特許 6712036 通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6712036

(24)【登録日】2020年6月2日

(45)【発行日】2020年6月17日

(54)【発明の名称】通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20200608BHJP

   B61B 3/02 20060101ALI20200608BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20200608BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

   B61B3/02 C

   B61B3/02 B

   B65G1/00 501H

【請求項の数】9

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2017-87284(P2017-87284)

(22)【出願日】2017年4月26日

(65)【公開番号】特開2018-186196(P2018-186196A)

(43)【公開日】2018年11月22日

【審査請求日】2019年12月18日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】500112146

【氏名又は名称】サイレックス・テクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(72)【発明者】

【氏名】桑原 哲也

【審査官】 宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１５３１９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１３００２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１７／０２９８７１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１５−０８２５７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１５−５２７７５４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６１Ｂ ３／０２

Ｂ６５Ｇ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第一搬送システムの第一搬送台車および第二搬送システムの第二搬送台車それぞれとの間で独立に被搬送物の移載が可能である複数の載置ポートそれぞれに、前記被搬送物が載置されているか否かを独立に検知するセンサから検知結果を取得する取得部と、
前記取得部が取得した前記検知結果を用いて、前記複数の載置ポートのそれぞれについて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際に独立にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信部と、
前記通信部による前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記複数の載置ポートのうちの一の載置ポートに被搬送物を移載させた後に、前記通信部による前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記一の載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御部とを備える
通信装置。

【請求項2】

前記取得部は、前記通信装置の外部に配置された前記一の載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知する、前記通信装置の外部に配置された前記センサから検知結果を取得する
請求項１に記載の通信装置。

【請求項3】

前記通信部は、
前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信と、前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信との少なくとも一方を無線通信により行う
請求項１又は２に記載の通信装置。

【請求項4】

前記通信部は、
前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信と、前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信との両方を無線通信により行う
請求項３に記載の通信装置。

【請求項5】

前記通信部は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格のインターロックシーケンスにおけるパッシブ側の通信を行う
請求項１〜４のいずれか１項に記載の通信装置。

【請求項6】

第一搬送台車及び第二搬送台車それぞれとの間で独立に被搬送物の移載が可能である複数の載置ポートそれぞれに、前記被搬送物が載置されているか否かを独立に検知するセンサから検知結果を取得する取得部と、
前記取得部が取得した前記検知結果を用いて、前記複数の載置ポートのそれぞれについて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際に独立にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信部と、
前記通信部による前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記複数の載置ポートのうちの一の載置ポートに被搬送物を移載させた後に、前記通信部による前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記一の載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御部とを備える
通信装置。

【請求項7】

請求項１〜６のいずれか１項に記載の通信装置と、
前記被搬送物が載置され得る複数の載置ポートと、
前記被搬送物が前記複数の載置ポートそれぞれに載置されているか否かを独立に検知し、検知結果を前記通信装置の前記取得部に提供するセンサとを備える
バッファ装置。

【請求項8】

請求項７に記載のバッファ装置と、
前記複数の載置ポートとの間で被搬送物を移載する搬送システムとを備える
移載システム。

【請求項9】

通信装置の制御方法であって、
第一搬送システムの第一搬送台車および第二搬送システムの第二搬送台車それぞれとの間で独立に被搬送物の移載が可能である複数の載置ポートそれぞれに、前記被搬送物が載置されているか否かを独立に検知するセンサから検知結果を取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得した前記検知結果を用いて、前記複数の載置ポートのそれぞれについて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際に独立にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信ステップと、
前記通信ステップによる前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記複数の載置ポートのうちの一の載置ポートに被搬送物を移載させた後に、前記通信ステップによる前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記一の載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御ステップとを含む
制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製造装置に設けられた載置ポートと、天井走行台車などの搬送台車との間のインターロックのための通信には、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４通信シーケンスが適用される。搬送システムでは、ウェハ等を収納したポッドを被搬送物として天井走行台車により搬送し、載置ポートに移載する際、及び、載置ポートからポッドを搬出する際には、Ｅ８４通信シーケンスで、天井走行台車と載置ポートとの間で制御信号が授受される。

【0003】

例えば、天井走行台車よりポッドを載置ポートに移載する際、特定の信号（Ｌ＿ＲＥＱ）がオフとならないと、次の工程には移行しないような複数の工程からなるインターロックシーケンスが採用されている（例えば、特許文献１参照）。これにより、天井走行台車から載置ポートへのポッドの移載を安全かつ確実に行おうとしている。

