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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6710071
(24)【登録日】2020年5月28日
(45)【発行日】2020年6月17日
(54)【発明の名称】ネジ送り装置
(51)【国際特許分類】
F16H 25/24 20060101AFI20200608BHJP
【ＦＩ】
F16H25/24 G
【請求項の数】12
【全頁数】13
(21)【出願番号】特願2016-49931(P2016-49931)
(22)【出願日】2016年3月14日
(65)【公開番号】特開2017-166520(P2017-166520A)
(43)【公開日】2017年9月21日
【審査請求日】2019年3月7日
(73)【特許権者】
【識別番号】000220343
【氏名又は名称】株式会社トプコン
(74)【代理人】
【識別番号】100083563
【弁理士】
【氏名又は名称】三好 祥二
(72)【発明者】
【氏名】藤岡 孝行
【審査官】
山尾 宗弘
(56)【参考文献】
【文献】
実開昭５４−１６９６７０（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
特開２００３−０４２１５２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００９−０９２１２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００９−１２２０１２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００９−０４２０９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０００−０１８３６２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｆ１６Ｈ ２５／２４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定の角度範囲で傾動軸を中心に回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部の先端部に、前記傾動軸を中心とした円軌道の変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられたネジ送り装置。
【請求項2】
前記スプリングは、スプリング力の作用方向が、前記スクリューロッドの軸心に対して傾斜する様に設けられた請求項１に記載のネジ送り装置。
【請求項3】
前記スプリングは、スプリング力の分力が、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心を中心とする回転力を発生させる様に設けられた請求項１に記載のネジ送り装置。
【請求項4】
前記スプリングは、前記スクリューロッドを挾んで２本設けられ、２本の前記スプリングはバネ力が異なる様に設定された請求項１に記載のネジ送り装置。
【請求項5】
前記スプリングは、スプリング力の作用方向が前記スクリューロッドの軸心を含む平面に対して傾斜する様に設けられた請求項１に記載のネジ送り装置。
【請求項6】
前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに形成されたスリット溝とを有し、該スリット溝に前記回止ピンが摺動自在に嵌合した請求項１に記載のネジ送り装置。
【請求項7】
前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心に対して直交する方向に突設されたピンとを有し、前記回止ピンと前記ピンとを当接させた請求項１に記載のネジ送り装置。
【請求項8】
所定の角度範囲で回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部に回転変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、
前記スプリングは、スプリング力の作用方向が、前記スクリューロッドの軸心に対して傾斜する様に設けられたネジ送り装置。
前記スプリングは、スプリング力の作用方向が、前記スクリューロッドの軸心に対して傾斜する様に設けられたネジ送り装置。
【請求項9】
