特許 6735246 光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6735246

(24)【登録日】2020年7月15日

(45)【発行日】2020年8月5日

(54)【発明の名称】光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法

(51)【国際特許分類】

   C03B 11/00 20060101AFI20200728BHJP

   G02B 3/00 20060101ALI20200728BHJP

【ＦＩ】

   C03B11/00 Z

   G02B3/00 Z

【請求項の数】5

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2017-50139(P2017-50139)

(22)【出願日】2017年3月15日

(65)【公開番号】特開2018-154507(P2018-154507A)

(43)【公開日】2018年10月4日

【審査請求日】2019年11月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000376

【氏名又は名称】オリンパス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】本司 大典

【審査官】 永田 史泰

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−１７９１４１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２３８６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−１９６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１３０４５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０３Ｂ１１／００−１１／１６

Ｂ２９Ｃ３３／００−３３／７６

Ｂ２９Ｃ４３／００−４３／５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

金型内に配置した成形素材を押圧変形して光学素子を成形する光学素子の製造装置であって、
前記金型を構成する上型および下型に押圧力を付与するプレス面をそれぞれ有する上部プレートおよび下部プレートを備え、
前記上部プレートは、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を、前記プレス面に装着可能な接続部材を備えることを特徴とする光学素子の製造装置。

【請求項2】

前記補正部材を備え、
前記補正部材は、前記補正部材に転写された傾きが、前記プレス面同士の傾きと一致するように、前記接続部材によって前記上部プレートのプレス面に装着されていることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造装置。

【請求項3】

前記補正部材は、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学素子の製造装置。

【請求項4】

上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置を用いた光学素子の製造方法であって、
前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着する設定工程と、
所望の光学機能面を創生する転写面を有する上型および下型から構成された前記金型内に前記成形素材を配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって、前記補正部材を介して前記金型に押圧力を付与し、前記成形素材に前記光学機能面を転写する製造工程と、
を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。

【請求項5】

上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置の設定方法であって、
前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着することを特徴とする光学素子の製造装置の設定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、光学素子の製造装置では、互いに対向して配置され、少なくとも一方が可動する平板状のプレートの間に成形用の金型を配置し、当該金型によって成形素材を加熱、押圧成形および冷却することにより、光学素子を製造する。

【0003】

このような方法によって製造される光学素子は、金型を押圧する２つのプレートのプレス面が互いに平行になっていないと、製造された光学素子の偏心精度が悪化するという問題がある。このような問題に対して、例えば特許文献１では、プレート間の平行度を調整する調整機構を設けた製造装置が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第５５２３１３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１で提案された調整機構を用いたプレート間の平行度の調整は、きわめて精密な調整作業であることや、作業の安全性等を考慮すると、製造装置に熱や圧力がかからない状態で行う必要がある。しかしながら、実際に光学素子を製造する加熱および押圧成形の工程では、製造装置の熱変形やプレートの押圧力による製造装置の撓み等の影響を必然的に受けてしまうため、仮に調整機構によって平行度を調整したとしても、製造中に平行度が変化してしまう。

【0006】

また、特許文献１で提案されたような調整機構では、当該調整機構を製造装置に取り付けるネジの締め込み具合等にばらつきがあることが通常であるため、このような調整機構によってプレート間の平行度を正確に調整するには困難を伴う。しかも、平行度の調整は、光学素子の偏心精度を向上させようとすればするほど精密さが必要となり、その調整が困難となる。また、そもそもプレート間の平行度を調整しようとすると複雑な調整機構が必要となり、コストも増加する。

【0007】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、プレート間の平行度を調整することなく、高い偏心精度を持つ光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子の製造装置は、金型内に配置した成形素材を押圧変形して光学素子を成形する光学素子の製造装置であって、前記金型を構成する上型および下型に押圧力を付与するプレス面をそれぞれ有する上部プレートおよび下部プレートを備え、前記上部プレートは、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を、前記プレス面に装着可能な接続部材を備えることを特徴とする。

【0009】

また、本発明に係る光学素子の製造装置は、上記発明において、前記補正部材を備え、前記補正部材は、前記補正部材に転写された傾きが、前記プレス面同士の傾きと一致するように、前記接続部材によって前記上部プレートのプレス面に装着されていることを特徴とする。

【0010】

また、本発明に係る光学素子の製造装置は、上記発明において、前記補正部材は、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなることを特徴とする。

【0011】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子の製造方法は、上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置を用いた光学素子の製造方法であって、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着する設定工程と、所望の光学機能面を創生する転写面を有する上型および下型から構成された前記金型内に前記成形素材を配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって、前記補正部材を介して前記金型に押圧力を付与し、前記成形素材に前記光学機能面を転写する製造工程と、を含むことを特徴とする。

