上面２２ｃと、ステージ３０の第１面３０ａとの距離である。また、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、突出部２０ｂの上面２０ｅと垂直な方向における、突出部２０ｂの上面２０ｅと、ステージ３０の第１面３０ａとの距離である。

【0038】

本実施形態において、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１は、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２と等しい大きさとなっている。このため、第１隙間２４Ａを通る気体の抵抗と、第２隙間２４Ｂを通る気体の抵抗とがほぼ等しくなる。よって、給気部２２ｂから供給された気体は、第１隙間２４Ａと第２隙間２４Ｂとに分岐して流れる。給気部２２ｂから供給された気体は、第１隙間２４Ａにおいて、矢印Ｆ１に示す方向に流れて第１空間Ｐに流入するとともに、第２隙間２４Ｂにおいて、矢印Ｆ２に示す方向に流れて第２空間Ｒに流入する。

【0039】

以上のように、給気部２２ｂから供給された気体の一部は、第１隙間２４Ａを通って第１空間Ｐに流入するので、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することが抑制される。したがって、第１空間Ｐがガス置換環境や粉塵が舞う環境である場合であっても、第１空間Ｐのガスや粉塵が第２空間Ｒに流出し、リニアベアリング３５、３５や駆動ステージ３４等が汚染されることを抑制できる。

【0040】

また、本実施形態の位置決め装置１０は、ステージ３０、突出部２０ｂ及びシール部材２２により、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂ及び給気部２２ｂを設け、給気部２２ｂに陽圧の気体を供給することで第１空間Ｐのシール構造が実現できる。このため、第１空間Ｐが減圧空間等の環境や粉塵が舞う環境であっても、排気式シールや、磁気シールなどを設けることなく、給気部２２ｂに気体を供給するのみで第１空間Ｐのシールが可能である。すなわち、位置決め装置１０の小型化を図ることが可能である。

【0041】

さらに、突出部２０ｂ、シール部材２２及び板状部材２０ａには、排気するための配管や溝部を設ける必要がない。したがって、簡便な構成で、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することを抑制できる。

【0042】

図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿う断面図である。図３に示すように、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、連結軸３２の中心軸Ｚｒを中心とした環状の部材である。本実施形態において、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、平面視において、略矩形状である。ただし、これに限定されず、突出部２０ｂ及びシール部材２２は、円形、正方形等、他の形状であってもよい。シール部材２２は、突出部２０ｂよりも径方向の外側に配置される。上述したように、シール部材２２の第２側面２２ｅと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとの隙間により給気部２２ｂが構成される。給気部２２ｂは、スリット状であり、突出部２０ｂ及びシール部材２２の周方向に沿って、環状に連続して設けられる。

【0043】

なお、図３では図示を省略するが、図１及び図２に示す、給気溝２２ａ、第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂも、突出部２０ｂ及びシール部材２２の周方向に沿って、連続して設けられる。

【0044】

このような構成により、給気部２２ｂに気体が供給されることで、第１隙間２４Ａを通って第１空間Ｐに流入する気体の流れと、第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する気体の流れとが、給気部２２ｂの周方向に沿って全周に発生する。第１隙間２４Ａを通って第１空間Ｐに流入する気体の流れは、給気部２２ｂから径方向の外側に放射状に発生する。また、第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する気体の流れは、給気部２２ｂから径方向の内側に、連結軸３２の中心軸Ｚｒに向かう方向に発生する。

【0045】

また、給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３（図２参照）を周方向に沿って等しい大きさとなるようにすることで、気体の流れが、給気部２２ｂの周方向に沿って均等になる。したがって、第１隙間２４Ａの周方向に沿った全周において、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することを抑制することができる。

