特許 6743768 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6743768

(24)【登録日】2020年8月3日

(45)【発行日】2020年8月19日

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20200806BHJP

   G01R 13/20 20060101ALI20200806BHJP

【ＦＩ】

   G01R1/073 A

   G01R13/20 F

【請求項の数】11

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2017-116208(P2017-116208)

(22)【出願日】2017年6月13日

(65)【公開番号】特開2019-2746(P2019-2746A)

(43)【公開日】2019年1月10日

【審査請求日】2019年8月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004260

【氏名又は名称】株式会社デンソー

(73)【特許権者】

【識別番号】000004695

【氏名又は名称】株式会社ＳＯＫＥＮ

(74)【代理人】

【識別番号】100106149

【弁理士】

【氏名又は名称】矢作 和行

(74)【代理人】

【識別番号】100121991

【弁理士】

【氏名又は名称】野々部 泰平

(74)【代理人】

【識別番号】100145595

【弁理士】

【氏名又は名称】久保 貴則

(72)【発明者】

【氏名】津田 剛宏

(72)【発明者】

【氏名】直井 孝

(72)【発明者】

【氏名】十河 健司

(72)【発明者】

【氏名】大岡 信治

(72)【発明者】

【氏名】河野 秀一

(72)【発明者】

【氏名】小澤 達矢

【審査官】 青木 洋平

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０８−２２６９３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５８−０８４５６９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０４−０１５０６７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許第６２７６９５６（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】 実開昭６０−０９５５６２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１０−１０４２６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１７０３６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｒ １／０７３

Ｇ０１Ｒ １３／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

測定対象物と接触することで前記測定対象物と電気的に接続される電気的接点（５１）と、
前記電気的接点と電気的に接続された導電部（５２）と、
前記電気的接点と前記導電部の設けられる複数の把持部（３１，３２，３３）と、
複数の前記把持部の前記電気的接点の相対位置を変動可能に、複数の前記把持部を連結する第１連結部（４１，４２，４３）と、
複数の前記把持部の前記導電部と電気的に接続可能に、複数の前記把持部にノイズ対策素子（７４）を連結する第２連結部（７０，１１０，１３０）と、を有し、
前記第２連結部は、複数の前記把持部の前記導電部を架橋する、前記ノイズ対策素子の搭載された架橋部（７０）を有し、
前記架橋部は、架橋する複数の前記把持部の相対位置の変動に対応して弾性変形可能であり、
前記架橋部の中央は端よりも複数の前記把持部の相対位置の変動に応じて弾性変形し易く、
前記ノイズ対策素子は前記架橋部の端に設けられている検査装置。

【請求項2】

前記把持部の一端に前記電気的接点が設けられ、
複数の前記把持部の前記一端とは反対側の他端それぞれが前記第１連結部に連結される請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

複数の前記把持部の前記他端それぞれと前記第１連結部とは一体的に連結されており、
前記第１連結部と前記把持部それぞれの形成材料は弾性体である請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

複数の前記把持部の前記他端それぞれは、前記第１連結部によって、前記第１連結部を中心として回転可能に連結されている請求項２に記載の検査装置。

【請求項5】

前記把持部は前記第１連結部に対して着脱可能である請求項４に記載の検査装置。

【請求項6】

前記把持部は、前記一端に前記電気的接点の設けられる自由端部（３０ａ）と、前記他端に前記第１連結部が連結される固定端部（３０ｂ）と、を有し、
前記自由端部の延設方向に、前記自由端部は前記固定端部に対して移動可能となっている請求項４または請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

複数の前記把持部の前記電気的接点の相対位置を規定する位置規定部（９０）を有する請求項２〜請求項６いずれか１項に記載の検査装置。

【請求項8】

前記電気的接点は、前記測定対象物と接触する接触端子（５３）と、前記接触端子に連結されたスプリング（５４）と、を有し、
前記スプリングは前記接触端子の延長方向に弾性変形可能である請求項２〜７いずれか１項に記載の検査装置。

【請求項9】

前記把持部には、前記架橋部の端が設けられる横穴（３０ｄ）が形成されており、
前記ノイズ対策素子の少なくとも一部が前記横穴に設けられている請求項１〜８いずれか１項に記載の検査装置。

【請求項10】

前記架橋部の中央は可撓性を有する可撓基板（７１）であり、前記架橋部の端は前記可撓基板よりも硬い配線基板（７２，７３）である請求項１〜９いずれか１項に記載の検査装置。