所定の角度範囲で回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部に回転変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、
前記スプリングは、スプリング力の分力が、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心を中心とする回転力を発生させる様に設けられたネジ送り装置。
前記スプリングは、スプリング力の分力が、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心を中心とする回転力を発生させる様に設けられたネジ送り装置。
【請求項10】
所定の角度範囲で回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部に回転変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、
前記スプリングは、前記スクリューロッドを挾んで２本設けられ、２本の前記スプリングはバネ力が異なる様に設定されたネジ送り装置。
前記スプリングは、前記スクリューロッドを挾んで２本設けられ、２本の前記スプリングはバネ力が異なる様に設定されたネジ送り装置。
【請求項11】
所定の角度範囲で回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部に回転変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、
前記スプリングは、スプリング力の作用方向が前記スクリューロッドの軸心を含む平面に対して傾斜する様に設けられたネジ送り装置。
前記スプリングは、スプリング力の作用方向が前記スクリューロッドの軸心を含む平面に対して傾斜する様に設けられたネジ送り装置。
【請求項12】
所定の角度範囲で回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部に回転変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられ、
前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心に対して直交する方向に突設されたピンとを有し、前記回止ピンと前記ピンとを当接させたネジ送り装置。
前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心に対して直交する方向に突設されたピンとを有し、前記回止ピンと前記ピンとを当接させたネジ送り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、精密機械の可動部に使用されるネジ送り装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
精密機械、測量装置では装置を高精度の水平姿勢とする為に整準装置を具備している。整準装置は、測量装置本体が設置される載置テーブルを水平２軸で傾動させ、水平としている。
【0003】
この傾動させる為の装置としてネジ送り装置が用いられる。可動部が傾動する機構に対してネジ送り装置が用いられた場合、該ネジ送り装置は可動部に真直変位を与え、可動部は真直変位によって傾動することから、ネジ送り装置と可動部間の連結部には可動部の傾動に伴う相対的な傾斜が発生する。従って、連結部には、相対的な傾斜及び傾斜に伴う位置ずれを吸収する機能が要求される。
【0004】
従来、傾動部と直進部とを連結する方法としては、ユニバーサルジョイントを用いる等が考えられていたが、小型で簡単な連結方法とはいえなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０００−１４９４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、簡単な構成で小型化が可能なネジ送り装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、所定の角度範囲で回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部に回転変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられたネジ送り装置に係るものである。
【0008】
又本発明は、前記スプリングは、スプリング力の作用方向が、前記スクリューロッドの軸心に対して傾斜する様に設けられたネジ送り装置に係るものである。
【0009】