【0046】

また、給気溝２２ａは給気部２２ｂに沿って全周に設けられている。上述したように、給気溝２２ａの隙間の間隔、すなわち、図２に示すシール部材２２の第１側面２２ｄと、突出部２０ｂの外側面２０ｆとの間隔は、給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３よりも大きくなっている。給気溝２２ａを通る気体の抵抗が小さくなっているため、給気部２２ｂの周方向に沿って均等に気体が供給される。したがって、給気ポンプ５０からの気体は、給気溝２２ａの１か所、又は複数箇所に供給されればよく、筐体２０に設けられる気体供給用の通路の数を少なくして、構成を簡便にすることができる。

【0047】

（変形例）
図４は、第１の実施形態の変形例に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。本変形例の位置決め装置１０Ａは、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１が、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２よりも大きくなっている。第１隙間２４Ａの間隔ｔ１は、例えば、数百μｍ以上、数ｍｍ以下程度である。第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、例えば、数十μｍ以上、１．０ｍｍ以下程度である。また、給気部２２ｂの第３隙間の間隔ｔ３は、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さく、かつ、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２よりも小さくなっている。

【0048】

給気部２２ｂの隙間が小さくなっているので、給気ポンプ５０から供給された気体は、給気部２２ｂを通過する際に流速が大きくなる。このため、エゼクタ効果により、給気部２２ｂの近傍の第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂで、第２空間Ｒから給気部２２ｂに向かう負圧が発生する。この負圧により、図４に示すように、第２隙間２４Ｂにおいて、第２空間Ｒの気体が矢印Ｆ２に示す方向に流れる。

【0049】

上述のように、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２は、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さくなっている。このため、第２隙間２４Ｂを通る気体の抵抗が、第１隙間２４Ａを通る気体の抵抗よりも大きくなる。したがって、給気部２２ｂから供給された気体は、抵抗が小さい第１隙間２４Ａを通って矢印Ｆ１に示す方向に流れる。

【0050】

以上のように、給気部２２ｂから供給された気体は、第１隙間２４Ａを通って第１空間Ｐに流入する。また、エゼクタ効果により発生した負圧により、第２空間Ｒの気体が第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂを通って第１空間Ｐに流入する。これにより、本変形例の位置決め装置１０Ａによれば、ワークの位置決めや検査を行う第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒに流出することを抑制できる。

【0051】

また、エゼクタ効果により発生した負圧により、第１空間Ｐの気体が第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。これにより、本実施形態の位置決め装置１０によれば、ワークの位置決めや検査を行う第１空間Ｐへの気体の流入が抑制される。したがって、第１空間Ｐにおける気流の乱れが抑制され、第１空間Ｐ内の圧力分布の発生や温度分布の発生を抑制することができる。したがって、第１空間Ｐがガス置換環境や粉塵が舞う環境である場合であっても、第１空間Ｐのガスや粉塵が第２空間Ｒに流出し、リニアベアリング３５、３５や駆動ステージ３４等が汚染されることを確実に抑制できる。

【0052】

さらに、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂ及び給気部２２ｂを設け、給気部２２ｂに陽圧の気体を供給することで、第２空間Ｒの気体を、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂを通って第１空間Ｐ側に流入させる負圧を発生させることができる。つまり、第１隙間２４Ａ、第２隙間２４Ｂ及び給気部２２ｂが負圧発生機構として機能するので、負圧を発生させるポンプや、第１空間Ｐの気体を吸気するための配管や溝部を設ける必要がない。したがって、簡便な構成で負圧発生機構を実現することができる。

【0053】

なお、本変形例において、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２が、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さくなっている。これに限られず、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２が、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも大きい場合であってもよい。この場合、第２隙間２４Ｂの径方向の長さを第１隙間２４Ａの径方向の長さよりも長くすることで、第２隙間２４Ｂを通る気体の抵抗を大きくすることができる。

【0054】

（第２の実施形態）
図５は、第２の実施形態に係る位置決め装置のシール構造を示す断面図である。なお、上述した実施形態と同様の構成については、同じ符号を付して説明を省略する場合がある。本実施形態の位置決め装置１０Ｂは、給気溝２２ｈ及び給気部２２ｉがシール部材２２と板状部材２０ａとの間に設けられている点が異なる。なお、図５では、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２が、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１と等しい構成を示しているが、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２が、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さい構成であってもよい。