【0004】

天井走行台車が被搬送物を搬送しているときに、天井走行台車の移動範囲の制限、又は、搬送経路の混雑などの要因により、一の天井走行台車から他の天井走行台車に被搬送物を移載する（積み替えをする）必要が生じ得る。従来、被搬送物の移載のため、一時的に被搬送物が載置されるバッファ装置が利用されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第５０５６３６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従来のバッファ装置は、載置ポート、載置センサ、及び、インターロックシーケンスに係る通信（以降、インターロック通信ともいう）を制御する制御回路などを筐体内に備え、工場内の床などに固定的に設置される。このようなバッファ装置は、設置及び移設が容易でないなどの理由から、工場内のレイアウト変更を困難にするという問題がある。

【0007】

本発明は、上記問題を解決するためのものであり、容易に設置され得るバッファ装置を構成し得る通信装置等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る通信装置は、第一搬送システムの第一搬送台車および第二搬送システムの第二搬送台車それぞれとの間で被搬送物の移載が可能である載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知するセンサから検知結果を取得する取得部と、前記取得部が取得した前記検知結果を用いて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信部と、前記通信部による前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記載置ポートに被搬送物を移載させた後に、前記通信部による前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御部とを備える。

【0009】

これによれば、通信装置は、載置センサを備える載置ポートとともに用いることで、第一搬送システムから第二搬送システムに被搬送物を移載するバッファとして機能する。通信装置は、第一搬送台車とのインターロック通信により第一搬送台車から載置ポートへ被搬送物を移載し、その後、第二搬送台車とのインターロック通信により載置ポートから第二搬送車へ被搬送物を移載する。つまり、通信装置と載置ポートとが、従来のバッファ装置と同じ機能を有するように構成される。このように、通信装置は、容易に移設され得るバッファ装置を構成し得る。

【0010】

また、前記取得部は、前記通信装置の外部に配置された前記載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知する、前記通信装置の外部に配置された前記センサから検知結果を取得してもよい。

【0011】

これによれば、通信装置は、載置ポート及び載置センサと一体に構成することなく、通信装置とは別に設けられた載置ポート及び載置センサを用いて、バッファ装置を構成し得る。

【0012】

また、前記通信部は、前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信と、前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信との少なくとも一方を無線通信により行ってもよい。

【0013】

これによれば、通信装置は、第一搬送台車及び第二搬送台車の少なくとも一方と無線通信によるインターロック通信を行うことで、パラレルインタフェースを用いたインターロック通信、又は、光通信インタフェースを用いたインターロック通信を用いるより利便性を向上することができ、また、これを低コストで実現することができる。パラレルインタフェースを用いたインターロック通信では、ケーブルを用いた接続が必要であり、光通信インタフェースを用いたインターロック通信では、光通信のための光軸を合わせる制御が必要となるからである。

【0014】

また、前記通信部は、前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信と、前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信との両方を無線通信により行ってもよい。

【0015】

これによれば、通信装置は、第一搬送台車及び第二搬送台車のいずれか一方に無線通信によるインターロック通信を用いる場合より、利便性をさらに向上し、コストをさらに削減し得る。

【0016】

また、前記通信部は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格のインターロックシーケンスにおけるパッシブ側の通信を行ってもよい。

【0017】

これによれば、通信装置は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づくパラレルインタフェースを用いたインターロックシーケンスに係る通信を実行し得るバッファ装置であって、容易に移設され得るバッファ装置を実現し得る。

【0018】

また、第一搬送台車及び第二搬送台車それぞれとの間で被搬送物の移載が可能である載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知するセンサから検知結果を取得する取得部と、前記取得部が取得した前記検知結果を用いて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信部と、前記通信部による前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記載置ポートに被搬送物が移載された後に、前記通信部による前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御部とを備えてもよい。

【0019】

これによれば、通信装置は、載置センサを備える載置ポートとともに用いることで、第一搬送台車から第二搬送台車に被搬送物を移載するバッファとして機能する。ここで、第一搬送台車と第二搬送台車とは、同一の搬送システムに属していてもよいし、異なる搬送システムに属していてもよい。通信装置は、第一搬送台車とのインターロック通信により第一搬送台車から載置ポートへ被搬送物を移載し、その後、第二搬送台車とのインターロック通信により載置ポートから第二搬送車へ被搬送物を移載する。つまり、通信装置と載置ポートとがバッファ装置として機能する。このように、通信装置は、容易に移設され得るバッファ装置を構成し得る。

【0020】

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係るバッファ装置は、上記の通信装置と、前記被搬送物が載置され得る載置ポートと、前記被搬送物が前記載置ポートに載置されているか否かを検知し、検知結果を前記通信装置の前記取得部に提供するセンサとを備える。

【0021】

これによれば、バッファ装置は、容易に移設され得るバッファ装置として、載置ポートと載置センサと通信装置とを用いて容易に構成され得る。

【0022】

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る移載システムは、上記のバッファ装置と、前記載置ポートとの間で被搬送物を移載する搬送システムとを備える。