又本発明は、前記スプリングは、スプリング力の分力が、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心を中心とする回転力を発生させる様に設けられたネジ送り装置に係るものである。
【0010】
又本発明は、前記スプリングは、前記スクリューロッドを挾んで２本設けられ、２本の前記スプリングはバネ力が異なる様に設定されたネジ送り装置に係るものである。
【0011】
又本発明は、前記スプリングは、スプリング力の作用方向が前記スクリューロッドの軸心を含む平面に対して傾斜する様に設けられたネジ送り装置に係るものである。
【0012】
又本発明は、前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに形成されたスリット溝とを有し、該スリット溝に前記回止ピンが摺動自在に嵌合したネジ送り装置に係るものである。
【0013】
更に又本発明は、前記回止は、前記傾動脚部の先端部に設けられた回止ピンと、前記ナットに前記スクリューロッドの軸心に対して直交する方向に突設されたピンとを有し、前記回止ピンと前記ピンとを当接させたネジ送り装置に係るものである。
【発明の効果】
【0014】
本発明によれば、所定の角度範囲で回転可能な被傾動体から延出する傾動脚部に回転変位を与えるネジ送り装置であって、該ネジ送り装置はモータにより回転されるスクリューロッドと、該スクリューロッドに螺合するナットとを具備し、前記傾動脚部の先端部には、該傾動脚部の回転中心に向うＶ溝が形成されると共に先端から該Ｖ溝の中心に沿って切欠が形成され、前記スクリューロッドは前記切欠を非接触で挿通し、前記ナットは該ナットの軸心と同心の球面を有し、該球面が前記Ｖ溝に接触し、前記傾動脚部と前記ナット間には、該ナットの回転を拘束する回止が設けられ、前記傾動脚部と前記ナット間には前記球面と前記Ｖ溝とを接触させるスプリングが設けられたので、前記ネジ送り装置で与えられる変位は前記ナットを介して直接前記傾動脚部に伝達される構成となり、構造は極めて簡略化されるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【0015】
【図1】本実施例のネジ送り装置を具備した整準装置の斜視図である。
【図5】Ｙ軸フレームを下方から見た斜視図である。
【図6】整準装置の下面図である。
【図7】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、Ｙ軸ネジ送り装置によるＹ軸フレームの傾動動作の説明図である。
【図8】（Ａ）（Ｂ）は、ナットと下端部間に作用させるバネ作用の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【0017】
本発明の実施例に係るネジ送り装置が、整準装置の送り装置として使用された場合を説明する。
【0018】
図１〜図３は、本実施例のネジ送り装置を具備した整準装置１を示しており、図中２は、該整準装置１の固定部位である本体フレームを示し、該本体フレーム２は略リング形状をしており、該本体フレーム２の内側にＸ軸フレーム３が同心に設けられ、該Ｘ軸フレーム３の上にＹ軸フレーム４が同心に設けられている。該Ｙ軸フレーム４の上面には所要箇所、図１中の図示では４箇所にボス５が突設されている。該ボス５に、整準の対象となる装置、例えば測量装置本体を取付ける為の嵌合部及び上ケースが取付けられる。
【0019】
前記Ｘ軸フレーム３はＸ軸１２を中心に傾動自在（所定の角度範囲で回転自在）となっており、前記Ｙ軸フレーム４はＹ軸１３を中心に前記Ｘ軸フレーム３に対して傾動自在（所定の角度範囲で回転自在）となっている。Ｘ軸１２、Ｙ軸１３は直交し、且つ同一平面内に存在する様に設定されている。
【0020】
前記本体フレーム２の下面からは第１固定脚部７が下方に延出し、該第１固定脚部７の下端にＸ軸ネジ送り装置８が設けられている。前記Ｘ軸フレーム３の下面からは第２固定脚部９が下方に延出し、該第２固定脚部９の下端にはＹ軸ネジ送り装置１０が設けられている。前記第１固定脚部７は前記本体フレーム２とダイキャスト等により一体成形してもよく、或は別部品として該本体フレーム２に取付けてもよい。又、同様に前記第２固定脚部９はダイキャストにより前記Ｘ軸フレーム３と一体成形してもよく、或は別部品として該Ｘ軸フレーム３に取付けてもよい。
【0021】
次に、該Ｘ軸フレーム３、前記Ｙ軸フレーム４を傾動自在に支持する支持機構について説明する。
【0022】
前記Ｘ軸フレーム３には、所要量立上がり、次にＸ軸１２に沿って外周側に向って延出する断面が半円状の軸部１５，１６が設けられている。該軸部１５，１６は、前記本体フレーム２とオーバラップしている。