【0012】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子の製造装置の設定方法は上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置の設定方法であって、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着することを特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、上部プレートおよび下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を介して成形素材を押圧することにより、プレス面同士の相対的な傾きを相殺することができるため、プレート間の平行度を調整することなく、高い偏心精度を持つ光学素子を製造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置の構成を示す断面図である。

【図2】図２は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法を示すフローチャートである。

【図3】図３は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置の設定方法を説明するための断面図である。

【図4】図４は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置およびこれを利用した光学素子の製造方法を説明するための断面図である。

【図5】図５は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置における補正部材の一例を示す平面図である。

【図6】図６は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置における補正部材のその他の一例を示す平面図である。

【図7】図７は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置の変形例の構成を示す断面図である。

【図8】図８は、従来技術に係る光学素子の製造装置およびこれを利用した光学素子の製造方法を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明に係る光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、以下の実施の形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものも含まれる。

【0016】

［光学素子の製造装置］
本実施の形態に係る光学素子の製造装置（以下、「製造装置」という）は、金型内に配置した成形素材（ガラス素材）を押圧変形して光学素子（ガラスレンズ）を成形するものであり、図１に示すように、成形装置１と、型セット（金型）１０と、を備えている。

【0017】

成形装置１は、成形室３０内に搬送された型セット１０を連続的に循環させて光学素子の成形を行う循環式の成形装置である。成形装置１は、加熱ステージ３０ａ、プレスステージ３０ｂおよび冷却ステージ３０ｃを備える成形室３０と、成形室３０内に型セット１０を搬送する図示しない搬送アームと、を備えている。

【0018】

成形室３０は、成形室上板３０１と、成形室下板３０２と、型セット１０を成形室３０に導入する際に開閉する入口シャッター３０３と、型セット１０を成形室３０から排出する際に開閉する出口シャッター３０４と、を備えている。また、成形室３０内は、不活性ガス（例えば窒素ガス）で満たされている。

【0019】

成形室３０の各ステージ（加熱ステージ３０ａ、プレスステージ３０ｂおよび冷却ステージ３０ｃ）は、上側に上部プレート３１が、下側に下部プレート３２が設けられている。各ステージの上部プレート３１および下部プレート３２は、型セット１０を構成する上型１１および下型１２に押圧力を付与するプレス面３１１，３２１を有している。また、各ステージの上部プレート３１および下部プレート３２は、内部にそれぞれヒータを備えており、当該ヒータを介して型セット１０内の成形素材Ｍを加熱または冷却する。また、各ステージの上部プレート３１は、上側に駆動部３３が設けられており、当該駆動部３３により、上下動作と型セット１０への押圧が可能となっている。

【0020】

駆動部３３は、固定ネジ３４によって成形室上板３０１に固定されている。また、プレスステージ３０ｂの上部プレート３１は、ネジ止めにより取り外し可能であり、かつ補正部材３５をプレス面３１１に装着（係止）可能なアタッチメント（接続部材）３６を備えている。補正部材３５は、後記するように、上部プレート３１および下部プレート３２におけるプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きが転写されており、アタッチメント３６によってプレス面３１１に装着されている。なお、アタッチメント３６は、断面がＬ字状に形成されている。

【0021】

型セット１０は、上型１１と、下型１２と、スリーブ１３と、を備えている。上型１１および下型１２は、それぞれ段付きの円柱形状に形成されており、それぞれの転写面１１ａ，１２ａが対向するように配置されている。

【0022】

上型１１の転写面１１ａは、光学素子に凹形状の光学機能面を創生するためのものである。すなわち、上型１１は、下型１２と対向する端面に球面状の凸部が形成されており、その凸部が転写面１１ａを構成している。

【0023】

下型１２の転写面１２ａは、光学素子に凸形状の光学機能面を創生するためのものである。すなわち、下型１２は、上型１１と対向する端面に、球面状の凹部が形成されており、その凹部が転写面１２ａを構成している。

【0024】

スリーブ１３は、上型１１および下型１２を支持し、かつ両者の位置決めを行うためのものである。スリーブ１３は、円筒状に形成されており、上型１１および下型１２の周囲に配置されている。

【0025】

ここで、本発明が解決すべき課題である上部プレート３１と下部プレート３２との間の傾きについて、図８を参照しながら説明する。同図に示すように上部プレート３１のプレス面３１１と、下部プレート３２のプレス面３２１とは、様々な加工誤差や取付誤差等に起因して、０ではない相対的な傾きαを持っている。