【0055】

本実施形態において、シール部材２２は、下面２２ｆと、下面２２ｆよりも上方に凹む凹部２２ｇとを有する。下面２２ｆは、板状部材２０ａの上面２０ｇと第４隙間を有して対向しており、シール部材２２の下面２２ｆと、板状部材２０ａの上面２０ｇとの間に給気部２２ｉが構成される。また、シール部材２２の凹部２２ｇと、板状部材２０ａの上面２０ｇとの間に給気溝２２ｈが構成される。給気部２２ｉは、給気溝２２ｈと連続して設けられており、給気溝２２ｈに対して、径方向内側に向かって延びている。給気部２２ｉは、給気溝２２ｈよりも、板状部材２０ａの上面２０ｇとの隙間が小さい絞り部となっている。

【0056】

給気部２２ｉの第４隙間の間隔ｔ４は、シール部材２２の第２側面２２ｅと突出部２０ｂの外側面２０ｆとの間に形成される第３隙間の間隔ｔ３よりも小さくなっている。すなわち、シール部材２２と突出部２０ｂとの間の第３隙間の間隔ｔ３は、第４隙間の間隔ｔ４よりも大きくすることができ、第３隙間の間隔ｔ３の寸法管理が容易である。したがって、本実施形態の位置決め装置１０Ｂは、容易に製造することができる。第３隙間の間隔ｔ３は、例えば、数百μｍ以上、１．０ｍｍ以下程度である。第４隙間の間隔ｔ４は、例えば、数μｍ以上、数十μｍ以下程度である。

【0057】

給気溝２２ｈは、給気ポンプ５０（図１参照）からの気体が供給される。給気部２２ｉの隙間が小さくなっているので、給気ポンプ５０から供給された気体は、給気部２２ｉを通過する際に流速が大きくなる。給気部２２ｉを通過した気体は、シール部材２２と突出部２０ｂとの間の第３隙間を通って、隙間２４に供給される。これにより、給気部２２ｂから供給された気体は、第１隙間２４Ａと第２隙間２４Ｂとに分岐して流れる。給気部２２ｂから供給された気体の一部は、第１隙間２４Ａを通って第１空間Ｐに流入するので、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することが抑制される。

【0058】

また、第２隙間２４Ｂの間隔ｔ２が、第１隙間２４Ａの間隔ｔ１よりも小さい構成とした場合は、上述したエゼクタ効果により負圧が発生し、第２空間Ｒの気体が第１隙間２４Ａ及び第２隙間２４Ｂを通って第１空間Ｐに流入する。また、給気部２２ｉから供給された気体は、第１隙間２４Ａを通って第１空間Ｐに流入する。これにより、ワークの位置決めや検査を行う第１空間Ｐの気体が第２空間に周出することが抑制される。

【0059】

（第３の実施形態）
図６は、第３の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。本実施形態の位置決め装置１０Ｃは、板状部材４０とステージ３０Ａとの間に第１空間Ｐが設けられており、また、ステージ３０Ａの下に、リニアベアリング３５、３５が連結されている点が異なる。つまり、本実施形態の位置決め装置１０Ｃは、第１の実施形態で示した、筐体２０、連結軸３２、駆動テーブル３４等を有していない。

【0060】

図６に示すように、本実施形態の位置決め装置１０Ｃは、定盤５５の上に設けられた支持部２８Ａと、支持部２８Ａの上に設けられた板状部材４０と、ステージ３０Ａと、リニアベアリング３５、３５と、ガイド部材３６と、ベース部材３７とを含む。板状部材４０は、第１面４０ａと、第１面４０ａの反対側の第２面４０ｂとを有する平板状の部材である。板状部材４０は、支持部２８Ａの開口を覆って設けられる。板状部材４０と支持部２８Ａと定盤５５とで囲まれた空間に、ステージ３０Ａと、リニアベアリング３５、３５等の駆動機構が配置される。