【0023】
図２（Ａ）は、図１のＡ矢視図であり、前記本体フレーム２の前記軸部１５と対峙する部位には軸受ボス１７が突設され、該軸受ボス１７には円錐形の第１球受穴１８が穿設される。前記軸部１５の下面で前記第１球受穴１８と対峙する位置に、第１円錐穴１９が穿設され、前記第１球受穴１８と前記第１円錐穴１９間には鋼球２１が介設されている。
【0024】
図２（Ｂ）は、図１のＢ矢視図であり、前記本体フレーム２の前記軸部１６と対峙する部位には軸受ボス２２が突設され、該軸受ボス２２には円錐形の第１球受穴２３が穿設される。前記軸部１６の下面で前記第１球受穴２３と対峙する位置に、Ｘ軸１２と平行に第１Ｖ溝２４が刻設され、該第１Ｖ溝２４と前記第１球受穴２３との間には鋼球２５が介設されている。
【0025】
前記鋼球２１，２５はＸ軸１２上に位置し、前記第１Ｖ溝２４は、前記第１球受穴１８，２３間の加工誤差又は成形部品寸法誤差及び前記第１球受穴２３と前記第１Ｖ溝２４間の加工誤差又は成形部品寸法誤差を吸収する。従って、前記本体フレーム２に対する組立は、前記鋼球２１，２５を介し、前記Ｘ軸フレーム３を前記本体フレーム２に載置するだけでよい。尚、前記Ｘ軸フレーム３と前記本体フレーム２との間にはスプリング（図示せず）が設けられ、前記鋼球２１，２５が所要の面圧で前記Ｘ軸フレーム３と前記本体フレーム２との間に安定に保持される。
【0026】
前記Ｙ軸フレーム４の支持機構は、前記Ｘ軸フレーム３の支持機構と同様である。
【0028】
前記Ｘ軸フレーム３の周縁部で、Ｙ軸１３上に軸受ボス２６，２７が設けられ、該軸受ボス２６，２７には、それぞれ円錐形の第２球受穴２８，２９が穿設される。前記Ｙ軸フレーム４の前記第２球受穴２８に対峙する位置に第２円錐穴３０が穿設され、前記Ｙ軸フレーム４の前記第２球受穴２９に対峙する位置に、Ｙ軸１３と平行にＶ溝３１が刻設される。
【0029】
前記第２球受穴２８と前記第２円錐穴３０との間には鋼球３２が介設され、前記第２球受穴２９と前記Ｖ溝３１との間には鋼球３３が介設される。
【0030】
前記鋼球３２，３３はＹ軸１３上に位置し、前記Ｖ溝３１は、前記第２球受穴２８、第２球受穴２９、前記第２円錐穴３０、前記Ｖ溝３１に関する加工誤差又は成形部品寸法誤差を吸収する。
【0031】
前記Ｙ軸フレーム４の組立は、前記鋼球３２，３３を介し、前記Ｙ軸フレーム４を前記Ｘ軸フレーム３に載置するだけでよい。該Ｘ軸フレーム３と前記Ｙ軸フレーム４との間にはスプリング（図示せず）が設けられ、前記鋼球３２，３３が所要の面圧で前記Ｘ軸フレーム３と前記Ｙ軸フレーム４との間に安定に保持される。
【0033】
尚、前記Ｘ軸ネジ送り装置８と前記Ｙ軸ネジ送り装置１０とは同一の構成となっているので、以下、前記Ｙ軸ネジ送り装置１０について説明する。
【0034】
前記Ｙ軸ネジ送り装置１０はフレーム部材として、前記第２固定脚部９に固定される固定金具３５を有する。
【0035】
該固定金具３５の端板３５ａ，３５ｂ間に掛渡りスクリューロッド３７が、回転自在に設けられる。該スクリューロッド３７の前記端板３５ａを貫通する端部には、被動ギア３８が固着されている。
【0036】
又、前記端板３５ａにはモータ３９が取付けられている。該モータ３９としては、パルスモータ等回転角を制御できるモータが用いられる。
【0037】
前記モータ３９の出力軸には駆動ギア４１が固着され、該駆動ギア４１、前記被動ギア３８との間には中間ギア４２が設けられている（図６参照）。該中間ギア４２の大径ギア４２ａが前記駆動ギア４１に噛合し、前記中間ギア４２の小径ギア４２ｂが前記被動ギア３８と噛合している。而して、前記モータ３９の回転は、前記駆動ギア４１、前記中間ギア４２、前記被動ギア３８のギア列によって減速され、前記スクリューロッド３７に伝達される。
【0038】
該スクリューロッド３７にナット４３が螺合される。又、前記Ｙ軸フレーム４に一体成形された傾動脚部４４は、前記Ｙ軸フレーム４が水平な状態で鉛直下方に延出し、前記傾動脚部４４の下端部４４ａが前記ナット４３と係合する。
【0039】
該ナット４３の前記下端部４４ａと当接する面は、前記ナット４３の軸心と同心の球面となっている。又前記下端部４４ａには前記傾動脚部４４の回転中心に向う方向（本実施例では鉛直方向）に延出するＶ溝４４ｂが形成され、該Ｖ溝４４ｂを形成するテーパ面が前記ナット４３と当接する。又、前記傾動脚部４４の中心には前記下端部４４ａの下端からスリット状の切欠４５が形成される（図５参照）。該切欠４５の幅は、前記スクリューロッド３７の直径より大きく、該スクリューロッド３７が非接触で挿通し、前記傾動脚部４４が傾動した場合でも、前記下端部４４ａと前記スクリューロッド３７とは干渉しない様になっている。
