特許 6739221 センサおよびセンサの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6739221

(24)【登録日】2020年7月27日

(45)【発行日】2020年8月12日

(54)【発明の名称】センサおよびセンサの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/06 20060101AFI20200730BHJP

   G01R 27/22 20060101ALI20200730BHJP

   G01R 27/26 20060101ALI20200730BHJP

   G01N 27/22 20060101ALI20200730BHJP

【ＦＩ】

   G01N27/06 A

   G01R27/22

   G01R27/26 H

   G01N27/22 B

【請求項の数】3

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2016-89096(P2016-89096)

(22)【出願日】2016年4月27日

(65)【公開番号】特開2017-198527(P2017-198527A)

(43)【公開日】2017年11月2日

【審査請求日】2019年3月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000000929

【氏名又は名称】ＫＹＢ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100122426

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 清志

(72)【発明者】

【氏名】吉田 尚弘

(72)【発明者】

【氏名】亀田 幸則

【審査官】 小澤 瞬

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−３５２０８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５７−１３５３５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０４７１０７５７（ＵＳ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０４１９１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第０３／０２９８０２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−６４４１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／０２１２３７５（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０１Ｍ １１／００ − Ｆ０１Ｍ １３／０６

Ｇ０１Ｎ ２７／００ − Ｇ０１Ｎ ２７／１０

Ｇ０１Ｎ ２７／１４ − Ｇ０１Ｎ ２７／２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体の状態を検出するセンサであって、
基端側が基部に接続され、互いに並行して配置された一方の電極および他方の電極と、
前記一方の電極の外周面のうち、前記他方の電極と対向する領域を覆っている第１の対向側樹脂部と、
前記他方の電極の外周面のうち、前記一方の電極と対向する領域を覆っている第２の対向側樹脂部と、を備え、
前記第１の対向側樹脂部と前記第２の対向側樹脂部とが離間しており、
前記電極の先端部において、前記第１の対向側樹脂部と前記第２の対向側樹脂部とを連結する連結樹脂部を備えることを特徴とするセンサ。

【請求項2】

前記一方の電極の外周面のうち、前記他方の電極と対向する領域とは反対側の領域の少なくとも一部を覆っている第１の背面側樹脂部と、
前記他方の電極の外周面のうち、前記一方の電極と対向する領域とは反対側の領域の少なくとも一部を覆っている第２の背面側樹脂部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。

【請求項3】

前記連結樹脂部は、非導電性樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサおよびセンサの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

流体の状態を検出する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１には、回転部や摺動部に循環供給され、これら各部品の摩耗を防いで円滑に動作させるためのオイルについて、状態を検出する装置が示されている。この装置は、オイル流路に互いに並行して設置された２枚の極板を備えており、これら２枚の極板間に交流電圧を印加することによってオイルの誘電率および導電率を求め、求めた誘電率および導電率に基づいてオイルの状態を検出する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００９−２６９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に示されているオイルには、回転部や摺動部の摩耗による金属片などの異物が混入することがある。２枚の極板の互いに対向する面に異物が付着すると、オイルの誘電率や導電率に測定誤差が生じてしまい、オイルの誘電率や導電率を正確に求めることができず、オイルの状態を適正に検出できないおそれがあった。

【0006】

そこで、本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、流体の状態をより適正に検出するセンサを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の１またはそれ以上の実施形態は、流体の状態を検出するセンサであって、互いに並行して配置された一方の電極および他方の電極と、前記一方の電極の外周面のうち、前記他方の電極と対向する領域を覆っている第１の対向側樹脂部と、前記他方の電極の外周面のうち、前記一方の電極と対向する領域を覆っている第２の対向側樹脂部と、を備え、前記第１の対向側樹脂部と前記第２の対向側樹脂部とが離間していることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

本発明の１またはそれ以上の実施形態によれば、流体の状態をより適正に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１実施形態に係るセンサを備える状態検出装置のブロック図である。