【0061】

定盤５５の上にリニアベアリング３５、３５、ガイド部材３６及びベース部材３７を含む駆動機構が設けられる。リニアベアリング３５、３５の上にステージ３０Ａが連結される。ステージ３０Ａは、板状部材４０と所定の隙間２５を有して対向する。本実施形態において、ステージ３０Ａと板状部材４０とで囲まれた空間が、ワークＷの位置決め等を行う第１空間Ｐである。第１空間Ｐの外側の空間、すなわち、板状部材４０とステージ３０Ａと支持部２８Ａと定盤５５とで囲まれた空間が、第２空間Ｒである。第２空間Ｒに、ステージ３０Ａを１軸方向又は２軸方向に移動可能に支持するリニアベアリング３５、３５等が配置される。

【0062】

ステージ３０Ａは、平板状の載置部３０Ａａと、載置部３０Ａａの外周側に設けられた側部３０Ａｂとを有する。載置部３０Ａａの上にワークＷが載置される。側部３０Ａｂは、載置部３０Ａａの板状部材４０と対向する面に設けられる。側部３０Ａｂは、環状の部材であり、載置部３０Ａａの周方向に沿って連続して設けられる。ステージ３０Ａは、断面視で、載置部３０Ａａと側部３０Ａｂとで凹状になっている。板状部材４０は、側部３０Ａｂよりも径方向の外側まで延びており、側部３０Ａｂよりも径方向の外側において支持部２８Ａに固定される。

【0063】

側部３０Ａｂの上面３０Ａｅは、板状部材４０の第１面４０ａと第１隙間２５Ａを有して対向する。側部３０Ａｂの上部において、上面３０Ａｅよりも径方向の外側に段差が設けられており、この段差にシール部材２２Ａが設けられる。シール部材２２Ａは、側部３０Ａｂの上部の外側面３０Ａｄと対向する。また、シール部材２２Ａの上面２２Ａｃは、板状部材４０の第１面４０ａと第２隙間２５Ｂを有して対向する。

【0064】

シール部材２２Ａの第１側面２２Ａｄと、側部３０Ａｂの外側面３０Ａｄとで、給気溝２２Ａａが構成される。シール部材２２Ａの第２側面２２Ａｅと、側部３０Ａｂの外側面３０Ａｄとの隙間によりスリット状の給気部２２Ａｂ（第３隙間）が構成される。給気部２２Ａｂは、給気溝２２Ａａと連続して、給気溝２２Ａａから板状部材４０に向かう方向に延びて、隙間２５に開口する。第１隙間２５Ａは、給気部２２Ａｂよりも第１空間Ｐ側に配置される。第２隙間２５Ｂは、給気部２２Ａｂよりも第２空間Ｒ側に配置される。

【0065】

図６に示すように、給気ポンプ５０から給気溝２２Ａａに気体が供給される。気体は、給気溝２２Ａａから給気部２２Ａｂを通って隙間２５に供給される。給気部２２Ａｂの第３隙間の間隔は、第１隙間２５Ａの間隔ｔａ１よりも小さく、かつ、第２隙間２５Ｂの間隔ｔａ２よりも小さくなっている。

【0066】

また、第１隙間２５Ａの間隔ｔａ１は、第２隙間２５Ｂの間隔ｔａ２と等しい大きさとなっている。このため、第１隙間２５Ａを通る気体の抵抗と、第２隙間２５Ｂを通る気体の抵抗とがほぼ等しくなる。よって、給気部２２Ａｂから供給された気体は、第１隙間２５Ａと第２隙間２５Ｂとに分岐して流れる。給気部２２Ａｂから供給された気体は、第１隙間２５Ａを通って第１空間Ｐに流入するとともに、第２隙間２５Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。