【0040】
前記下端部４４ａには、前記Ｙ軸フレーム４が水平な状態で、水平方向に突出する回止ピン４６が設けられている。前記ナット４３には、前記スクリューロッド３７の軸心と平行にスリット溝４７が形成され、該スリット溝４７に前記回止ピン４６が摺動自在に嵌合する。前記回止ピン４６と前記スリット溝４７は、前記傾動脚部４４と前記ナット４３との間の相対回転を拘束する回止を構成する。
【0041】
該ナット４３には水平方向に突出するバネ掛け４８ａ，４８ｂが設けられ、該バネ掛け４８ａ，４８ｂと前記下端部４４ａとの間にバネ４９ａ，４９ｂが張設される（図６参照）。
【0042】
該バネ４９ａ，４９ｂは、前記ナット４３と前記下端部４４ａとを所定の面圧で密着させ、前記ナット４３の変位に対して前記傾動脚部４４が追従する様になっている。
【0043】
尚、前記バネ４９ａ，４９ｂの変位は、前記ナット４３に対する前記傾動脚部４４の傾動に起因するものであり、僅かである。従って、前記バネ４９ａ，４９ｂの設計にバネの変位に対するバネ力の増減を考慮する必要がなくなり、前記バネ４９ａ，４９ｂの設計が容易となる。
【0044】
次に、図８（Ａ）、図８（Ｂ）に示される様に、前記バネ４９ａが前記バネ掛け４８ａと前記下端部４４ａとの間に付与するバネ作用と、前記バネ４９ｂが前記バネ掛け４８ｂと前記下端部４４ａとの間に付与するバネ作用とは異なる様に、バネ力及びバネ力の作用方向が、或はバネ力及びバネ力の作用方向の少なくとも一方が設定されている。尚、前記バネ４９ａ，４９ｂのバネ作用を異ならせる方法としては、上記した説明の他にも、種々考えられることは言う迄もない。
【0045】
前記バネ４９ａのバネ作用と前記バネ４９ｂのバネ作用とを異ならせることで、前記バネ掛け４８ａ，４８ｂに対するバネ力が前記スクリューロッド３７に対して非対称となる。この為、前記バネ４９ａ，４９ｂの合力の作用方向が、前記スクリューロッド３７の軸心に対して平行でなくなる（該軸心に対して傾斜する方向となる）。
【0046】
前記バネ４９ａ，４９ｂの合力は、前記ナット４３の軸心が前記スクリューロッド３７の軸心に対して傾斜する方向に回転力を付与する。この回転力により、前記ナット４３が前記スクリューロッド３７に対して間隙分だけ相対回転し、いわば片当りする様な状態となり、前記ナット４３と前記スクリューロッド３７との間のバックラッシ及びガタツキが抑止される。
【0047】
即ち、前記バネ４９ａ，４９ｂは、前記ナット４３と前記下端部４４ａとを密着させると共に前記ナット４３と前記スクリューロッド３７間のバックラッシ及びガタツキを抑止する。
【0048】
前記Ｘ軸ネジ送り装置８により前記Ｘ軸フレーム３がＸ軸１２を中心に傾動し、前記Ｙ軸フレーム４自体が前記Ｙ軸ネジ送り装置１０によりＹ軸１３を中心に傾動することで、前記Ｙ軸フレーム４は、水平２軸方向に傾動する。
【0049】
図５に示される様に、前記Ｙ軸フレーム４の裏面にはセンサ支持部材５１が前記Ｙ軸フレーム４と一体的に設けられ、前記センサ支持部材５１にＸ軸１２と直交する方向にＸ軸チルトセンサ５３が設けられ、Ｙ軸１３と直交する方向にＹ軸チルトセンサ５４が設けられている。
【0050】
前記Ｘ軸チルトセンサ５３、前記Ｙ軸チルトセンサ５４が水平を検出する様に、前記Ｘ軸ネジ送り装置８、前記Ｙ軸ネジ送り装置１０を駆動することで、前記整準装置１による整準が実行される。
【0051】
図７（Ａ）〜図７（Ｃ）を参照し、前記Ｘ軸ネジ送り装置８、前記Ｙ軸ネジ送り装置１０の作動について、更に説明する。尚、図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、前記Ｙ軸フレーム４を傾動させる場合を示しているが、前記Ｘ軸フレーム３を傾動させる場合も同様である。
【0052】
図７（Ａ）は、前記Ｙ軸フレーム４が図中右側に傾斜（右側が下がる）した状態を示している。
【0053】
前記モータ３９により前記被動ギア３８を介して前記スクリューロッド３７が時計方向に回転される。前記ナット４３の回転は、前記回止ピン４６によって拘束されているので、前記ナット４３が左方に変位する（前記スクリューロッド３７が右ネジの場合）。
【0054】
前記ナット４３と前記下端部４４ａとは前記バネ４９ａ，４９ｂによって連結されているので、前記下端部４４ａは前記ナット４３と一体に左方に変位し、前記傾動脚部４４はＹ軸１３を中心に時計方向に回転する。
【0055】
