特許6708746ガラスキャリアウェハー用の低ＣＴＥボロアルミノシリケートガラス

発明の名称　ガラスキャリアウェハー用の低ＣＴＥボロアルミノシリケートガラス

出願人　ショット　グラス　テクノロジーズ　（スゾウ）　カンパニー　リミテッド　（識別番号 512139847）

　　　　特許公開件数ランキング 30918 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9204 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6708746

公報発行日　2020年6月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6708746

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