【図2】本発明の第１実施形態に係るセンサの斜視図である。

【図3】本発明の第１実施形態に係るセンサの上面図である。

【図4】本発明の第２実施形態に係るセンサの斜視図である。

【図5】本発明の第２実施形態に係るセンサの上面図である。

【図6】本発明の第３実施形態に係るセンサの斜視図である。

【図7】本発明の第３実施形態に係るセンサの上面図である。

【図8】本発明の第４実施形態に係るセンサの上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、以下の実施形態における構成要素は適宜、既存の構成要素などとの置き換えが可能であり、また、他の既存の構成要素との組み合わせを含む様々なバリエーションが可能である。このため、以下の実施形態の記載をもって、特許請求の範囲に記載された発明の内容を限定するものではない。
また、以下に示す各図には、説明と理解を容易にするために、図中にＸＹＺ直交座標系を設けたが、これらは単に図中の向きを統一して説明するために設定したものであり、絶対的な座標を示すものではない。

【0011】

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係るセンサ１を備える状態検出装置ＡＡのブロック図である。状態検出装置ＡＡは、センサ１、特徴量取得部２、および検出部３を備えており、潤滑油の状態を検出する。

【0012】

図２は、センサ１の斜視図である。センサ１は、円柱状の基部１０と、基部１０に立設された一対の電極２１、２２と、樹脂部３０と、を備える。

【0013】

電極２１、２２は、平板状の極板であり、互いに並行して配置されている。電極２１、２２の基端側（Ｚマイナス側）が基部１０に埋設された状態で、電極２１、２２は基部１０に立設されている。

【0014】

電極２１、２２は、潤滑油の中に設置される。図１の特徴量取得部２は、潤滑油の中に設置された電極２１、２２の間に交流電圧を印加して、電極２１、２２の間の潤滑油の誘電率および導電率を求める。図１の検出部３は、特徴量取得部２により求められた潤滑油の誘電率および導電率に基づいて、潤滑油の状態を検出する。

【0015】

特徴量取得部２および検出部３は、ＣＰＵ、メモリ（ＲＡＭ）、ハードディスクなどを用いて実現される。

【0016】

ハードディスクは、オペレーティングシステムや、潤滑油の状態を検出するための一連の処理を実行するためのプログラムなどを記憶する。なお、ハードディスクは、非一時的な記録媒体であればよく、例えば、ＥＰＲＯＭやフラッシュメモリといった不揮発性のメモリ、ＣＤ−ＲＯＭなどであってもよい。

【0017】

ＣＰＵは、メモリを適宜利用して、ハードディスクに記憶されているデータやプログラムを適宜読み出して、演算や実行を適宜行う。

【0018】

樹脂部３０は、非導電性の樹脂で形成されており、インサート成形により電極２１、２２と一体化されている。樹脂部３０を形成する非導電性の樹脂としては、例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂、液晶ポリマー（ＬＣＰ）樹脂、ナイロン６６（ＰＡ６６）樹脂、フッ素樹脂などを用いることができる。

【0019】

樹脂部３０は、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂを備える。これら第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂについて、図３を用いて説明する。

【0020】

図３は、センサ１の上面図である。第１の対向側樹脂部３１Ａは、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する面（Ｘプラス側の面）を、覆っている。第２の対向側樹脂部３１Ｂは、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する面（Ｘマイナス側の面）を、覆っている。
これら第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとは、離間している。このため、電極２１、２２が潤滑油の中に設置されると、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとの間に潤滑油が流れ込み、電極２１、２２の間に潤滑油が介在することになる。