【0023】

これによれば、上記通信装置と同様の効果を奏する。

【0024】

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る通信装置の制御方法は、第一搬送システムの第一搬送台車および第二搬送システムの第二搬送台車それぞれとの間で被搬送物の移載が可能である載置ポートに前記被搬送物が載置されているか否かを検知するセンサから検知結果を取得する取得ステップと、前記取得ステップで取得した前記検知結果を用いて、前記第一搬送台車及び前記第二搬送台車それぞれとの移載の際にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信ステップと、前記通信ステップによる前記第一搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記第一搬送台車から前記載置ポートに被搬送物を移載させた後に、前記通信ステップによる前記第二搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、前記載置ポートから前記第二搬送台車へ前記被搬送物を移載させる制御ステップとを含む。

【0025】

これによれば、上記通信装置と同様の効果を奏する。

【発明の効果】

【0026】

本発明にかかる通信装置は、容易に設置され得るバッファ装置を構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】実施の形態に係る通信装置を含む移載システムの概要を示す外観図である。

【図2】実施の形態に係る通信装置を含む移載システムの機能構成を示すブロック図である。

【図3】実施の形態に係る通信装置等が実行するインターロックシーケンスに含まれる荷掴み時のハンドシェイクに係るパラレル信号の時間変化の説明図である。

【図4】実施の形態に係る移載システムの処理を示すシーケンス図である。

【図5】実施の形態の変形例に係るバッファの外観図である。

【図6】実施の形態の変形例に係るバッファの機能構成を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

【0029】

以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、より好ましい形態を構成する任意の構成要素として説明される。なお、同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。

【0030】

（実施の形態）
本実施の形態において、容易に設置され得るバッファ装置を構成し得る通信装置などについて説明する。

【0031】

図１は、本実施の形態に係る通信装置１０を含む移載システム１の概要を示す外観図である。図２は、本実施の形態に係る通信装置１０を含む移載システム１の機能構成を示すブロック図である。図１及び図２を参照しながら移載システム１について説明する。

【0032】

図１及び図２に示されるように、移載システム１は、搬送システム２Ａ及び２Ｂと、バッファ装置（以降、バッファともいう）２０と、バッファ制御装置５０とを備える。移載システム１は、搬送システム２Ａと搬送システム２Ｂとの間で物品５を移載する移載システムである。ここでは、移載システム１が搬送システム２Ａから搬送システム２Ｂへ物品５を移載する場合を例として説明する。なお、移載システム１は、例えば、半導体製造工場で半導体ウェハ等を搬送する搬送システムとして実現され得る。

【0033】

物品５の移載は、例えば、搬送システム２Ａ及び２Ｂの搬送経路が分断されている場合に、搬送システム２Ａから搬送システム２Ｂに物品を渡す場合に行われることが想定される。また、搬送台車の走行経路の混雑により搬送している物品を本来の目的地まで搬送できないときに、搬送している物品を一時的にバッファ２０に置いておき、混雑が解消してから別の搬送台車により本来の目的地まで搬送する場合に、搬送台車間で物品を受け渡す場合にも行われ得る。

【0034】

搬送システム２Ａは、有軌道式の搬送システムである。搬送システム２Ａは、軌道３Ａと、搬送台車３０Ａと、搬送制御装置４０Ａとを備える。

【0035】

軌道３Ａは、施設内の天井等に設けられた、搬送台車３０Ａの走行経路である。

【0036】

搬送台車３０Ａは、搬送制御装置４０Ａによるコンピュータ制御によって、走行、停止、荷掴み、及び、荷降ろし等の動作を行う台車装置である。具体的には、搬送台車３０Ａは、搬送制御装置４０Ａから走行又は停止の指示を受けると、指示に従って軌道３Ａ上を走行し、又は、停止する。また、搬送台車３０Ａは、荷掴み又は荷降ろしの指示を受けると、指示に従って、物品５の荷掴み又は荷降ろしをする。

【0037】

搬送台車３０Ａは、把持部３１Ａと、台車制御部３２Ａと、台車通信部３３Ａとを備える。搬送台車３０Ａは、第一搬送台車に相当する。

【0038】

把持部３１Ａは、物品５を把持する把持装置である。把持部３１Ａは、バッファ２０との間で物品５を移載する際には、物品５を把持することで荷掴みをし、また、把持している物品５を載置先に載置することで荷降ろしをする。把持部３１Ａは、昇降可能に設けられていてもよく、荷掴み又は荷降ろしの際に、物品５の載置位置に合わせて高さを調整してもよい。把持部３１Ａは、台車制御部３２Ａによる制御に基づいて動作する。

