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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6738785
(24)【登録日】2020年7月22日
(45)【発行日】2020年8月12日
(54)【発明の名称】発光デバイス及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
H01L 33/62 20100101AFI20200730BHJP
H01L 23/48 20060101ALI20200730BHJP
【ＦＩ】
H01L33/62
H01L23/48 P
【請求項の数】12
【外国語出願】
【全頁数】10
(21)【出願番号】特願2017-217314(P2017-217314)
(22)【出願日】2017年11月10日
(62)【分割の表示】特願2013-539375(P2013-539375)の分割
【原出願日】2011年11月14日
(65)【公開番号】特開2018-22930(P2018-22930A)
(43)【公開日】2018年2月8日
【審査請求日】2017年11月13日
(31)【優先権主張番号】61/415,395
(32)【優先日】2010年11月19日
(33)【優先権主張国】US
(73)【特許権者】
【識別番号】517152128
【氏名又は名称】ルミレッズ ホールディング ベーフェー
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(74)【代理人】
【識別番号】100091214
【弁理士】
【氏名又は名称】大貫 進介
(72)【発明者】
【氏名】モー キンウェイ
(72)【発明者】
【氏名】ファンデルヘーゲン ダーク パウル ヨセフ
【審査官】
百瀬 正之
(56)【参考文献】
【文献】
特開２００７−１３４３７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
国際公開第２００６／０９５８３４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】
特開２０１０−１６５９７９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００６−２６１５１９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２００７−３３５７６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１０−２３８８３３（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平０６−０４３３４３（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平０５−１２９６６１（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１０−１７７３２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】
登録実用新案第３１１７２８１（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
特開２００３−３０９２９３（ＪＰ，Ａ）
【文献】
米国特許出願公開第２００５／０１９９８８４（ＵＳ，Ａ１）
【文献】
独国特許出願公開第１０２００４０３４５３６（ＤＥ，Ａ１）
【文献】
国際公開第２００９／０５１１７８（ＷＯ，Ａ１）
【文献】
特開２００８−２５８５６７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
国際公開第２００７／０３４５３７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】
特開２００７−１０９９１１（ＪＰ，Ａ）
【文献】
国際公開第２００７／０１８０９８（ＷＯ，Ａ１）
【文献】
特開２００５−３０２９４４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開昭６３−９３１７７（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特表２００７−５０７８９５（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｈ０１Ｌ ３３／００−３３／６４