【0021】

以上のように、センサ１は、第１の対向側樹脂部３１Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する面を、覆っている。このため、例えばコンタミネーションの発生により、ワニスやスラッジなどの異物が潤滑油に含まれていても、電極２１の外周面のうち電極２２と対向する面に、異物が直接付着することはない。
また、センサ１は、第２の対向側樹脂部３１Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する面を、覆っている。このため、異物が潤滑油に含まれていても、電極２２の外周面のうち電極２１と対向する面に、異物が直接付着することはない。
以上によれば、センサ１では、電極２１の外周面のうち電極２２と対向する面や、電極２２の外周面のうち電極２１と対向する面に、上述のような異物が直接付着することがない。このため、異物が直接付着してしまうことにより潤滑油の誘電率や導電率に測定誤差が生じてしまうのを防止して、潤滑油の誘電率および導電率を正確に求めることができ、潤滑油の状態をより適正に検出することができる。
また、電極２１、２２の外周面に、仮に異物が直接付着してしまうと、電極２１、２２に腐食が発生してしまうおそれがある。しかし、センサ１では、上述のように、電極２１の外周面のうち電極２２と対向する面や、電極２２の外周面のうち電極２１と対向する面に、異物が直接付着することはない。このため、電極２１、２２に腐食が発生してしまうのを抑制することができる。
また、第１の対向側樹脂部３１Ａや第２の対向側樹脂部３１Ｂに用いられる樹脂は、電極に用いられる金属と比べて、安定した分子構造を有しているため他の物質との結合性が低い。このため、センサ１では、第１の対向側樹脂部３１Ａを介して電極２１に異物が付着したり、第２の対向側樹脂部３１Ｂを介して電極２２に異物が付着したりする可能性を、低減することができる。

【0022】

また、センサ１が取り付けられている装置の振動や、この装置の周囲で発生した振動が電極２１、２２に伝搬すると、電極２１、２２が撓む可能性がある。仮に、電極２１の厚さ方向（Ｘ方向）に電極２１が撓んだり、電極２２の厚さ方向（Ｘ方向）に電極２２が撓んだりすると、電極２１、２２の間に介在する潤滑油の量が変動してしまい、潤滑油の誘電率および導電率を正確に求めることができなくなってしまうおそれがある。
そこで、センサ１は、第１の対向側樹脂部３１Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する面を、覆っている。このため、電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性が向上する。
また、センサ１は、第２の対向側樹脂部３１Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する面を、覆っている。このため、電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性が向上する。
以上によれば、センサ１は、上述のような振動が電極２１、２２に伝搬しても、電極２１の厚さ方向に電極２１が撓んだり、電極２２の厚さ方向に電極２２が撓んだりするのを抑制することができる。このため、電極２１、２２の間に介在する潤滑油の量の変動を抑えることができ、潤滑油の誘電率および導電率をさらに正確に求めることができる。

【0023】

また、上述のような振動に伴う電極２１、２２の撓みは、電極２１、２２が大型化するに従って発生しやすくなる。
しかし、センサ１は、第１の対向側樹脂部３１Ａにより、上述のように電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性を向上させるとともに、第２の対向側樹脂部３１Ｂにより、上述のように電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性を向上させている。このため、上述のような振動に伴う電極２１、２２の撓みを抑制しつつ、電極２１、２２を大型化することができる。したがって、電極２１、２２の対向する面積を拡大して、電極２１、２２の間に介在する潤滑油の量を増加させることができるので、潤滑油の誘電率および導電率をさらに正確に求めることができる。

【0024】

また、センサ１は、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを離間させている。このため、電極２１、２２が潤滑油の中に設置されると、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとの間に潤滑油が流れ込み、電極２１、２２の間に潤滑油が介在することになる。したがって、電極２１、２２の間に交流電圧を印加して、電極２１、２２の間の潤滑油の誘電率および導電率を求めることができる。

【0025】

また、センサ１は、インサート成形により電極２１、２２を樹脂部３０で覆って、基部１０とともに樹脂部３０を形成している。このため、電極２１、２２を樹脂部３０で覆う工程を短縮することができる。

【0026】

なお、本実施形態では、樹脂部３０を非導電性の樹脂で形成したが、これに限らず、樹脂部３０を導電性の樹脂で形成してもよい。

【0027】

また、本実施形態では、センサ１は、潤滑油の誘電率および導電率を求め、求めた誘電率および導電率に基づいて潤滑油の状態を検出した。しかし、これに限らず、潤滑油の誘電率および導電率のうちいずれか一方を求め、求めた結果に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。また、誘電率でも導電率でもない潤滑油の電気的特徴量（例えば、静電容量、誘電正接（ｔａｎδ）、特性インピーダンスＺなど）を求め、求めた電気的特徴量に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。