【0039】

台車制御部３２Ａは、搬送台車３０Ａの動作を制御する制御装置である。台車制御部３２Ａは、台車通信部３３Ａを介して搬送制御装置４０Ａからの指示を受けると、指示に従って把持部３１Ａを制御する。搬送制御装置４０Ａからの指示は、具体的には、搬送台車３０Ａの走行、停止、荷掴み及び荷降ろし等の指示である。また、台車制御部３２Ａは、荷掴み及び荷降ろし等の際には、台車通信部３３Ａによる通信装置１０とのインターロック通信を制御する。台車制御部３２Ａは、プロセッサ及びメモリ等が所定のプログラムを実行することで実現され得る。

【0040】

台車通信部３３Ａは、搬送制御装置４０Ａ及び通信装置１０の通信部１４と通信可能に接続される通信装置である。台車通信部３３Ａは、搬送制御装置４０Ａとの通信に用いる通信インタフェースとして、例えば、ＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ規格に適合する無線ＬＡＮのインタフェースを有する。また、台車通信部３３Ａは、通信装置１０の通信部１４とのインターロック通信に用いる通信インタフェースを有する。インターロック通信に用いる通信インタフェースの具体例は、ＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ規格に適合する無線ＬＡＮのインタフェース、又は、光通信インタフェースである。なお、インターロック通信に用いる無線インタフェースとして、搬送制御装置４０Ａとの通信に用いる通信インタフェースと同じ規格の通信インタフェース（例えば、無線ＬＡＮ）を用いる場合には、これらを共用してもよい。

【0041】

なお、台車通信部３３Ａは、通信装置１０の通信部１４と直接的に通信することも可能であるが、搬送台車３０Ａと通信装置１０との配置位置が離れている場合などには、無線基地局（不図示）などの中継装置を経由して通信を行うことも可能である。

【0042】

搬送制御装置４０Ａは、搬送台車３０Ａの動作を制御する制御装置である。搬送制御装置４０Ａは、搬送台車３０Ａの動作として走行、停止、荷掴み、及び、荷降ろし等を制御する。搬送制御装置４０Ａは、搬送台車３０Ａに実行させる動作を示す指示を通信によって台車通信部３３Ａに送信する。また、搬送制御装置４０Ａは、搬送台車３０Ａから搬送台車３０Ｂに物品５を移載するために、搬送台車３０Ａからバッファ２０に物品５を移載した場合に、移載が完了したことを示す通知をバッファ制御装置５０に送信する。

【0043】

搬送システム２Ｂは、搬送システム２Ａと同様、有軌道式の搬送システムである。搬送システム２Ｂは、軌道３Ｂと、搬送台車３０Ｂと、搬送制御装置４０Ｂとを備える。搬送台車３０Ｂは、把持部３１Ｂと、台車制御部３２Ｂと、台車通信部３３Ｂとを備える。搬送システム２Ｂの構成要素は、それぞれ、搬送システム２Ａの同名の構成要素と同じであるので詳細な説明を省略する。搬送台車３０Ｂは、第二搬送台車に相当する。

【0044】

搬送制御装置４０Ｂは、バッファ２０から物品５を移載することを示す指示をバッファ制御装置５０から受けると、バッファ２０から物品５を移載するよう搬送台車３０Ｂに指示する。

【0045】

なお、搬送システム２Ａと搬送システム２Ｂとにおける制御の方式（具体的には、制御のための通信の方式、制御のための信号の形式など）は、同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。

【0046】

バッファ２０は、搬送台車３０Ａから搬送台車３０Ｂに物品５が移載される際に用いられるバッファ装置である。バッファ２０は、物品５の移載の際に、搬送台車３０Ａから物品５を移載され、その後、移載された物品５が搬送台車３０Ｂに移載される。

【0047】

バッファ２０は、載置ポート２２と、センサ２４と、通信装置１０とを備える。

【0048】

載置ポート２２は、物品５が載置されるスペースである。載置ポート２２は、物品５が載置されるのに十分な寸法及び形状を有するスペースであればよい。載置ポート２２は、通信装置１０とは別体として構成されており、通信装置１０の外部にある。

【0049】

センサ２４は、載置ポート２２に物品５が載置されているか否かを検知する載置センサである。センサ２４は、載置ポート２２に物品５が載置されているか否かを検知すると、その検知結果（載置されている、又は、載置されていない）を示すセンサ値を通信装置１０に提供する。センサ２４は、通信装置１０の外部にある。

【0050】

センサ２４が検知結果を通信装置１０に提供するタイミングは任意であり、例えば、検知結果を常時提供してもよいし、所定間隔（数ｍｓｅｃ程度）で繰り返し提供してもよいし、検知結果に有意な変化があったときだけ提供してもよい。センサ２４は、荷重センサ又は受光センサなどで実現される。