Ｈ０１Ｌ ２３／４８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
少なくとも１つのキャリア素子を含むフレームを供給するステップであって、前記キャリア素子は、互いに電気的に分離された複数の導体領域を有する、ステップと、
少なくとも１つの発光デバイス（ＬＥＤ）ダイのコンタクトを、直接的に前記導体領域に取り付けるステップと、
前記導体領域が、物理的且つ電気的に、前記ＬＥＤダイを介する以外に互いに接続されないように、前記キャリア素子を前記フレームから分離するステップと、
を有する方法。
少なくとも１つの発光デバイス（ＬＥＤ）ダイのコンタクトを、直接的に前記導体領域に取り付けるステップと、
前記導体領域が、物理的且つ電気的に、前記ＬＥＤダイを介する以外に互いに接続されないように、前記キャリア素子を前記フレームから分離するステップと、
を有する方法。
【請求項2】
前記キャリア素子を前記フレームから分離するステップの後に、前記導体領域間に誘電材料を配置するステップ、を更に有する請求項１記載の方法。
【請求項3】
前記導体領域は、前記ＬＥＤダイからの熱を放散する熱伝導領域と、前記ＬＥＤダイを外部エネルギー源に結合する１又は複数の電極とを含む、請求項１記載の方法。
【請求項4】
前記複数の導体領域に対応するパターンに従って、前記フレームから材料を除去することによって、前記フレームを形成するステップ、を含む請求項１記載の方法。
【請求項5】
前記複数の導体領域は、アノード領域、カソード領域、及び、熱輸送領域を含み、前記アノード領域及び前記カソード領域は、それぞれ、前記ＬＥＤダイに付随するアノード電極及びカソード電極の結合を支援するために設けられる、請求項１記載の方法。
【請求項6】
前記取り付けるステップは、リフローはんだ付けすることを含む、請求項１記載の方法。
【請求項7】
発光デバイス（ＬＥＤ）であって、
複数の導体領域と、
前記複数の導体領域にまたがって延在し、前記複数の導体領域の各々に直接的に接着されたＬＥＤダイと、
を有し、
前記導体領域が、前記ＬＥＤダイのための構造的支持と、前記ＬＥＤダイへの電気的及び熱的な結合とを提供し、前記導体領域は、物理的且つ電気的に、前記ＬＥＤダイを介する以外に互いに接続されていない、
ＬＥＤ。
複数の導体領域と、
前記複数の導体領域にまたがって延在し、前記複数の導体領域の各々に直接的に接着されたＬＥＤダイと、
を有し、
前記導体領域が、前記ＬＥＤダイのための構造的支持と、前記ＬＥＤダイへの電気的及び熱的な結合とを提供し、前記導体領域は、物理的且つ電気的に、前記ＬＥＤダイを介する以外に互いに接続されていない、
ＬＥＤ。
【請求項8】
前記導体領域の１又は複数は、対応するレセプタクルへの当該ＬＥＤの挿入を支援するピン構造を有する、請求項７記載のＬＥＤ。
【請求項9】
前記導体領域の各々が銅を有する、請求項７記載のＬＥＤ。
【請求項10】
前記導体領域の各々が、少なくとも０．７５ｍｍの厚さを有する、請求項７記載のＬＥＤ。
【請求項11】
前記ＬＥＤダイは、前記複数の導体領域にはんだで接着されている、請求項７記載のＬＥＤ。
【請求項12】
前記ＬＥＤダイは、前記ＬＥＤダイの上面を通じて光を放射する１又は複数の発光素子を有し、前記ＬＥＤダイは、前記上面とは反対側の前記ＬＥＤダイの底面上のコンタクトを介して、前記複数の導体領域に接着されている、請求項７記載のＬＥＤ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、集積回路（ＩＣ）の製造及び組み立ての分野に関し、特に、発光デバイス（ＬＥＤ）の製造に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体発光デバイス（ＬＥＤ）の発光能力が改善され続けており、また、従来的な照明アプリケーションにおける使用が増加し続けているため、信頼性のある、長寿命の製品を費用効率の良い方法で供給する競争圧力も同様に増加し続けている。ＬＥＤ製品のコストは比較的低いが、ますます成長している当該デバイスの市場のために、デバイス当たりわずか数セントの節約が、利鞘に重大な影響を与え得る。
【0003】
発光デバイスを供給する個々のダイのサイズを小さくすることにおいて進歩が続いており、これにより、材料コストは小さくなっているが、ダイがより大きな基板上にマウントされるということに対処する必要がある。例えば、半導体製造業者は、１ｍｍ×１ｍｍほどの大きさの個々のダイをピックアンドプレースでき、各ダイ上のコンタクトへの接続を供給できる設備を有するが、従来プリント回路基板の製造に用いられてきた当該設備は、かかるダイの配置又は接続に適していない。同様に、発光デバイスは、しばしば、プラグイン交換可能な部品であり、人間の手によって把持されるほど十分に大きい必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