【0067】

以上のように、ステージ３０Ａと板状部材４０との間の隙間２５によりシール構造を実現することができる。給気部２２Ａｂから供給された気体の一部は、第１隙間２５Ａを通って第１空間Ｐに流入するので、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することが抑制される。したがって、第１空間Ｐがガス置換環境や粉塵が舞う環境である場合であっても、第１空間Ｐのガスや粉塵が第２空間Ｒに流出し、リニアベアリング３５、３５等が汚染されることを抑制できる。また、本実施形態の位置決め装置１０Ｃは、ステージ３０Ａにリニアベアリング３５、３５が直接、連結されているので、構成を簡略化して小型化を図ることが可能である。

【0068】

図６では第１隙間２５Ａの間隔ｔａ１が、第２隙間２５Ｂの間隔ｔａ２と等しい構成を示したが、上述したように、第１隙間２５Ａの間隔ｔａ１が、第２隙間２５Ｂの間隔ｔａ２よりも大きい構成であってもよい。この場合、いわゆるエゼクタ効果により、第２空間Ｒの気体が第１隙間２５Ａ及び第２隙間２５Ｂを通って第１空間Ｐに流入する。これにより、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することが確実に抑制される。

【0069】

（第４の実施形態）
図７は、第４の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。図７に示す位置決め装置１０Ｄは、ステージ３０Ｂが、第１面３０Ｂａと、第１面３０Ｂａの反対側の第２面３０Ｂｂとを有する板状の部材である。ステージ３０Ｂの第１面３０ＢａにワークＷが載置され、ワークＷの位置決め等が行われる。ステージ３０Ｂの第２面３０Ｂｂにリニアベアリング３５、３５が連結される。

【0070】

ステージ３０Ｂの第１面３０Ｂａは、板状部材４０Ａの第１面４０Ａａと対向する。板状部材４０Ａの第１面４０Ａａには、ステージ３０Ｂに向かって突出する突出部４１が設けられている。突出部４１は、板状部材４０Ａとステージ３０Ｂとの間に設けられ、ステージ３０Ｂの外周に沿って設けられた環状の部材である。本実施形態では、板状部材４０Ａとステージ３０Ｂと突出部４１とで囲まれた空間が第１空間Ｐである。第１空間Ｐの外側、すなわち、定盤５５、支持部２８Ａ、板状部材４０Ａ、突出部４１及びステージ３０Ｂで囲まれた空間が第２空間Ｒである。

【0071】

突出部４１はステージ３０Ｂと所定の隙間２６を有して対向する。突出部４１の下面４１ａは、ステージ３０Ｂの第１面３０Ｂａと第１隙間２６Ａを有して対向する。突出部４１の下部において、下面４１ａよりも径方向の外側において、下面４１ａよりもステージ３０Ｂから離れた位置に下面４１ｂが設けられている。下面４１ａと下面４１ｂとで段差が形成されている。この下面４１ｂにシール部材２２Ｂが設けられる。シール部材２２Ｂは、突出部４１の下部の外側面４１ｃと対向する。また、シール部材２２Ｂの下面２２Ｂｃは、ステージ３０Ｂの第１面３０Ｂａと第２隙間２６Ｂを有して対向する。

【0072】

シール部材２２Ｂの第１側面２２Ｂｄと、突出部４１の外側面４１ｃとで、給気溝２２Ｂａが構成される。シール部材２２Ｂの第２側面２２Ｂｅと、突出部４１の外側面４１ｃとの隙間によりスリット状の給気部２２Ｂｂ（第３隙間）が構成される。給気部２２Ｂｂは、給気溝２２Ｂａと連続して、給気溝２２Ｂａからステージ３０Ｂに向かう方向に延びて、隙間２６に開口する。第１隙間２６Ａは、給気部２２Ｂｂよりも第１空間Ｐ側に配置される。第２隙間２６Ｂは、給気部２２Ｂｂよりも第２空間Ｒ側に配置される。

【0073】

図７に示すように、給気ポンプ５０から給気溝２２Ｂａに気体が供給される。気体は、給気溝２２Ｂａから給気部２２Ｂｂを通って隙間２６に供給される。給気部２２Ｂｂの第３隙間の間隔は、第１隙間２６Ａの間隔ｔｂ１よりも小さく、かつ、第２隙間２６Ｂの間隔ｔｂ２よりも小さくなっている。