【0026】

この傾きαは、実際に光学素子を成形する際には、成形装置１を構成する部材の熱膨張や熱変形、あるいはプレスステージ３０ｂを固定している成形室３０の押圧力による撓みの影響を受けて変化する。なお、傾きαは、実際には例えば１／６０度程度の微小な値を想定しており、図８では説明の便宜上、この傾きαの値を誇張して図示している（後記する図３、図４および図７に示した傾きαも同様）。

【0027】

図８に示すように、上下のプレス面３１１，３２１同士に相対的な傾きαを持った状態で成形素材Ｍを押圧すると、成形後の光学素子にも傾きαが転写される。なお、同図に示すように、上型１１および下型１２と、スリーブ１３との間の隙間が十分大きい場合、成形後の光学素子には、傾きαがそのまま転写される。一方、例えば上型１１および下型１２と、スリーブ１３との間の隙間が小さい場合、傾きαがスリーブ１３によって規制されるため、成形後の光学素子には、上型１１および下型１２が取り得る最大の傾き（＜傾きα）が転写される。このように、従来の成形装置では、少なくとも０ではない傾きが成形後の光学素子に転写されるという問題がある。

【0028】

そこで、本実施の形態では、図１に示すように、予め上下のプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きαを転写した補正部材３５を製作し、上部プレート３１と型セット１０との間にこの補正部材３５を挟んだ状態で押圧することにより、前記した傾きαを相殺する構成としている。

【0029】

［光学素子の製造方法］
以下、製造装置を利用した本実施の形態に係る光学素子の製造方法について、図１〜図７を参照しながら説明する。本実施の形態に係る光学素子の製造方法は、図２に示すように、製造装置の設定工程（製造装置の設定方法）Ｓ１と、光学素子の製造工程Ｓ２と、を行う。

【0030】

製造装置の設定工程Ｓ１は、図３に示すように、成形素材Ｍの製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材Ｍｃを補正部材用型セット（補正部材用金型）４０内に配置し、上部プレート３１および下部プレート３２によって補正部材用型セット４０に押圧力を付与することにより補正部材３５を成形した後、上部プレート３１に補正部材３５を装着する工程である。

【0031】

製造装置の設定工程Ｓ１では、補正部材用成形素材Ｍｃとして、例えばガラス素材「Ｌ−ＬＡＨ５３」を使用する。Ｌ−ＬＡＨ５３は、屈服点Ａｔ＝６０７℃、転移点Ｔｇ＝５７４℃の材料であり、６０７℃付近では成形しやすく、５７４℃以下では変形しない性質を有している。なお、補正部材用成形素材Ｍｃは、Ｌ−ＬＡＨ５３に限定されないが、後記するように、成形素材Ｍの製造温度帯では変形しない素材で構成される。また、補正部材用成形素材Ｍｃの形状は、例えば厚み５ｍｍの円筒形状であり、上面および下面は研磨されている。

【0032】

補正部材用型セット４０は、上型４１と、下型４２と、スリーブ４３と、を備えている。上型４１および下型４２は、それぞれ精度良く平面加工された平面状の転写面４１ａ，４２ａを有しており、補正部材用成形素材Ｍｃに平面状の上面および下面を転写する。なお、上型４１および下型４２と、スリーブ４３との間には、例えば０．１ｍｍ程度の十分に大きい隙間が形成されており、上下のプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きαを規制しないように構成されている。また、製造装置の設定工程Ｓ１において、補正部材用型セット４０および補正部材用成形素材Ｍｃ以外の構成は、全て後記する光学素子の製造工程Ｓ２と同じものを用い、傾きαを再現できるような環境に設定する。

【0033】

（加熱工程）
製造装置の設定工程Ｓ１では、まず補正部材用型セット４０内に補正部材用成形素材Ｍｃを配置し、図示しない搬送アームによって当該補正部材用型セット４０を成形室３０の加熱ステージ３０ａに搬送する。そして、加熱ステージ３０ａにおいて、補正部材用型セット４０を６２０℃まで加熱し（図２のステップＳ１１参照）、補正部材用成形素材Ｍｃを軟化させる。

【0034】

（押圧工程）
続いて、図３に示すように、図示しない搬送アームによって補正部材用型セット４０をプレスステージ３０ｂに搬送し、６２０℃を維持した状態で、駆動部３３によって上部プレート３１に３ＭＰａの押圧力を付与して押圧を行う（図２のステップＳ１２参照）。これにより、補正部材用成形素材Ｍｃを徐々に変形させ、厚さが例えば４ｍｍとなった時点で上部プレート３１を上方に退避させて押圧を終了する。