【0028】

また、本実施形態では、センサ１は、潤滑油の状態を検出したが、これに限らず、流体であれば状態を検出することができる。例えば、センサ１により、水の汚染度を検出したり、薬品や飲料の品質を検出したりすることもできる。

【0029】

また、本実施形態では、平板状の極板で電極２１、２２を形成し、これら電極２１、２２を互いに並行して配置した。しかし、これに限らず、例えば円柱状や楕円柱状の極板で電極２１、２２を形成してもよい。また、例えば同軸円筒型コンデンサーのように、内径が異なる２つの円筒状の極板で電極２１、２２を形成し、それぞれの中心軸が一致した状態で電極２１、２２のいずれか一方をいずれか他方の内部に配置してもよい。
これらの場合、第１の対向側樹脂部３１Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する領域を覆うとともに、第２の対向側樹脂部３１Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する領域を覆えばよい。

【0030】

また、本実施形態において、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを、図４、５、７を用いて後述する連結樹脂部３５や、図６を用いて後述する連結樹脂部３５Ａで連結してもよい。第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結することで、上述のような振動に伴う電極２１、２２の撓みをさらに抑制することができる。

【0031】

＜第２実施形態＞
図４は、本発明の第２実施形態に係るセンサ１Ａの斜視図である。センサ１Ａは、図２、３に示した本発明の第１実施形態に係るセンサ１の代わりに、図１の状態検出装置ＡＡに設けられる。このセンサ１Ａは、センサ１とは、樹脂部３０の代わりに樹脂部３０Ａを備える点で異なっており、他の部分については同様の形態をしている。このため、第１実施形態と同様の形態をしている部分については、同一の符号を付して、その説明を省略する。

【0032】

樹脂部３０Ａは、非導電性の樹脂で形成されており、インサート成形により電極２１、２２と一体化されている。

【0033】

図５は、センサ１Ａの上面図である。樹脂部３０Ａは、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂに加えて、第１の背面側樹脂部３２Ａおよび第２の背面側樹脂部３２Ｂと、連結樹脂部３５と、を備える。

【0034】

第１の背面側樹脂部３２Ａは、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、第１の対向側樹脂部３１Ａで覆われている面以外を、覆っている。このため、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する面とは反対側の面は、第１の背面側樹脂部３２Ａで覆われていることになる。

【0035】

第２の背面側樹脂部３２Ｂは、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、第２の対向側樹脂部３１Ｂで覆われている面以外を、覆っている。このため、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する面とは反対側の面は、第２の背面側樹脂部３２Ｂで覆われていることになる。

【0036】

連結樹脂部３５は、基部１０に当接しており、電極２１、２２の基端側において第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結している。

【0037】

以上のように、センサ１Ａは、本発明の第１実施形態に係るセンサ１と同様に、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂを備えており、インサート成形により電極２１、２２を樹脂部３０Ａで覆っている。このため、センサ１Ａは、本発明の第１実施形態に係るセンサ１と同様の効果を奏することができる。

【0038】

また、センサ１Ａは、第１の背面側樹脂部３２Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する面とは反対側の面を、覆っている。このため、電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性がさらに向上する。
また、センサ１Ａは、第２の背面側樹脂部３２Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する面とは反対側の面を、覆っている。このため、電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性がさらに向上する。
以上によれば、センサ１Ａは、電極２１、２２の間に介在する潤滑油の量の変動をさらに抑えることができ、潤滑油の誘電率および導電率をさらに正確に求めることができる。