【0051】

例えば、センサ２４が荷重センサである場合、センサ２４は、載置ポート２２に所定の重量以上の荷重を検知した場合に、載置ポート２２に物品５が載置されていることを検知する。また、センサ２４が受光センサである場合、センサ２４は、載置ポート２２上に物品５が載置されているか否かに応じて光の進路が変更される又は遮断されることなどによって、受光の有無が変化することに基づいて物品５が載置されていることを検知する。

【0052】

通信装置１０は、センサ２４による検知結果を用いて、搬送台車３０Ａ及び３０Ｂとのインターロック通信を実行する通信装置である。

【0053】

通信装置１０は、取得部１２と、通信部１４と、制御部１６とを備える。

【0054】

取得部１２は、センサ２４からセンサ値を取得する処理部である。取得部１２は、通信装置１０の外部に配置された載置ポート２２に物品５が載置されているか否かを検知する、通信装置１０の外部に配置されたセンサ２４から検知結果を取得する。

【0055】

通信部１４は、搬送台車３０Ａの台車通信部３３Ａ、又は、搬送台車３０Ｂの台車通信部３３Ｂとの間でインターロック通信を実行する、処理部及び通信インタフェースである。インターロック通信の際には、物品５が載置ポート２２に載置されたか否かを判定する処理が含まれる。この処理の実行に際して、通信部１４は、取得部１２が取得したセンサ値に基づいて載置ポート２２に物品５が載置されているか否かを判定することで、インターロック通信を実行する。通信部１４は、プロセッサ及びメモリ等が所定のプログラムを実行することによって、通信インタフェースを用いて実現され得る。

【0056】

通信部１４が有する通信インタフェースの具体例は、無線ＬＡＮインタフェース、光通信インタフェース、有線ＬＡＮインタフェースなどが考えられる。ここで、有線ＬＡＮインタフェースとしては、ＩＥＥＥ８０２．３規格、およびＥｔｈｅｒＣＡＴ等の産業用プロトコルに準拠したものを採用し得る。無線ＬＡＮインタフェースとしては、ＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ規格などに準拠した通信を採用し得る。

【0057】

なお、通信部１４は、搬送台車３０Ａの台車通信部３３Ａまたは搬送台車３０Ｂの台車通信部３３Ｂと直接的に通信することも可能であるが、これら搬送台車と通信装置１０との配置位置が離れている場合などには、無線基地局（不図示）などの中継装置を経由して、通信を行うことも可能である。

【0058】

制御部１６は、通信部１４によるインターロック通信を制御する制御装置である。具体的には、制御部１６は、通信部１４による搬送台車３０Ａとのインターロック通信によって、搬送台車３０Ａから載置ポート２２に物品５を移載させた後に、通信部１４による搬送台車３０Ｂとのインターロック通信によって、載置ポート２２から搬送台車３０Ｂへ物品５を移載させる。制御部１６は、プロセッサ及びメモリ等が所定のプログラムを実行することで実現され得る。

【0059】

なお、通信部１４は、搬送台車３０Ａとのインターロックシーケンスに係る通信と、搬送台車３０Ｂとのインターロックシーケンスに係る通信との少なくとも一方を、無線通信により行ってもよい。

【0060】

また、通信部１４は、搬送台車３０Ａとのインターロックシーケンスに係る通信と、搬送台車３０Ｂとのインターロックシーケンスに係る通信との両方を、無線通信により行ってもよい。

【0061】

なお、通信装置１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、メモリ、及び通信インタフェース等を備えた小型コンピュータ装置（例えば、縦、横、高さとも数ｃｍ程度以下の小型コンピュータ装置）として実現され得る。

【0062】

バッファ制御装置５０は、搬送システム２Ａ及び２Ｂそれぞれと、バッファ２０との間での物品５の移載を制御する制御装置である。バッファ制御装置５０は、搬送システム２Ａ（搬送制御装置４０Ａ）からバッファ２０へ物品５が移載された通知を受けると、バッファ２０から物品５を移載するよう搬送システム２Ｂ（搬送制御装置４０Ｂ）へ通知する。

【0063】

次に、台車通信部３３Ａ及び３３Ｂと、通信部１４との間で実行されるインターロック通信の一例について説明する。

【0064】

図３は、本実施の形態に係る通信装置１０等が実行するインターロックシーケンス（例えば、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格のインターロックシーケンス）に含まれる荷掴み時のハンドシェイクに係るパラレル信号の時間変化の説明図である。このパラレル信号の時間変化は、従来のパラレルケーブルを用いた通信を想定して規定されたものであるが、台車通信部３３Ａ及び３３Ｂそれぞれと通信部１４とは、このパラレル信号に含まれる各信号をビットに割り当てた通信フレームを所定間隔（例えば５０ｍｓｅｃ）で光通信又は無線ＬＡＮ通信によりやりとりすることで、インターロック通信を実行する。