図１Ａ及び図１Ｂは、ＬＥＤダイ１１０をマウントするための基板１５０の例を示している。基板１５０は、通常、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）又はアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）などのセラミックであり、ダイ１１０と基板１５０との組み合わせは、一般的に、デバイスオンセラミック（ＤｏＣ：Device on Ceramic）と称される。
【0005】
図１のＬＥＤダイ１１０の例は、４つの発光素子１１６の使用を示している。コンタクト１１２は、発光素子が外部電源に結合できるようにしている。この例では、圧力クリップ１２２が、ダイ１１０を基板１５０に保持し、さらに、コンタクト１１２への電気的結合を供給している。圧力クリップの使用は、ダイ１１０を交換しやすくする。
【0006】
パッド１２０は、ＬＥＤデバイスがマウントされた基板を外部電源に取り付けるために供給され、例えば、デバイスをプリント回路基板又は同様の構造体にボンディングするためのボンドパッドとして用いられ得る。ボンドパッド１２０は、コンタクト１１２と同じ機能を供給するが、前述のように、一般的なプリント回路基板製造の設備及び技術を手助けするために、コンタクト１１２よりもかなり大きい。
【0007】
基板１５０は、発光素子１１６によって生成された熱を放散するためのヒートシンクとしても機能する。
【0008】
図１Ｃは、ＬＥＤダイ１１０が基板１５０上のパッド１２０に、はんだ素子１２２を介して、はんだ付けされた代替的な配置を示している。この実施例では、１又は複数のビア１１５、又は、ダイ１１０内の他の内部経路が、発光素子１１６への結合を供給する。図１Ｃの例では、上側のコンタクト１１２も設けられ、これにより、ＬＥＤダイは、図１Ｂ又は図１Ｃのいずれの構成においても使用されることができる。
【0009】
図１Ｃの例は、ＬＥＤダイにはんだ付けされたヒートシンクパッド１３０の使用についても示している。この配置は、一般的に、ＬＥＤダイ１１０と基板１５０との間に改善された熱結合を与えるが、一般的に、ダイ１１０の下側の表面上に、然るべきはんだ付け可能な熱輸送コンタクト１１８を必要とする。
【0010】
パッド１２０，１３０などの、セラミック上への導体配線の配置は成熟技術であるが、かかるパッド１２０，１３０を有するセラミック基板の製造はコストがかかるとともに、これらのパッドを供給するために一般的に用いられる金属の熱膨張係数とセラミック基板の熱膨張係数との間の不整合のために、基板からパッド１２０，１３０が分離する恐れがある。
【課題を解決するための手段】
【0011】
低コストの発光製品を供給することが好適であろう。また、より高い信頼性及び／又はより長い動作寿命を潜在的に有する発光製品を供給することが好適であろう。さらに、かかる発光製品のコスト効果的な製造方法を供給することが好適であろう。
【0012】
これらの利点、及び、他の利点は、ＬＥＤダイに対して構造的支持を供給するとともに、電気的及び熱的な結合をＬＥＤダイに供給する低コストの導体キャリア素子を使用するプロセスによって実現可能である。少なくとも１つのキャリア素子を含むリードフレームが供給され、当該キャリア素子は、ＬＥＤダイが取り付けられる区別可能な導体領域を形成するために分割される。キャリア素子がフレームによって分離された場合、導体領域は、互いに、電気的に絶縁される。誘電体が、キャリア素子の導体領域間に配置されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【0013】
本発明は、添付の図面を参照して、より詳細に、且つ、一例として、説明される。【発明を実施するための形態】
【0014】
以下の説明において、限定というよりもむしろ例示の目的のため、特定の詳細が、本発明の概念の深い理解を与えるために、特定の構造、インタフェース、技術などとして示される。しかしながら、当該技術分野における当業者にとって、本発明が、これらの特定の詳細から逸脱した他の実施形態において実施可能であることが理解されるであろう。同様に、当該説明の文章は、図面に示されたような実施例を示すものであって、請求項に明示的に含まれる限定を越えて本発明を限定するようには意図されていない。簡単化及び明確化の目的のため、よく知られたデバイス、回路、及び、方法の詳細な説明は、不要な詳細によって本発明の説明を曖昧にしないように、省略されている。
