発明の名称 スパッタ付着防止具
出願人 株式会社ワイテック (識別番号 500213915)
特許公開件数ランキング 31602 位(2件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 25652 位(4件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6742017
公報発行日 2020年8月19
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6742017
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