特許6713336マスクブランクの製造方法、および転写用マスクの製造方法

発明の名称　マスクブランクの製造方法、および転写用マスクの製造方法

出願人　ＨＯＹＡ株式会社　（識別番号 113263）

　　　　特許公開件数ランキング 501 位（55件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 295 位（88件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6713336

公報発行日　2020年6月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6713336

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6713336「マスクブランクの製造方法、および転写用マスクの製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録