【請求項11】

前記電気的接点に固定される導電性の端子部（５６）を有し、
前記端子部は複数の端子接点（５６ｂ）を有する請求項１〜１０いずれか１項に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に示されるように、チップの試験に用いられる錘付バイパスコンデンサ部が知られている。チップにはパスコン用パッドが設けられている。錘付バイパスコンデンサ部はコンデンサと３つの端子を有する。３つの端子はコンデンサを３点で支える。３つの端子は錘付バイパスコンデンサ部の自重によりパスコン用パッドと電気的に接続される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１−７６１９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に示される錘付バイパスコンデンサ部では、コンデンサとパスコン用パッドとを電気的に接続しつつ、コンデンサを支えるために、３つの端子の形状と配置が固定されている。そのためにパスコン用パッドの配置が変更されると、それに応じて３つの端子の形状と配置も設計変更しなくてはならない。このように錘付バイパスコンデンサ部（検査装置）は、測定対象物の形状や配置が変更されたり、測定対象物そのものが変更されたりすると、測定対象物との電気的な接続が困難になる。

【0005】

そこで本発明は、測定対象物の形状や配置、測定対象物そのものが変更されたとしても、測定対象物との電気的な接続が困難となることが抑制された検査装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

開示された発明の１つは、測定対象物と接触することで測定対象物と電気的に接続される電気的接点（５１）と、
電気的接点と電気的に接続された導電部（５２）と、
電気的接点と導電部の設けられる複数の把持部（３１，３２，３３）と、
複数の把持部の電気的接点の相対位置を変動可能に、複数の把持部を連結する第１連結部（４１，４２，４３）と、
複数の把持部の導電部と電気的に接続可能に、複数の把持部にノイズ対策素子（７４）を連結する第２連結部（７０，１１０，１３０）と、を有し、
第２連結部は、複数の把持部の導電部を架橋する、ノイズ対策素子の搭載された架橋部（７０）を有し、
架橋部は、架橋する複数の把持部の相対位置の変動に対応して弾性変形可能であり、
架橋部の中央は端よりも複数の把持部の相対位置の変動に応じて弾性変形し易く、
ノイズ対策素子は架橋部の端に設けられている。

【0007】

このように複数の把持部（３１，３２，３３）は第１連結部（４１，４２，４３）によって電気的接点（５１）の相対位置が変動可能に連結されている。そのため、測定対象物の形状や配置、また測定対象物そのものが変更されたとしても、それに応じて複数の把持部（３１，３２，３３）の電気的接点（５１）の相対位置を変動することができる。これにより検査装置と測定対象物との電気的な接続が困難となることが抑制される。

【0008】

また複数の把持部（３１，３２，３３）にノイズ対策素子（７４）を連結する第２連結部（７０，１１０，１３０）を有する。これによれば測定対象物にノイズ対策素子（７４）を固定しなくとも、測定対象物のノイズの増減を検証することができる。そのためノイズ検証時間を短縮することができる。

【0009】

なお、特許請求の範囲に記載の請求項、および、課題を解決するための手段それぞれに記載の要素に括弧付きで符号をつけている。この括弧付きの符号は実施形態に記載の各構成要素との対応関係を簡易的に示すためのものであり、実施形態に記載の要素そのものを必ずしも示しているわけではない。括弧付きの符号の記載は、いたずらに特許請求の範囲を狭めるものではない。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】第１実施形態にかかる検査装置を示す正面図である。

【図2】プローブを説明するための分解図である。

【図3】規定孔を説明するための斜視図である。

【図4】検査装置の先端を説明するための拡大断面図である。

【図5】架橋部を説明するための拡大斜視図である。

【図6】ナットを示す斜視図である。

【図7】検査装置の動作を説明するための図表である。

【図8】ノイズ検証方法を説明するためのフローチャートである。

【図9】第２実施形態にかかる把持部を示す正面図である。

【図10】第２実施形態の検査装置を説明するための正面図である。

【図11】第３実施形態の把持部を示す正面図である。

【図12】第３実施形態の検査装置を説明するための正面図である。

【図13】検査装置の変形例を説明するための正面図である。

【図14】第４実施形態の検査装置を説明するための正面図である。

【図15】挟持部を説明するための断面図である。

【図16】挟持部によってリードが挟持された状態を示す断面図である。

【図17】挟持部によるリードの挟持が解除された状態を示す断面図である。

【図18】把持部の変形例を示す正面図である。

【図19】ノイズ対策素子の変形例を説明するための拡大斜視図である。

【図20】検査装置の変形例を示す正面図である。

【図21】検査装置の変形例を示す斜視図である。

【図22】端子部を説明するための正面図である。

【図23】端子部の変形例を説明するための正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。

【0012】

（第１実施形態）
図１〜図８に基づいて本実施形態にかかる検査装置を説明する。この検査装置１０は、回路基板の設計レイアウトを決定する際に用いられる。回路基板が測定対象物に相当する。

