知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
- 弁理士法人プロスペック特許事務所 (東京、名古屋、在宅勤務可)
▶ メルク、パテント、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツングの特許一覧
特許6730528化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法
発明の名称 化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法
出願人 メルク、パテント、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング （識別番号 506427679）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6730528
公報発行日 2020年7月29
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6730528
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6730528「化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録