特許第6709828号(P6709828)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6709828水素化物気相蒸着法（ＨＶＰＥ）を用いた窒化ガリウム基板の製造方法
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  • 特許6709828-水素化物気相蒸着法（ＨＶＰＥ）を用いた窒化ガリウム基板の製造方法 図000014
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