【0039】

また、センサ１Ａは、第１の背面側樹脂部３２Ａにより、上述のように電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性を向上させている。このため、電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性を、第１の対向側樹脂部３１Ａだけでなく第１の背面側樹脂部３２Ａによっても向上させることができるので、第１の対向側樹脂部３１Ａを薄くすることができる。
また、センサ１Ａは、第２の背面側樹脂部３２Ｂにより、上述のように電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性を向上させている。このため、電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性を、第２の対向側樹脂部３１Ｂだけでなく第２の背面側樹脂部３２Ｂによっても向上させることができるので、第２の対向側樹脂部３１Ｂを薄くすることができる。
以上によれば、電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性の向上と、電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性の向上と、を実現しつつ、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂを薄くすることができる。このため、電極２１、２２の間に介在する潤滑油の量を増加させることができるので、潤滑油の誘電率および導電率をさらに正確に求めることができる。

【0040】

また、センサ１Ａは、第１の背面側樹脂部３２Ａにより、上述のように電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性を向上させるとともに、第２の背面側樹脂部３２Ｂにより、上述のように電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性を向上させている。このため、センサ１Ａが取り付けられている装置の振動や、この装置の周囲で発生した振動に伴って電極２１、２２が撓むのを抑制しつつ、電極２１、２２を大型化することができる。したがって、電極２１、２２の対向する面積を拡大して、電極２１、２２の間に介在する潤滑油の量を増加させることができるので、潤滑油の誘電率および導電率をさらに正確に求めることができる。

【0041】

また、センサ１Ａは、連結樹脂部３５により、電極２１、２２の基端側において第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結している。このため、上述のような振動に伴う電極２１、２２の撓みをさらに抑制することができる。

【0042】

また、センサ１Ａは、樹脂部３０Ａを、非導電性の樹脂で形成している。このため、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結樹脂部３５で連結しているが、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとは導通しない。したがって、電極２１、２２の間に交流電圧を印加することができる。

【0043】

また、本実施形態では、樹脂部３０Ａを非導電性の樹脂で形成したが、これに限らず、樹脂部３０Ａを導電性の樹脂で形成してもよい。ただし、樹脂部３０Ａを導電性の樹脂で形成する場合には、樹脂部３０Ａに連結樹脂部３５を設けないようにする必要がある。

【0044】

また、本実施形態では、センサ１Ａは、潤滑油の誘電率および導電率を求め、求めた誘電率および導電率に基づいて潤滑油の状態を検出した。しかし、これに限らず、潤滑油の誘電率および導電率のうちいずれか一方を求め、求めた結果に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。また、誘電率でも導電率でもない潤滑油の電気的特徴量（例えば、静電容量、誘電正接（ｔａｎδ）、特性インピーダンスＺなど）を求め、求めた電気的特徴量に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。

【0045】

また、本実施形態では、センサ１Ａは、潤滑油の状態を検出したが、これに限らず、流体であれば状態を検出することができる。例えば、センサ１Ａにより、水の汚染度を検出したり、薬品や飲料の品質を検出したりすることもできる。

【0046】

また、本実施形態では、平板状の極板で電極２１、２２を形成し、これら電極２１、２２を互いに並行して配置した。しかし、これに限らず、例えば円柱状や楕円柱状の極板で電極２１、２２を形成してもよい。また、例えば同軸円筒型コンデンサーのように、内径が異なる２つの円筒状の極板で電極２１、２２を形成し、それぞれの中心軸が一致した状態で電極２１、２２のいずれか一方をいずれか他方の内部に配置してもよい。
これらの場合、第１の対向側樹脂部３１Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する領域を覆うとともに、第２の対向側樹脂部３１Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する領域を覆えばよい。また、第１の背面側樹脂部３２Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する領域とは反対側の領域を覆うとともに、第２の背面側樹脂部３２Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する領域とは反対側の領域を覆えばよい。

【0047】

また、本実施形態では、樹脂部３０Ａに連結樹脂部３５を設け、連結樹脂部３５により、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結した。しかし、これに限らず、樹脂部３０Ａに連結樹脂部３５を設けなくてもよい。