【0074】

また、第１隙間２６Ａの間隔ｔｂ１は、第２隙間２６Ｂの間隔ｔｂ２と等しい大きさとなっている。このため、第１隙間２６Ａを通る気体の抵抗と、第２隙間２６Ｂを通る気体の抵抗とがほぼ等しくなる。給気部２２Ｂｂから供給された気体は、第１隙間２６Ａと第２隙間２６Ｂとに分岐して流れる。給気部２２Ｂｂから供給された気体は、第１隙間２６Ａを通って第１空間Ｐに流入するとともに、第２隙間２６Ｂを通って第２空間Ｒに流入する。

【0075】

以上のように、本実施形態では、板状部材４０Ａに突出部４１及びシール部材２２Ｂを設けて、ステージ３０Ｂと板状部材４０Ａとの間の隙間２６によりシール構造を実現することができる。このような態様であっても、給気部２２Ｂｂから供給された気体の一部は、第１隙間２６Ａを通って第１空間Ｐに流入するので、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することが抑制される。また、本実施形態においても、ステージ３０Ｂの第２面３０Ｂｂにリニアベアリング３５、３５が直接、連結されるので、位置決め装置１０Ｄの構成を簡略化して、小型化を図ることができる。

【0076】

図７では第１隙間２６Ａの間隔ｔｂ１が、第２隙間２６Ｂの間隔ｔｂ２と等しい構成を示したが、上述したように、第１隙間２６Ａの間隔ｔｂ１が、第２隙間２６Ｂの間隔ｔｂ２よりも大きい構成であってもよい。この場合、いわゆるエゼクタ効果により、第２空間Ｒの気体が第１隙間２６Ａ及び第２隙間２６Ｂを通って第１空間Ｐに流入する負圧が発生する。これにより、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することが確実に抑制される。

【0077】

（第５の実施形態）
図８は、第５の実施形態に係る位置決め装置を模式的に示す断面図である。本実施形態の位置決め装置１０Ｅは、第１の実施形態の位置決め装置１０と同様に、ステージ３０と板状部材２０Ａａとの間の隙間２４に気体を供給することによりシール構造を実現している。本実施形態の位置決め装置１０Ｅにおいて、筐体２０Ａは、ステージ３０の第２面３０ｂと対向する板状部材２０Ａｄを含む。この板状部材２０Ａｄに孔部２０Ａｇが設けられている。孔部２０Ａｇはステージ３０と対向する位置に設けられている。孔部２０Ａｇに操作軸５２が挿通されている。操作軸５２は、ステージ３０に載置されたワークＷの加工や検査を行うための部材であり、矢印Ｓに示すように上下方向に移動可能となっている。

【0078】

筐体２０Ａの板状部材２０Ａｄは、操作軸５２の径方向において、操作軸５２の外周面と第１隙間２７Ａを有して対向する。板状部材２０Ａｄの上面には、孔部２０Ａｇの径方向の外側にシール部材２９が設けられている。シール部材２９は、操作軸５２の外周面と第２隙間２７Ｂを有して対向する。第１隙間２７Ａと第２隙間２７Ｂとは、操作軸５２の軸方向に沿った方向に連続して設けられる。

【0079】

筐体２０Ａの板状部材２０Ａｄの上面には、シール部材２９と重なる位置に溝が設けられている。これにより板状部材２０Ａｄとシール部材２９との間に、給気溝２０Ａｅと、給気部２０Ａｆ（第３隙間）とが設けられる。本実施形態において、シール部材２９、給気溝２０Ａｅ及び給気部２０Ａｆは、それぞれ、孔部２０Ａｇの周囲に環状に設けられている。給気部２０Ａｆはスリット状の絞り部である。給気部２０Ａｆは、給気溝２０Ａｅと連続して、給気溝２０Ａｅから軸部材５２に向かう方向に延びて、隙間２７に開口する。第１隙間２７Ａは、給気部２０Ａｆよりも第１空間Ｐ側に配置される。第２隙間２７Ｂは、給気部２０Ａｆよりも筐体２０Ａの外側の外部空間側に配置される。