【0065】

図３に示されるパラレル信号の時間変化は、インターロックシーケンスに含まれる荷掴み時のハンドシェイクに係るパラレル信号の時間変化の一例である。なお、荷降ろし時のハンドシェイクにもこれと同様のパラレル信号の時間変化がある。なお、台車通信部３３Ａ及び３３ＢがＡｃｔｉｖｅ（アクティブ）側となり、通信部１４がＰａｓｓｉｖｅ（パッシブ）側となる。

【0066】

図３には、Ｐａｓｓｉｖｅ側からＡｃｔｉｖｅ側へ伝達される５つの信号（ＨＯ＿ＡＶＢＬなど）と、Ａｃｔｉｖｅ側からＰａｓｓｉｖｅ側へ伝達される７つの信号（ＣＳ＿０など）との信号値（Ｈｉｇｈ又はＬｏｗ）の変化の様子が、経過時間（横軸）に対して示されている。

【0067】

図３に示される例では、インターロック通信の開始から、物品５の移載の開始までに１〜２秒程度を要する。この時間内に、Ｅ８４インターロック通信に規定されるＴ０〜Ｔ３タイムアウトチェック等が行われる。例えば、Ｔ０タイムアウトチェックは、ＥＳ及びＨＯ＿ＡＶＢＬがＯＮで他の入力信号が全てＯＦＦとなるのを待つことである。その他、各信号の意味などについてはＥ８４インターロック通信にて規定されている通りであるので詳細な説明を省略する。

【0068】

上記のように構成された移載システム１及び通信装置１０の動作及び処理について以降で説明する。

【0069】

図４は、本実施の形態に係る移載システム１の処理を示すシーケンス図である。図４に示される一連の処理は、搬送システム２Ａの搬送台車３０Ａが物品５を搬送している状態から、搬送システム２Ｂの搬送台車３０Ｂが物品５を搬送している状態に移る、つまり、物品５を搬送システム２Ａから搬送システム２Ｂに移載するときの、移載システム１の各装置の処理、及び、各装置間で行われる通信を示したものである。また、図４において、搬送台車３０Ａ及び３０Ｂ、並びにバッファ２０のハッチング部分は、搬送台車３０Ａ等が物品５を把持していること、及び、バッファ２０に物品５が載置されていることを示している。

【0070】

図４において、当初、搬送システム２Ａの搬送台車３０Ａが物品５を搬送している状態であるとする。

【0071】

ステップＳ２０１において、搬送制御装置４０Ａは、搬送台車３０Ａが搬送している物品５をバッファ２０に載置することを示す指示を搬送台車３０Ａに送信する。搬送台車３０Ａは、搬送制御装置４０Ａからの指示を受信する。

【0072】

ステップＳ２０２において、搬送台車３０Ａ及び通信装置１０は、インターロック通信を実行することで、搬送台車３０Ａからバッファ２０に物品５を移載する。

【0073】

ステップＳ２０３において、搬送台車３０Ａは、ステップＳ２０２における物品５の移載が完了したことを示す通知を搬送制御装置４０Ａに送信する。搬送制御装置４０Ａは、通知を受信する。

【0074】

ステップＳ２０４において、搬送制御装置４０Ａは、ステップＳ２０３で通知を受信したことに応じてバッファ２０への物品５の載置を完了したことを示す通知をバッファ制御装置５０に送信する。バッファ制御装置５０は、上記通知を受信する。

【0075】

ステップＳ２０５において、バッファ制御装置５０は、ステップＳ２０４で通知を受信したことに応じて搬送システム２Ｂによって物品５をバッファ２０から移載することを示す指示を搬送制御装置４０Ｂに送信する。搬送制御装置４０Ｂは、上記指示を受信する。

【0076】

ステップＳ２０６において、搬送制御装置４０Ｂは、ステップＳ２０５で指示を受信したことに応じて、物品５をバッファ２０から搬送台車３０Ｂに移載することを示す指示を、搬送台車３０Ｂに送信する。搬送台車３０Ｂは、搬送制御装置４０Ｂからの指示を受信する。

【0077】

ステップＳ２０７において、ステップＳ２０６で搬送台車３０Ｂが指示を受けたことに応じて、搬送台車３０Ｂ及び通信装置１０がインターロック通信を実行することで、バッファ２０から搬送台車３０Ｂに物品５を移載する。

【0078】

ステップＳ２０８において、搬送台車３０Ｂは、ステップＳ２０７における物品５の移載が完了したことを示す通知を搬送制御装置４０Ｂに送信する。搬送制御装置４０Ｂは、通知を受信する。