【0015】
また、以下の説明では、当該技術分野における当業者は、本発明の原理が以下の言及に限定されないことを理解するであろうが、ここで提示される原理のよりよい及び／又は容易な理解の促進のため、一般的な要素及び工程が言及されている。以下、例を示す。
【0016】
図２Ａ及び図２Ｂは、導体キャリア上のダイの配置例を示している。この例では、ＬＥＤダイ１１０が、ダイ１１０に構造的支持と電気的及び熱的な結合との両方を与える導体キャリア構造２１０，２２０上にマウントされている。この例におけるキャリア構造は、２つの導電体２１０と熱輸送導体２２０とを含んでいる。
【0017】
この実施例では、従来的な表面実装デバイス（ＳＭＤ：Surface Mount Device）はんだリフロー技術を用いて、ＬＥＤダイ１１０が、導体２１０及び導体２２０にはんだ付けされていてもよい。導体２１０が導電性であるため、外部電源からＬＥＤダイ１１０への電気的結合が、導体２１０の任意のアクセス可能な側部又は端部を用いて達成され得る。同様に、熱結合が、導体２２０の任意のアクセス可能な側部又は端部を用いて達成され得る。
【0018】
図３は、図２Ａ及び図２Ｂにおける導体２１０，２２０に対応する、３つの区別可能な導体領域を有するキャリア構造を含むリードフレーム３５０を例示している。即ち、リードフレーム３５０は、ＬＥＤダイ１１０に結合するための導体２１０，２２０の意図された形状及び配置を規定するパターン状のスリット又は開口３５５を含んでいる。開口３５５間のタブ３５７は、導体２１０，２２０をフレーム構造全体に取り付けられたままにする。例えば、リードフレーム３５０は、図２の発光デバイス２００のための主な構造的支持を与えるのに十分厚い（サイズに依存して、０．７５ｍｍよりも厚く、好ましくは１．５ｍｍよりも厚い）銅のシートであってもよいが、他の導体材料が使用されてもよい。
【0019】
明確化のため、「領域」なる用語は、ここでは、最終的には図２のデバイス２００などのキャリアベースの発光デバイスのための意図された導体になるフレーム上の領域を称するために用いられている。これらの領域及び最終的な導体は、同じ素子であるので、フレーム上の領域又はデバイス上の導体のいずれかを参照する場合、同じ参照符号２１０，２２０が用いられる。同様に、これらの導体２１０，２２０の組み合わせがキャリア構造全体を形成するので、当該組み合わせは、キャリア構造２１０，２２０として参照されるであろう。
【0020】
このリードフレーム３５０の使用は、図４のフロー図を参照して最もよく理解される。この例では、当該技術分野における当業者は、フローがこの特定の例に限定されないことを理解するであろうが、図４は、リードフレーム４５０及びＬＥＤダイ１１０の例の参照符号を用いて説明されている。
【0021】
４１０において、キャリア構造２１０，２２０を有するリードフレーム３５０が供給される。４２０において、ＬＥＤダイ１１０が、キャリア構造２１０，２２０上に配置される。複数のＬＥＤダイが単一のキャリア構造上にマウントされてもよいが、一般的に、１つのＬＥＤダイ１１０が、各キャリア構造２１０，２２０上に配置される。
【0022】
４３０において、ＬＥＤダイ１１０が、一般的にはＳＭＤはんだリフロー技術を用いて、キャリア構造２１０，２２０の然るべき導体領域２１０，２２０に取り付けられるが、ＬＥＤダイ１１０をこれらの領域２１０，２２０に結合する他の手段が用いられてもよい。例えば、ＬＥＤダイが、ビア１１５、又は、ＬＥＤダイの底面を介して結合する他の手段を含まない場合、ダイ上のコンタクト１１２は、従来的なワイヤボンディング技術を用いて、領域２１０にワイヤボンディングされてもよい。
【0023】
ある実施形態では、ＬＥＤダイ１１０は、機械的コンタクトに頼ることで、それ自体が領域２２０に取り付けられなくてもよく、機械的コンタクトは、場合により、ＬＥＤダイ１１０と領域２２０との間の効率的な熱結合を保証するため、熱輸送ペースト又はコンパウンドで増補されてもよい。同様に、ある実施形態では、リードフレーム３５０は、ＬＥＤダイ１１０と領域２１０との間の信頼性のある電気的結合を保証するため、少なくともＬＥＤダイ１１０へのコンタクト箇所において、金メッキされていてもよい。
【0024】
４４０において、（ＬＥＤダイ１１０が取り付けられた）キャリア構造２１０，２２０は、一般的には、キャリア構造２１０，２２０をフレーム３５０の残りに接続するタブ３５７を切断することによって、フレーム３５０から分離され、これにより、図２Ａ及び図２Ｂの発光デバイス２００が作り出される。