前記Ｙ軸フレーム４を図７（Ａ）の右傾斜した状態から、図７（Ｂ）に示される水平状態に戻すには、前記スクリューロッド３７を反時計方向に回転させる。前記ナット４３が右方に変位し、前記下端部４４ａが右方に移動され、前記Ｙ軸フレーム４が水平となる。該Ｙ軸フレーム４の水平は前記Ｘ軸チルトセンサ５３によって検出される。
【0056】
更に、図７（Ｃ）に示される左傾斜とするには、更に前記スクリューロッド３７を反時計方向に回転させる。前記ナット４３が更に右方に移動し、前記傾動脚部４４がＹ軸１３を中心に反時計方向に傾斜し、前記Ｙ軸フレーム４が左傾斜する。
【0057】
而して、前記ナット４３の直進変位に追従して、前記傾動脚部４４が傾動する。更に、前記ナット４３は球面で前記Ｖ溝４４ｂに接触するので、前記ナット４３の直進変位が円滑に前記傾動脚部４４の回転変位に変換される。
【0058】
更に、前記ナット４３の球面は、前記Ｖ溝４４ｂに係合するので、該Ｖ溝４４ｂの長手方向に対しては、滑りが許容され、該Ｖ溝４４ｂの幅方向については、変位が拘束される。従って前記傾動脚部４４の回転変位は、前記ナット４３の直進動に規制され、正確な円軌道となる。
【0060】
先ず、図６に於いて、前記バネ４９ａと前記バネ４９ｂとのバネ力を異ならせる。例えば、前記バネ４９ａのバネ力を前記バネ４９ｂと比較して強くすると、前記ナット４３には、図６の紙面に対して時計方向の回転力が働き、該ナット４３は前記スクリューロッド３７に対して片当りし、該スクリューロッド３７と前記ナット４３間のバックラッシ及びガタツキが抑制される。
【0061】
次に、前記バネ４９ａ，４９ｂ又はいずれか一方を、図８（Ａ）の様に、前記スクリューロッド３７の軸心を含む平面に対して傾斜させて取付ける。バネ力は、該スクリューロッド３７の軸心に対して傾斜する方向に作用し、軸心と直交するバネ力の分力により、前記ナット４３には前記スクリューロッド３７を中心とした回転力Ｍが作用する（図８（Ｂ））。前記ナット４３の回転を拘束するものは、前記回止ピン４６と前記スリット溝４７との係合であり、前記回止ピン４６は前記スリット溝４７に対して常時一方向から片当りする。
【0062】
従って、前記回止ピン４６と前記スリット溝４７との間のバックラッシ及びガタツキも、前記バネ４９ａ，４９ｂのバネ作用によって抑止される。尚、上記実施例では、２本のバネを使用しているが、１本のバネとしてもよい。
【0063】
而して、簡潔な構成のネジ送り装置により傾動する部材に対して、バックラッシ及びガタツキなく変位を与えることができる。
【0064】
更に、前記スクリューロッド３７と前記ナット４３間のバックラッシ及びガタツキ、該ナット４３と前記回止ピン４６間のバックラッシ及びガタツキを１組のバネにより抑止することができ、バックラッシ取り用の部品、構造とする必要がない。この為、部品点数が少なく、而も大幅な小型化が可能となる。
【0065】
尚、前記ナット４３に回転力Ｍを作用させる為、別途スプリングを設けてもよいことは言う迄もない。
【0066】
又、前記回止ピン４６と前記ナット４３との係合について、該ナット４３に前記スリット溝４７を設ける代りに、前記ナット４３に半径方向（前記スクリューロッド３７の軸心と直交する方向）に突出する係合ピンを設け、該係合ピンを前記回止ピン４６に当接させ、前記ナット４３の回止としてもよい。
【0067】
更に、前記回止ピン４６を前記ナット４３に設け、前記傾動脚部４４に鉛直方向に延在する溝を形成し、前記回止ピン４６と溝とを係合させてもよい。要は、前記傾動脚部４４の傾動により、前記ナット４３と前記傾動脚部４４との接触位置が変化した場合に、前記回止ピン４６と前記ナット４３との間で回転変位が生じない係合関係であればよい。
【0068】
又、上記実施例では、ネジ送り装置は、被傾動体として示した本体フレーム２、Ｘ軸フレーム３、Ｙ軸フレーム４の下方に設けられたが、被傾動体の上方に設けられても、横側に設けられても同様に実施可能であり、所定の角度範囲で回転変位を与える装置として実施可能である。
【符号の説明】
【0069】
１ 整準装置２ 本体フレーム
３ Ｘ軸フレーム
４ Ｙ軸フレーム
７ 第１固定脚部
８ Ｘ軸ネジ送り装置
９ 第２固定脚部
１０ Ｙ軸ネジ送り装置
１２ Ｘ軸
１３ Ｙ軸
３５ 固定金具
３７ スクリューロッド
３８ 被動ギア
３９ モータ
４１ 駆動ギア
４３ ナット
４４ 傾動脚部
４４ａ 下端部
４４ｂ Ｖ溝
４５ 切欠
４６ 回止ピン
４７ スリット溝
４８ａ，４８ｂ バネ掛け
４９ａ，４９ｂ バネ
５１ センサ支持部材
５３ Ｘ軸チルトセンサ
５４ Ｙ軸チルトセンサ