【0048】

＜第３実施形態＞
図６は、本発明の第３実施形態に係るセンサ１Ｂの斜視図である。センサ１Ｂは、図２、３に示した本発明の第１実施形態に係るセンサ１の代わりに、図１の状態検出装置ＡＡに設けられる。このセンサ１Ｂは、図４、５に示した本発明の第２実施形態に係るセンサ１Ａとは、樹脂部３０Ａの代わりに樹脂部３０Ｂを備える点で異なっており、他の部分については同様の形態をしている。このため、第２実施形態と同様の形態をしている部分については、同一の符号を付して、その説明を省略する。

【0049】

図７は、センサ１Ｂの上面図である。樹脂部３０Ｂは、非導電性の樹脂で形成されており、インサート成形により電極２１、２２と一体化されている。この樹脂部３０Ｂは、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂと、第１の背面側樹脂部３２Ａおよび第２の背面側樹脂部３２Ｂと、に加えて連結樹脂部３５Ａを備える。

【0050】

連結樹脂部３５Ａは、本発明の第２実施形態に係る連結樹脂部３５と同様に、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結している。ただし、連結樹脂部３５は、基部１０に当接しており、電極２１、２２の基端側（Ｚマイナス側）において第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結していた。これに対して、連結樹脂部３５Ａは、基部１０とは離間しており、電極２１、２２の先端側（Ｚプラス側）において第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結している。

【0051】

以上のように、センサ１Ｂは、本発明の第１実施形態に係るセンサ１と同様に、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂを備えており、インサート成形により電極２１、２２を樹脂部３０Ｂで覆っている。このため、センサ１Ｂは、本発明の第１実施形態に係るセンサ１と同様の効果を奏することができる。

【0052】

また、センサ１Ｂは、本発明の第２実施形態に係るセンサ１Ａと同様に、第１の背面側樹脂部３２Ａおよび第２の背面側樹脂部３２Ｂと、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結している連結樹脂部３５Ａと、を備え、樹脂部３０Ｂを、非導電性の樹脂で形成している。このため、センサ１Ｂは、本発明の第２実施形態に係るセンサ１Ａと同様の効果を奏することができる。

【0053】

また、電極２１、２２の基端側は、基部１０に埋設している。このため、センサ１Ｂが取り付けられている装置の振動や、この装置の周囲で発生した振動に伴って電極２１、２２が撓む現象は、電極２１、２２の基端側よりも先端側で生じやすい。
そこで、センサ１Ｂは、連結樹脂部３５Ａにより、電極２１、２２の先端側において第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結している。このため、上述のような振動に伴う電極２１、２２の撓みをさらに抑制することができる。

【0054】

なお、本実施形態では、センサ１Ｂは、潤滑油の誘電率および導電率を求め、求めた誘電率および導電率に基づいて潤滑油の状態を検出した。しかし、これに限らず、潤滑油の誘電率および導電率のうちいずれか一方を求め、求めた結果に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。また、誘電率でも導電率でもない潤滑油の電気的特徴量（例えば、静電容量、誘電正接（ｔａｎδ）、特性インピーダンスＺなど）を求め、求めた電気的特徴量に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。

【0055】

また、本実施形態では、センサ１Ｂは、潤滑油の状態を検出したが、これに限らず、流体であれば状態を検出することができる。例えば、センサ１Ｂにより、水の汚染度を検出したり、薬品や飲料の組成や品質を検出したりすることもできる。

【0056】

また、本実施形態では、平板状の極板で電極２１、２２を形成し、これら電極２１、２２を互いに並行して配置した。しかし、これに限らず、例えば円柱状や楕円柱状の極板で電極２１、２２を形成してもよい。また、例えば同軸円筒型コンデンサーのように、内径が異なる２つの円筒状の極板で電極２１、２２を形成し、それぞれの中心軸が一致した状態で電極２１、２２のいずれか一方をいずれか他方の内部に配置してもよい。
これらの場合、第１の対向側樹脂部３１Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する領域を覆うとともに、第２の対向側樹脂部３１Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する領域を覆えばよい。また、第１の背面側樹脂部３２Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する領域とは反対側の領域を覆うとともに、第２の背面側樹脂部３２Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する領域とは反対側の領域を覆えばよい。