【0035】

（冷却工程）
続いて、図示しない搬送アームによって補正部材用型セット４０を冷却ステージ３０ｃに搬送し、補正部材用型セット４０を１００℃まで冷却し（図２のステップＳ１３参照）、冷却後の補正部材用型セット４０を成形室３０から排出する。以上の手順により、上下のプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きαが転写された補正部材３５を成形する。

【0036】

（装着工程）
そして最後に、図４に示すように、アタッチメント３６により、上部プレート３１に補正部材３５を装着する（図２のステップＳ１４参照）。補正部材３５は、具体的には、当該補正部材３５に転写された傾きαが、上下のプレス面３１１，３２１同士の傾きαと一致するように、アタッチメント３６によって上部プレート３１のプレス面３１１に装着される。

【0037】

また、補正部材３５の装着する際は、光軸（図４の一点鎖線参照）を中心とした回転方向に対して、精度良く装着する必要がある。従って、補正部材３５には、例えば図５に示すように、回転方向を規制するための平面部３５３を少なくとも一方向以上に設け、かつ前記した補正部材用成形素材Ｍｃの押圧工程（図３参照）における上部プレート３１との間の光軸を中心とした回転方向の位置関係を保持しつつ、上部プレート３１のプレス面３１１に装着する。

【0038】

なお、図５は、図４における補正部材３５およびアタッチメント３６を上から見た状態を示しており、符号３６１は、アタッチメント３６を上部プレート３１のプレス面３１１に固定する際の固定ネジ（図示省略）が挿入されるネジ孔である。また、同図に示すような補正部材３５の平面部３５３は、例えば前記した補正部材用成形素材Ｍｃの押圧工程において、平面部３５３に相当する位置に、円弧および直線からなる形状の規制部材を配置した状態で押圧を行うことにより、形成することが可能である。

【0039】

またその他に、例えば図６に示すように、円筒形状の補正部材３５Ａの上面３５１に直線状の溝等からなるマーキング３５４を設け、そのマーキング３５４と上部プレート３１のプレス面３１１に予め設けた同形状のマーキング（例えば直線状の印）とが一致するように、アタッチメント３６によって補正部材３５Ａをプレス面３１１に装着してもよい。なお、この場合も、前記した補正部材用成形素材Ｍｃの押圧工程（図３参照）における上部プレート３１との間の光軸を中心とした回転方向の位置関係を保持しつつ、補正部材３５Ａをプレス面３１１に装着する。なお、同図に示すマーキング３５４は、例えば前記した補正部材用成形素材Ｍｃの押圧工程において、マーキング３５４に対応する直線状の突起部が転写面に設けられた上型４１を用いて押圧することにより、形成することが可能である。

【0040】

光学素子の製造工程Ｓ２は、図４に示すように、型セット１０内に成形素材Ｍを配置し、上部プレート３１および下部プレート３２によって、補正部材３５を介して型セット１０に押圧力を付与し、成形素材Ｍに光学機能面を転写する工程である。

【0041】

光学素子の製造工程Ｓ２では、成形素材Ｍとして、例えばガラス素材「Ｓ−ＦＰＬ５１」を使用する。Ｓ−ＦＰＬ５１は、屈服点Ａｔ＝４８９℃、転移点Ｔｇ＝４５８℃の材料であり、４８９℃付近では成形しやすく、４５８℃以下では変形しない性質を有している。また、成形素材Ｍの形状は、ボール形状（球形状）であり、表面は研磨されている。

【0042】

光学素子の製造工程Ｓ２では、前記したように、補正部材３５が上部プレート３１に装着されたプレスステージ３０ｂにおいて、上下のプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きαが、同じ傾きαを有する補正部材３５によって相殺されている。従って、補正部材３５の下面３５２と下部プレート３２のプレス面３２１との間の相対的な傾きは０になる。なお、図４では、補正部材３５の下面３５２と、紙面右側のアタッチメント３６との間に隙間が形成されているが、前記したように、実際の傾きαは１／６０度程度の微小な値であるため、前記した隙間も実際には非常に小さなものである。さらに、後記する成形素材Ｍの押圧工程では、上部プレート３１と上型１１とによって補正部材３５が隙間なく挟まれている状態となるため、前記した隙間の有無は成形の際の問題とはならない。

【0043】

（加熱工程）
光学素子の製造工程Ｓ２では、まず型セット１０内に成形素材Ｍを配置し、図示しない搬送アームによって当該型セット１０を成形室３０の加熱ステージ３０ａに搬送する。そして、加熱ステージ３０ａにおいて、型セット１０を５００℃まで加熱し（図２のステップＳ２１参照）、成形素材Ｍを軟化させる。