【0079】

ステップＳ２０９において、搬送制御装置４０Ｂは、搬送システム２Ｂ（つまり、搬送台車３０Ｂ）への物品５の移載が完了したことを示す通知をバッファ制御装置５０に送信する。バッファ制御装置５０は、上記通知を受信する。

【0080】

ステップＳ２１０において、バッファ制御装置５０は、搬送システム２Ｂ（つまり、搬送台車３０Ｂ）への物品５の移載が完了したことを示す通知を搬送制御装置４０Ａに送信する。搬送制御装置４０Ａは、上記通知を受信する。

【0081】

上記に示される一連の処理によって、バッファ２０を介して、物品５の搬送システム２Ａから搬送システム２Ｂへの移載がなされる。

【0082】

なお、上記では、通信装置１０を備えるバッファ２０を介して搬送システム２Ａの搬送台車３０Ａから搬送システム２Ｂの搬送台車３０Ｂへ物品５を移載する場合を説明したが、この移載方法は、同一の搬送システム内における一の搬送台車から他の搬送台車への移載にも利用され得る。

【0083】

すなわち、通信装置１０は、同一の搬送システム内における一の搬送台車（第一搬送台車に相当）、及び、搬送台車（第二搬送台車に相当）それぞれとの間で物品５の移載が可能である載置ポート２２に物品５が載置されているか否かを検知するセンサから検知結果を取得する取得部と、取得部が取得した検知結果を用いて、上記一の搬送台車及び上記他の搬送台車それぞれとの移載の際にインターロックシーケンスに係る通信を行う通信部と、通信部による上記一の搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、上記一の搬送台車から載置ポート２２に物品５が移載された後に、通信部による上記他の搬送台車とのインターロックシーケンスに係る通信によって、載置ポート２２から上記他の搬送台車へ物品５を移載させる制御部とを備えるものであってもよい。

【0084】

これにより、通信装置は、同一の搬送システム内における搬送台車間での移載を行うことができるバッファ装置であって、容易に設置され得るバッファ装置を構成することができる。

【0085】

（実施の形態の変形例）
本変形例では、複数の載置ポートを備えるバッファを実現する通信装置などについて説明する。

【0086】

図５は、本変形例に係るバッファ２０Ａの外観図である。図６は、本変形例に係るバッファ２０Ａの機能構成を示すブロック図である。

【0087】

図５及び図６に示されるように、バッファ２０Ａは、４つの載置ポート２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ及び２２Ｄ（以降、載置ポート２２Ａ等ともいう）と、４つのセンサ２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ及び２４Ｄ（以降、センサ２４Ａ等ともいう）と、通信装置１０Ａとを備える。

【0088】

４つの載置ポート２２Ａ等は、それぞれ、実施の形態の載置ポート２２と同じであり、独立に、物品５Ａ、５Ｂ、５Ｃ及び５Ｄ（以降、物品５Ａ等ともいう）が載置され得る。

【0089】

４つのセンサ２４Ａ等は、それぞれ、実施の形態のセンサ２４と同じであり、独立に、載置ポート２２Ａ等へ物品５Ａ等が載置されたか否かを検知する。

【0090】

なお、図面では、載置ポート２２Ａ等が一列に並んで配置される場合を例として説明するが、載置ポート２２Ａの配置位置はこれに限定されない。また、載置ポート２２Ａ等の個数は４に限定されず、２以上の任意の数であってよい。

【0091】

通信装置１０Ａは、取得部１２Ａと、通信部１４Ａと、制御部１６Ａとを備える。

【0092】

取得部１２Ａは、４つのセンサ２４Ａそれぞれからセンサ値を取得する処理部である。取得するセンサ値が４つである点で、実施の形態の取得部１２と異なる。

【0093】

通信部１４Ａは、搬送台車３０Ａの台車通信部３３Ａ、又は、搬送台車３０Ｂの台車通信部３３Ｂとの間でインターロック通信を実行する通信インタフェースである。インターロック通信は、４つの載置ポート２２Ａ等ごとに独立に実行され得る。通信部１４Ａは、取得部１２Ａが取得したセンサ値に基づいて、載置ポート２２Ａ等に物品５Ａ等が載置されているか否かを判定し、載置ポート２２Ａ等ごとにインターロック通信を実行する。

【0094】

通信部１４Ａが有する通信インタフェースの具体例は、図２における通信部１４と同様、無線ＬＡＮインタフェース、光通信インタフェース、有線ＬＡＮインタフェースが考えられる。ここで、有線ＬＡＮインタフェースは、ＩＥＥＥ８０２．３規格、およびＥｔｈｅｒＣＡＴ等の産業用プロトコルに準拠したものを採用し得る。無線ＬＡＮインタフェースとしては、ＩＥＥＥ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ規格などに準拠した通信を採用し得る。