【0057】

また、本実施形態では、樹脂部３０Ｂに連結樹脂部３５Ａを設け、連結樹脂部３５Ａにより、電極２１、２２の先端側において第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結した。しかし、樹脂部３０Ｂに、図４に示した本発明の第２実施形態に係る連結樹脂部３５も設け、電極２１、２２の基端側でも第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結してもよい。

【0058】

＜第４実施形態＞
図８は、本発明の第４実施形態に係るセンサ１Ｃの上面図である。センサ１Ｃは、図２、３に示した本発明の第１実施形態に係るセンサ１の代わりに、図１の状態検出装置ＡＡに設けられる。このセンサ１Ｃは、図４、５に示した本発明の第２実施形態に係るセンサ１Ａとは、樹脂部３０Ａの代わりに樹脂部３０Ｃを備える点で異なっており、他の部分については同様の形態をしている。このため、第２実施形態と同様の形態をしている部分については、同一の符号を付して、その説明を省略する。

【0059】

樹脂部３０Ｃは、非導電性の樹脂で形成されており、インサート成形により電極２１、２２と一体化されている。この樹脂部３０Ｃは、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂと、連結樹脂部３５と、に加えて第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａおよび第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂを備える。

【0060】

第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａは、それぞれ、電極２１の長さ方向（Ｚ方向）に延在してリブ状に形成されており、電極２１の幅方向（Ｙ方向）に互いに離間している。電極２１の幅方向における電極２１の一端側（Ｙマイナス側）は、第１の背面側樹脂部３３Ａにより覆われており、電極２１の幅方向における電極２１の他端側（Ｙプラス側）は、第１の背面側樹脂部３４Ａにより覆われている。一方、電極２１の幅方向における電極２１の中央部分は、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａのいずれにも覆われておらず、露出している。

【0061】

第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂは、それぞれ、電極２２の長さ方向（Ｚ方向）に延在してリブ状に形成されており、電極２２の幅方向（Ｙ方向）に互いに離間している。電極２２の幅方向における電極２２の一端側（Ｙマイナス側）は、第２の背面側樹脂部３３Ｂにより覆われており、電極２２の幅方向における電極２２の他端側（Ｙプラス側）は、第２の背面側樹脂部３４Ｂにより覆われている。一方、電極２２の幅方向における電極２２の中央部分は、第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂのいずれにも覆われておらず、露出している。

【0062】

以上のように、センサ１Ｃは、本発明の第１実施形態に係るセンサ１と同様に、第１の対向側樹脂部３１Ａおよび第２の対向側樹脂部３１Ｂを備えており、インサート成形により電極２１、２２を樹脂部３０Ｂで覆っている。このため、センサ１Ｃは、本発明の第１実施形態に係るセンサ１と同様の効果を奏することができる。

【0063】

また、センサ１Ｃは、本発明の第２実施形態に係るセンサ１Ａと同様に、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａおよび第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂと、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結している連結樹脂部３５と、を備え、樹脂部３０Ｃを、非導電性の樹脂で形成している。このため、センサ１Ｃは、本発明の第２実施形態に係るセンサ１Ａと同様の効果を奏することができる。

【0064】

また、センサ１Ｃは、電極２１の幅方向における電極２１の中央部分を、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａのいずれでも覆わずに露出させるとともに、電極２２の幅方向における電極２２の中央部分を、第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂのいずれでも覆わずに露出させている。このため、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａにより電極２１の厚さ方向における電極２１の剛性を向上させるとともに、第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂにより電極２２の厚さ方向における電極２２の剛性を向上させつつ、樹脂部３０Ｃとして必要な樹脂の量を削減することができる。

【0065】

なお、本実施形態では、樹脂部３０Ｃを非導電性の樹脂で形成したが、これに限らず、樹脂部３０Ｃを導電性の樹脂で形成してもよい。ただし、樹脂部３０Ｃを導電性の樹脂で形成する場合には、樹脂部３０Ｃに連結樹脂部３５を設けないようにする必要がある。

