特許6710533スリットノズル

発明の名称　スリットノズル

出願人　ラム・リサーチ・アーゲー　（識別番号 510141648）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4182 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6710533

公報発行日　2020年6月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6710533

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