【0080】

図８に示すように、給気ポンプ５０は、給気溝２２ａ及び給気溝２０Ａｅに気体を供給する。給気溝２０Ａｅに供給された気体は、給気溝２０Ａｅから給気部２０Ａｆを通って隙間２７に供給される。給気部２０Ａｆの第３隙間の間隔は、第１隙間２７Ａの間隔ｔｃ１よりも小さく、かつ、第２隙間２７Ｂの間隔ｔｃ２よりも小さくなっている。

【0081】

また、第１隙間２７Ａの間隔ｔｃ１は、第２隙間２７Ｂの間隔ｔｃ２と等しい大きさとなっている。このため、第１隙間２７Ａを通る気体の抵抗と、第２隙間２７Ｂを通る気体の抵抗とがほぼ等しくなる。給気部２０Ａｆから供給された気体は、第１隙間２７Ａと第２隙間２７Ｂとに分岐して流れる。給気部２０Ａｆから供給された気体は、第１隙間２７Ａを通って第１空間Ｐに流入するとともに、第２隙間２７Ｂを通って外部空間に流入する。

【0082】

以上のように、本実施形態では、操作軸５２と板状部材２０Ａｄとの間に隙間２７を設け、この隙間２７に気体を供給することによりシール構造を実現することができる。このような態様であっても、給気部２０Ａｆから供給された気体の一部は、第１隙間２７Ａを通って第１空間Ｐに流入するので、第１空間Ｐの気体が外部空間に流出することが抑制される。したがって、第１空間Ｐがガス置換環境や粉塵が舞う環境である場合であっても、第１空間Ｐのガスや粉塵が外部空間に流出することを抑制できる。

【0083】

図８では第１隙間２７Ａの間隔ｔｃ１が、第２隙間２７Ｂの間隔ｔｃ２と等しい構成を示したが、上述したように、第１隙間２７Ａの間隔ｔｃ１が、第２隙間２７Ｂの間隔ｔｃ２よりも大きい構成であってもよい。この場合、いわゆるエゼクタ効果により、外部空間の気体が第１隙間２７Ａ及び第２隙間２７Ｂを通って第１空間Ｐに流入する。これにより、第１空間Ｐの気体が第２空間Ｒ側に流出することを確実に抑制することができる。また、本実施形態では、シール部材２９を設けることで、シール部材２９と操作軸５２との第２隙間２７Ｂが形成されるので、第２隙間２７Ｂの間隔ｔｃ２の寸法管理を容易に行うことができる。

【0084】

以上、実施形態１から実施形態５を説明したが、前述した内容により実施形態１から実施形態５が限定されるものではない。また、前述した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、前述した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。さらに、実施形態１から実施形態５の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換及び変更のうち少なくとも１つを行うことができる。

【符号の説明】

【0085】

１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ 位置決め装置
２０、２０Ａ 筐体
２０ａ、２０Ａｄ、４０、４０Ａ 板状部材
２０ｂ、４１ 突出部
２０ｃ、２０Ａｇ 孔部
２２、２２Ａ、２２Ｂ、２９ シール部材
２２ａ、２２ｈ、２２Ａａ、２０Ａｅ、２２Ｂａ 給気溝
２２ｂ、２２ｉ、２２Ａｂ、２０Ａｆ、２２Ｂｂ 給気部
２２ｇ 凹部
２４、２５、２６、２７ 隙間
２４Ａ、２５Ａ、２６Ａ、２７Ａ 第１隙間
２４Ｂ、２５Ｂ、２６Ｂ、２７Ｂ 第２隙間
２８ 支持部
３０ ステージ
３２ 連結軸
３４ 駆動ステージ
５０ 給気ポンプ
５５ 定盤
Ｐ 第１空間
Ｒ 第２空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】