特許6730168成膜装置

発明の名称　成膜装置

出願人　東レエンジニアリング株式会社　（識別番号 219314）

　　　　特許公開件数ランキング 309 位（104件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 657 位（36件）（共同出願を含む）

出願人　長州産業株式会社　（識別番号 591097632）

　　　　特許公開件数ランキング 31345 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25417 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6730168

公報発行日　2020年7月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6730168

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