【0013】

回路基板は、配線基板と、配線基板に設けられた電子素子と、を有する。配線基板は絶縁基板と、この絶縁基板に形成された配線パターンと、を有する。絶縁基板にはスルーホールが形成されている。このスルーホールに電子素子のリードが挿入される。そしてリードと配線パターンとがはんだなどによって電気的および機械的に接続される。

【0014】

このように配線基板に電子素子を搭載することで回路基板の設計レイアウトが決定される。この回路基板に電源が接続され、それによって回路基板の駆動が開始すると、回路基板に電磁ノイズが発生する。この電磁ノイズの発生を抑制するためには、コンデンサなどの回路素子を配線基板に新たに搭載することになる。すなわち、設計レイアウトの見直しが必要になる。電磁ノイズの発生の抑制を検証するには、この設計レイアウトの変更を必要に応じて繰り返すことになる。

【0015】

このような設計レイアウトの変更に伴う工数の増大を抑制するのに検査装置１０は用いられる。以下においては互いに直交の関係にある３方向を、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向と示す。

【0016】

（検査装置の概要）
図１に示すように検査装置１０は、本体部３０、プローブ５０、および、架橋部７０を有する。本体部３０はユーザが手などで把持するものである。本体部３０はユーザが片手で把持する形状となっている。また本体部３０はユーザの操作によって弾性変形可能となっている。この本体部３０に複数のプローブ５０が設けられている。ユーザによる本体部３０の弾性変形によって、複数のプローブ５０の相対距離が変動する。このプローブ５０の先端が、回路基板におけるノイズ検証部位に接触される。

【0017】

架橋部７０は複数のプローブ５０を電気的に接続している。架橋部７０はコンデンサなどのノイズ対策素子７４を有する。このノイズ対策素子７４が複数のプローブ５０と電気的に接続されている。したがって２つのプローブ５０がノイズ検証部位に接触されると、そのノイズ検証部位に対して、２つのプローブ５０と架橋部７０によって構成されたバイパス経路が接続される。このバイパス経路に上記のノイズ対策素子７４が直列接続されている。このためバイパス経路とノイズ対策素子７４から成るバイパス回路がノイズ検証部位に並列接続される。このように検査装置１０によれば、回路基板の設計レイアウトを変更することなく、任意のノイズ検証部位にバイパス回路を並列接続することができる。このような検査装置１０の回路基板への接続をユーザが適宜選択し、その都度回路基板の出力をスペクトラムアナライザーなどによって検証する。こうすることで設計レイアウトの変更に伴う工数の増大が抑制される。

【0018】

なおもちろんではあるが、複数の検査装置１０を用意しておき、これら複数の検査装置１０を回路基板に接触することで、設計レイアウトの変更を検討してもよい。この複数の検査装置１０それぞれのノイズ対策素子７４はもちろん異なってもよい。また、回路基板を作成している途中において、配線基板に検査装置１０を電子素子の代わりとして接続する。こうすることで回路基板の設計レイアウトを検証してもよい。

【0019】

（検査装置の構成）
次に、検査装置１０の構成を詳説する。図１に示すように検査装置１０の本体部３０は、第１把持部３１、第２把持部３２、および、連結部４１を有する。これら第１把持部３１、第２把持部３２、および、連結部４１それぞれの形成材料は弾性体である。この弾性体は、絶縁性の樹脂である。本体部３０は射出成型などによって製造される。第１把持部３１、第２把持部３２、および、連結部４１は一体である。図１では第１把持部３１、第２把持部３２、および、連結部４１の境界が不明りょうとなることを避けるために、連結部４１を破線で囲って示している。連結部４１が第１連結部に相当する。

【0020】

第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部は連結部４１によって一体的に連結されている。これにより第１把持部３１と第２把持部３２それぞれは連結部４１によって片持ち支持され、その先端が自由端となっている。第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端はｘ方向で離間している。

【0021】

本実施形態の本体部３０はいわゆるピンセットと同一の形状を成している。ユーザは第１把持部３１と第２把持部３２とを片手でつかみ、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端が互いに近づくように本体部３０を弾性変形させる。若しくは、ユーザは第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端が互いに離れるように本体部３０を弾性変形させる。これにより第１把持部３１と第２把持部３２の先端同士の離間間隔が変動する。

