特許6711917イオン注入システムで使用するためのスズ含有ドーパント組成物、システム、及び方法

発明の名称　イオン注入システムで使用するためのスズ含有ドーパント組成物、システム、及び方法

出願人　プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド　（識別番号 392032409）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6711917

公報発行日　2020年6月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6711917

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