特許6713512走査プローブ顕微鏡の走査ヘッド

発明の名称　走査プローブ顕微鏡の走査ヘッド

出願人　インスティテュート　オブ　フィジックス，　チャイニーズ　アカデミー　オブ　サイエンシーズ　（識別番号 514127932）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6713512

公報発行日　2020年6月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6713512

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