【0022】

第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端にプローブ５０が設けられる。上記の本体部３０の弾性変形により、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の相対位置が変動する。これにより回路基板と接触される２つのプローブ５０の先端の間隔が変動する。

【0023】

図２に示すようにプローブ５０は電気的接点５１と導電部５２を有する。電気的接点５１は接触端子５３、スプリング５４、および、筒部５５を有する。筒部５５は底を有する筒形状を成している。この筒部５５の中空にスプリング５４とともに接触端子５３が挿入される。接触端子５３と筒部５５とはスプリング５４を介して電気的および機械的に接続される。接触端子５３の延長方向に沿う圧力が接触端子５３に付与されるとスプリング５４が弾性変形する。これにより接触端子５３は筒部５５の中空に対して挿抜するように移動可能となっている。なお図２では筒部５５の中にスプリング５４があることを示すために、スプリング５４を破線で示している。

【0024】

回路基板との接触によって接触端子５３に筒部５５の中空へと向かう応力が印加されるとスプリング５４は縮む。これによりスプリング５４は回路基板へと向かう復元力を接触端子５３に付与する。この復元力によって接触端子５３の先端が回路基板に押圧される。これにより接触端子５３と回路基板との接触が確保される。電気的接点５１と回路基板との電気的な接続が安定化される。

【0025】

導電部５２は筒部５５の外径よりも広い内径を有している。そして導電部５２の中空にはストッパ５２ａが形成されている。このストッパ５２ａと導電部５２の開口部との離間距離は筒部５５と等しくなっている。筒部５５の端部がストッパ５２ａに接触するまで、筒部５５を導電部５２の中空に挿入する。すると導電部５２に筒部５５が収納され、導電部５２の開口部から接触端子５３が外に飛び出す態様となる。導電部５２と筒部５５とは互いに接触し、互いに電気的に接続される。これにより、導電部５２と接触端子５３とが、筒部５５とスプリング５４とを介して電気的に接続されている。このプローブ５０のインピーダンスは、接触端子５３への応力の印加によるスプリング５４の弾性変形に応じて変化する。すなわち、図４に示すプローブ５０の長さＬに応じてインピーダンスが変化する。また、架橋部７０によって連結される２つのプローブ５０の離間距離Ｗによってもインピーダンスが変化する。これにより上記のバイパス回路によって構成される共振回路の共振点が変化する。なお図２では導電部５２の中にストッパ５２ａがあることを示すために、ストッパ５２ａを破線で示している。

【0026】

図１に示すように、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれはプローブ５０の接触端子５３が設けられる自由端部３０ａと、自由端部３０ａと連結部４１とを連結する固定端部３０ｂと、を有する。自由端部３０ａと固定端部３０ｂそれぞれは一方向に延びた直線形状を有する。しかしながら自由端部３０ａと固定端部３０ｂの延びる方向は異なっている。そのために自由端部３０ａと固定端部３０ｂとは交差して連結されている。固定端部３０ｂの一端が連結部４１に連結され、他端が自由端部３０ａの一端と一体的に連結されている。自由端部３０ａの他端が把持部の先端（自由端）となっている。

【0027】

第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの固定端部３０ｂの一端が連結部４１に固定されている。第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの固定端部３０ｂは、ｘ方向で互いに対向している。第１把持部３１の固定端部３０ｂと第２把持部３２の固定端部３０ｂとのｘ方向における離間距離は、ｚ方向に沿って連結部４１から離れるにしたがって徐々に長くなっている。このように第１把持部３１の固定端部３０ｂと第２把持部３２の固定端部３０ｂは、ｚ方向において連結部４１側から自由端部３０ａ側に向かうにしたがって末広がりになっている。

【0028】

第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの自由端部３０ａは、ｘ方向で互いに対向している。第１把持部３１の自由端部３０ａと第２把持部３２の自由端部３０ａとのｘ方向における離間距離は、ｚ方向において連結部４１側からプローブ５０側に向かうにしたがって徐々に短くなっている。この結果、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの自由端部３０ａの他端のｘ方向の離間距離が、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの固定端部３０ｂの他端のｘ方向の離間距離よりも短くなっている。