【0025】
フレーム３５０の例が、１つのキャリア構造２１０，２２０を形成するように示されているが、当該技術分野における当業者は、図５及び図６のフレーム５５０，６５０の例に示されるように、複数のキャリア構造が単一のフレーム上に設けられてもよいことを理解するであろう。
【0026】
フレーム５５０の例は、図３のフレーム３５０の例の複製を含んでいる。この例では、１６個のキャリア構造２１０，２２０が、フレーム５５０中に設けられ、各キャリア構造２１０，２２０は、取り付けられたＬＥＤダイ１１０を有している。
【0027】
フレーム６５０の例は、ＬＥＤダイ１１０が取り付けられたキャリア構造２１０，２２０がフレームから除去された場合に、無駄になる材料を最小化するように設計されている。この例では、フレーム６５０において必要とされる開口３５５の数を減少するため、キャリア構造２１０，２２０が交互に位置しており、領域２１０，２２０をフレーム６５０に取り付けられたままにするタブ３５７が、キャリア構造２１０，２２０がフレーム６５０から分離された場合に作り出される切れ目６６０に沿って配置されている。この例では、１６個の発光デバイス（図２中の２００）が作り出されるが、フレーム６５０のサイズは、図５のフレーム５５０のサイズよりも著しく小さくなる。
【0028】
図７Ａ〜図７Ｃは、キャリア構造の例を示している。これらの例では、キャリア構造２１０，２２０のサイズは、ダイ１１０に関して、図１中の基板１５０と略同じサイズである。これらのより大きな構造２１０，２２０によって引き起こされるダイ１１０上の潜在的な応力を減少させるため、導体２１０，２２０間の空間が、誘電材料で満たされる。当該態様では、構造２１０，２２０は、実質的に、自己支持でき、ダイ１１０上に最小の応力をもたらす。
【0029】
誘電体は、ＬＥＤダイ１１０がキャリア構造２１０，２２０に取り付けられる前又は後で、キャリア構造２１０，２２０がフレームから分離される前又は後で、あるいは、これら両方の組み合わせで、追加されてもよい。例えば、図７Ｂにおいて、導体２１０は、誘電体７１５によって絶縁されており、従って、誘電体７１５の少なくとも一部は、（導体２１０をフレームに保持していたタブの位置において）導体２１０がフレームから分離された後で追加されなければならない。しかしながら、導体２１０，２２０の間の空間は、ＬＥＤダイ１１０がこれらの導体に取り付けられる前に満たされてもよい。
【0030】
図７Ｃは、導体２１０が追加的な機能を提供してもよいという事実を示している。この例では、導体２１０は、プリント回路基板におけるホール、又は、デバイス７００を交換可能にするプラグなどの、デバイス７００を然るべきレセプタクル内に挿入しやすくするピン形状の部分７１０を含んでいる。
【0031】
これらの請求項を解釈する際、以下のことが理解されるべきである。即ち、
【0032】
（ａ）「有する」なる用語は、他の要素の存在を除外せず、又は、所与の請求項中に挙げられた以上のものを示す。
【0033】
（ｂ）要素の前の「ａ」又は「ａｎ」なる用語は、かかる要素が複数あることを除外しない。
【0034】
（ｃ）請求項中の任意の参照符号は、本発明の範囲を限定しない。
【0035】
（ｄ）幾つかの「手段」は、同じ部品、ハードウェア、ソフトウェア実装構造体、又は、機能によって、実現されてもよい、
【0036】
（ｅ）開示された要素のそれぞれは、ハードウェア部品（例えば、ディスクリート及び集積電子回路）、ソフトウェア部品（例えば、コンピュータプログラム）、及び、これらの組み合わせに分類されてもよい。
【0037】
（ｆ）ハードウェア部品は、プロセッサを含んでいてもよく、ソフトウェア部品は、非トランジェント（non-transient）なコンピュータ読み取り可能な媒体に格納されてもよく、さらに、開示された要素の１又は複数の幾つか又は全部の機能をプロセッサに実行させるように構成されていてもよい。
【0038】
（ｇ）ハードウェア部品は、アナログ及びディジタルの部分のいずれか又は両方に分類されてもよい。
【0039】
（ｈ）任意の、開示されたデバイス又は当該デバイスの部品は、一緒に組み合わせられてもよいし、又は、特に明示しない場合、更なる部品に分割されてもよい。
【0040】
（ｉ）特に明示しない場合、特定の動作順序が必要とされる意図はない。
【0041】
（ｊ）「複数の」要素なる用語は、２つ又は２つ以上の請求項の要素を含み、要素の数の任意の特定の範囲を示すものではない、即ち、複数の要素は、わずか２つの要素であってもよいし、とてつもなく大きな数の要素を含んでいてもよい。