特許6732019ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、及びその製造方法

発明の名称　ペリクル膜、ペリクル枠体、ペリクル、及びその製造方法

出願人　三井化学株式会社　（識別番号 5887）

　　　　特許公開件数ランキング 86 位（336件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 107 位（251件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6732019

公報発行日　2020年7月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6732019

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