【0095】

なお、通信部１４Ａは、搬送台車３０Ａの台車通信部３３Ａおよびと直接的に通信することも可能であるが、搬送台車３０Ａと通信装置１０との配置位置が離れている場合などには、無線基地局（図示しない）などの中継装置を経由して通信を行うことも可能である。

【0096】

制御部１６Ａは、通信部１４Ａによるインターロック通信を制御する制御装置である。制御部１６Ａは、載置ポート２２Ａ等ごとに独立して、センサ２４Ａ等及び通信部１４Ａ等を用いてインターロック通信を実行する。

【0097】

バッファ２０Ａを備える移載システムは、１つの通信装置１０Ａを用い、また、４つの載置ポート２２Ａ等を独立に用いて、搬送システム２Ａから搬送システム２Ｂへ物品５Ａ等を移載することができる。言い換えれば、通信装置１０Ａは、４つの載置ポート２２Ａ等を独立に用いることができるバッファ２０Ａであって、容易に移設され得るバッファ２０Ａを構成することができる。

【0098】

以上のように、本実施の形態の通信装置は、載置センサを備える載置ポートとともに用いることで、第一搬送システムから第二搬送システムに被搬送物を移載するバッファとして機能する。通信装置は、第一搬送台車とのインターロック通信により第一搬送台車から載置ポートへ被搬送物を移載し、その後、第二搬送台車とのインターロック通信により載置ポートから第二搬送車へ被搬送物を移載する。つまり、通信装置と載置ポートとが、従来のバッファ装置と同じ機能を有するように構成される。このように、通信装置は、容易に移設され得るバッファ装置を構成し得る。

【0099】

また、通信装置は、載置ポート及び載置センサと一体に構成することなく、通信装置とは別に設けられた載置ポート及び載置センサを用いて、バッファ装置を構成し得る。

【0100】

また、通信装置は、第一搬送台車及び第二搬送台車の少なくとも一方と無線通信によるインターロック通信を行うことで、パラレルインタフェースを用いたインターロック通信、又は、光通信インタフェースを用いたインターロック通信を用いるより利便性を向上することができ、また、これを低コストで実現することができる。パラレルインタフェースを用いたインターロック通信では、ケーブルを用いた接続が必要であり、光通信インタフェースを用いたインターロック通信では、光通信のための光軸を合わせる制御が必要となるからである。

【0101】

また、通信装置は、第一搬送台車及び第二搬送台車のいずれか一方に無線通信によるインターロック通信を用いる場合より、利便性をさらに向上し、コストをさらに削減し得る。

【0102】

また、通信装置は、ＳＥＭＩ Ｅ８４規格に基づくパラレルインタフェースを用いたインターロックシーケンスを用いたバッファ装置であって、容易に移設され得るバッファ装置を実現し得る。

【0103】

また、通信装置は、載置センサを備える載置ポートとともに用いることで、第一搬送台車から第二搬送台車に被搬送物を移載するバッファとして機能する。ここで、第一搬送台車と第二搬送台車とは、同一の搬送システムに属していてもよいし、異なる搬送システムに属していてもよい。通信装置は、第一搬送台車とのインターロック通信により第一搬送台車から載置ポートへ被搬送物を移載し、その後、第二搬送台車とのインターロック通信により載置ポートから第二搬送車へ被搬送物を移載する。つまり、通信装置と載置ポートとがバッファ装置として機能する。このように、通信装置は、容易に移設され得るバッファ装置を構成し得る。

【0104】

また、本実施の形態の載置ポートは、容易に移設され得るバッファ装置として、載置ポートと載置センサと通信装置とを用いて容易に構成され得る。

【0105】

また、本実施の形態の移載システムは、容易に移設され得るバッファ装置を用いて容易に構成され得る。

【0106】

以上、本発明の通信装置等について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。

【産業上の利用可能性】

【0107】

本発明は、容易に設置され得るバッファ装置を構成する通信装置等に適用され得る。

【符号の説明】

【0108】

１ 移載システム
２Ａ、２Ｂ 搬送システム
３Ａ、３Ｂ 軌道
５、５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ 物品
１０、１０Ａ 通信装置
１２、１２Ａ 取得部
１４、１４Ａ 通信部
１６、１６Ａ 制御部
２０、２０Ａ バッファ
２２、２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ 載置ポート
２４、２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄ センサ
３０Ａ、３０Ｂ 搬送台車
３１Ａ、３１Ｂ 把持部
３２Ａ、３２Ｂ 台車制御部
３３Ａ、３３Ｂ 台車通信部
４０Ａ、４０Ｂ 搬送制御装置
５０ バッファ制御装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】