【0066】

また、本実施形態では、センサ１Ｃは、潤滑油の誘電率および導電率を求め、求めた誘電率および導電率に基づいて潤滑油の状態を検出した。しかし、これに限らず、潤滑油の誘電率および導電率のうちいずれか一方を求め、求めた結果に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。また、誘電率でも導電率でもない潤滑油の電気的特徴量（例えば、静電容量、誘電正接（ｔａｎδ）、特性インピーダンスＺなど）を求め、求めた電気的特徴量に基づいて潤滑油の状態を検出してもよい。

【0067】

また、本実施形態では、センサ１Ｃは、潤滑油の状態を検出したが、これに限らず、流体であれば状態を検出することができる。例えば、センサ１Ｃにより、水の汚染度を検出したり、薬品や飲料の品質を検出したりすることもできる。

【0068】

また、本実施形態では、平板状の極板で電極２１、２２を形成し、これら電極２１、２２を互いに並行して配置した。しかし、これに限らず、例えば円柱状や楕円柱状の極板で電極２１、２２を形成してもよい。また、例えば同軸円筒型コンデンサーのように、内径が異なる２つの円筒状の極板で電極２１、２２を形成し、それぞれの中心軸が一致した状態で電極２１、２２のいずれか一方をいずれか他方の内部に配置してもよい。
これらの場合、第１の対向側樹脂部３１Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する領域を覆うとともに、第２の対向側樹脂部３１Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する領域を覆えばよい。また、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａにより、電極２１のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２２と対向する領域とは反対側の領域の一部を覆うとともに、第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂにより、電極２２のうち、基部１０から露出している部分の外周面であって、電極２１と対向する領域とは反対側の領域の一部を覆えばよい。

【0069】

また、本実施形態では、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａの２つをリブ状に形成したが、これに限らず、１つだけをリブ状に形成したり、３つ以上をリブ状に形成したりしてもよい。
また、本実施形態では、第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂの２つをリブ状に形成したが、これに限らず、１つだけをリブ状に形成したり、３つ以上をリブ状に形成したりしてもよい。

【0070】

また、本実施形態では、電極２１の幅方向における電極２１の中央部分を、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４Ａのいずれでも覆わずに露出させた。しかし、これに限らず、第１の背面側樹脂部３３Ａ、３４ＡのＸ方向の厚みよりも薄く形成した連結部を設け、この連結部により、電極２１の幅方向における電極２１の中央部分を覆ってもよい。
また、本実施形態では、電極２２の幅方向における電極２２の中央部分を、第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４Ｂのいずれでも覆わずに露出させた。しかし、これに限らず、第２の背面側樹脂部３３Ｂ、３４ＢのＸ方向の厚みよりも薄く形成した連結部を設け、この連結部により、電極２２の幅方向における電極２２の中央部分を覆ってもよい。

【0071】

また、本実施形態では、樹脂部３０Ｃに連結樹脂部３５を設け、連結樹脂部３５により、第１の対向側樹脂部３１Ａと第２の対向側樹脂部３１Ｂとを連結した。しかし、これに限らず、樹脂部３０Ｃに連結樹脂部３５を設けなくてもよい。

【0072】

以上、この発明の実施形態につき、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計なども含まれる。

【0073】

なお、本発明は、例えば水圧機器に適用することもできる。

【符号の説明】

【0074】

ＡＡ 状態検出装置
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ センサ
２ 特徴量取得部
３ 検出部
１０ 基部
２１、２２ 電極
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ 樹脂部
３１Ａ 第１の対向側樹脂部
３１Ｂ 第２の対向側樹脂部
３２Ａ、３３Ａ、３４Ａ 第１の背面側樹脂部
３２Ｂ、３３Ｂ、３４Ｂ 第２の背面側樹脂部
３５、３５Ａ 連結樹脂部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】