特許6708041酸化ケイ素膜の製造方法

発明の名称　酸化ケイ素膜の製造方法

出願人　日新電機株式会社　（識別番号 3942）

　　　　特許公開件数ランキング 295 位（106件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 384 位（69件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6708041

公報発行日　2020年6月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6708041

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