【0044】

（押圧工程）
続いて、図３に示すように、図示しない搬送アームによって型セット１０をプレスステージ３０ｂに搬送し、５００℃を維持した状態で、駆動部３３によって上部プレート３１に３ＭＰａの押圧力を付与して押圧を行う（図２のステップＳ２２参照）。その際、上部プレート３１による押圧力は、補正部材３５を介して上型１１に作用する。また、押圧の際の補正部材３５の温度は５００℃近傍であるため、補正部材３５が変形する温度である５７４℃（Ｌ−ＬＡＨ５３の転移点Ｔｇ＝５７４℃）よりも十分に低い。従って、押圧中に補正部材３５が変形することはなく、上下のプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きαが相殺された状態を維持しつつ、上型１１に押圧力を加えることが可能となる。押圧工程では、このような押圧力によって成形素材Ｍを徐々に変形させ、所望の厚さとなった時点で上部プレート３１を上方に退避させて押圧を終了する。

【0045】

（冷却工程）
続いて、図示しない搬送アームによって型セット１０を冷却ステージ３０ｃに搬送し、型セット１０を１００℃まで冷却し（図２のステップＳ２３参照）、冷却後の型セット１０を成形室３０から排出する。以上の手順により、上下のプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きαが転写されていない、高い偏心精度を持つ光学素子を得ることができる。

【0046】

以上説明した実施の形態に係る光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法によれば、上部プレート３１および下部プレート３２におけるプレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きを転写した補正部材３５を介して成形素材Ｍを押圧することにより、プレス面３１１，３２１同士の相対的な傾きを相殺することができるため、プレート間の平行度を調整することなく、高い偏心精度を持つ光学素子を製造することが可能となる。

【0047】

［変形例］
例えば光学素子を成形する際の成形素材Ｍを別の温度域のものに変更する場合や、成形装置１のメンテナンスを行う場合、補正部材３５を上部プレート３１から取り外す必要がある。この場合、前記した実施の形態では、アタッチメント３６を取り外さなければ補正部材３５を取り外すことができないが、例えば図７に示すような構成であれば、補正部材３５をより容易に取り外すことが可能である。

【0048】

変形例に係る成形装置は、アタッチメント３６を備えておらず、上部プレート３１Ａの内部に、吸気を行う吸引部３７が設けられている。この吸引部３７は、図示しない吸引装置に接続されている。このような構成を備える変形例に係る成形装置では、吸引部３７によって補正部材３５を上部プレート３１Ａのプレス面３１１に吸着して保持する。なおその際、補正部材３５と、補正部材用成形素材Ｍｃの押圧工程（図３参照）における上部プレート３１Ａとの間の光軸を中心とした回転方向の位置関係を保持するために、例えば図示しない回転方向合わせ用の治具を用いて補正部材３５をプレス面３１１に押し当てながら補正部材３５をプレス面３１１に吸着させることが好ましい。

【0049】

以上、本発明に係る光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法について、発明を実施するための形態により具体的に説明したが、本発明の趣旨はこれらの記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて広く解釈されなければならない。また、これらの記載に基づいて種々変更、改変等したものも本発明の趣旨に含まれることはいうまでもない。

【0050】

例えば、前記した実施の形態では、本発明を循環式の成形装置１に適用した例について説明したが、金型固定式の成形装置に適用してもよい。

【0051】

また、前記した実施の形態では、補正部材３５をプレスステージ３０ｂの上部プレート３１にのみに装着していたが、必要に応じて、補正部材３５を加熱ステージ３０ａや冷却ステージ３０ｃの上部プレート３１に装着してもよい。

【符号の説明】

【0052】

１ 成形装置
１０ 型セット
１１ 上型
１１ａ 転写面
１２ 下型
１２ａ 転写面
１３ スリーブ
３０ 成形室
３０１ 成形室上板
３０２ 成形室下板
３０３ 入口シャッター
３０４ 出口シャッター
３０ａ 加熱ステージ
３０ｂ プレスステージ
３０ｃ 冷却ステージ
３１，３１Ａ 上部プレート
３１１ プレス面
３２ 下部プレート
３２１ プレス面
３３ 駆動部
３４ 固定ネジ
３５，３５Ａ 補正部材
３５１ 上面
３５２ 下面
３５３ 平面部
３５４ マーキング
３６ アタッチメント（接続部材）
３６１ ネジ孔
３７ 吸引部
４０ 補正部材用型セット
４１ 上型
４１ａ 転写面
４２ 下型
４２ａ 転写面
４３ スリーブ
Ｍ 成形素材
Ｍｃ 補正部材用成形素材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】