【0029】

図３に示すように自由端部３０ａと固定端部３０ｂには、プローブ５０を挿入して固定するための挿入孔３０ｃが形成されている。挿入孔３０ｃは自由端部３０ａと固定端部３０ｂとの連結部位から、自由端部３０ａの他端（先端）へと向かって、自由端部３０ａの延びる方向に沿って形成されている。挿入孔３０ｃは上記の連結部位と先端それぞれで開口している。この挿入孔３０ｃの連結部位の開口部から先端の開口部へと向かって、接触端子５３を先頭としてプローブ５０が挿入される。これにより、図４に示すように挿入孔３０ｃに導電部５２が収納され、自由端部３０ａの先端から接触端子５３が外に飛び出す態様となっている。挿入孔３０ｃの連結部位側の開口部は樹脂などによって閉塞される。

【0030】

架橋部７０は第１把持部３１のプローブ５０と第２把持部３２のプローブ５０とを電気的に接続する。図５に示すように架橋部７０は、可撓基板７１、第１配線基板７２、第２配線基板７３、および、ノイズ対策素子７４を有する。架橋部７０が第２連結部に相当する。

【0031】

可撓基板７１は可撓性を有する。可撓基板７１はフレキシブル基板である。可撓基板７１は第１配線パターン７５を有する。図４および図５に示すように、可撓基板７１はｘ方向に延びた形状を成している。そして可撓基板７１の中央は、連結部４１側に凸となるように湾曲している。そのために可撓基板７１はｘ方向に弾性変形し易くなっている。この可撓基板７１の一端に第１配線基板７２が連結されている。可撓基板７１の他端に第２配線基板７３が連結されている。

【0032】

第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれは可撓基板７１よりも硬い材料で形成されている。第１配線基板７２と第２配線基板７３はガラエポ基板である。第１配線基板７２と第２配線基板７３は第２配線パターン７６を有する。この第２配線パターン７６ははんだなどを介して第１配線パターン７５と電気的に接続されている。

【0033】

第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれはｘ方向に延びた形状を成している。第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの一端が可撓基板７１と連結される。第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの他端が導電部５２と接続される。

【0034】

図５に示すように、第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの一端の上面に可撓基板７１の下面が連結されている。これにより第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの一端の端面はｘ方向で離間している。本実施形態では第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの一端の端面の少なくとも一部がｘ方向で互いに対向している。

【0035】

図５に示すように第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの他端の中央部が切欠いている。これにより第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの他端は二又に分かれた形状になっている。

【0036】

図５に示すように第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの自由端部３０ａには、挿入孔３０ｃと連通する横穴３０ｄが形成されている。横穴３０ｄはｘ方向に沿って形成されている。この横穴３０ｄを形作る４面のうちの自由端部３０ａの延びる方向に交差する上面と下面とに挿入孔３０ｃが開口している。そのために挿入孔３０ｃに挿入されたプローブ５０の導電部５２が横穴３０ｄの上面と下面とを貫いている。これにより導電部５２の一部が横穴３０ｄに設けられている。なお横穴３０ｄは第１把持部３１と第２把持部３２の互いに対向する面と、その反対側の面に開口しているが、対向する面の開口面積は、反対側の面の開口面積よりも狭くなっている。横穴３０ｄを形作る上面は、対向する面から反対側の面に向かうにしたがって横穴３０ｄを形作る下面から徐々に遠ざかる斜面形状となっている。

【0037】

第１把持部３１の横穴３０ｄに設けられた導電部５２が、第１配線基板７２の端部の二又に分かれた部位の間の端面と接触している。導電部５２と第１配線基板７２の第２配線パターン７６とははんだを介して電気的に接続されている。第１配線基板７２は横穴３０ｄを形作る下面に接着材によって固定されている。

【0038】

同様にして、第２把持部３２の横穴３０ｄに設けられた導電部５２が、第２配線基板７３の端部の二又に分かれた部位の間の端面と接触している。導電部５２と第２配線基板７３の第２配線パターン７６とははんだを介して電気的に接続されている。第２配線基板７３は横穴３０ｄを形作る下面に接着材によって固定されている。

【0039】

ノイズ対策素子７４は第１配線基板７２に設けられている。このノイズ対策素子７４の設けられる第１配線基板７２の第２配線パターン７６の一部が除去されて、電気的な接続が断たれている。ノイズ対策素子７４はこの電気的な接続が断たれた第２配線パターン７６を架橋して接続するように、はんだによって第１配線基板７２に固定されている。ノイズ対策素子７４の一部は第１把持部３１の横穴３０ｄ内に設けられている。

【0040】

以上に示した電気的な接続構成により、第１把持部３１のプローブ５０、ノイズ対策素子７４、架橋部７０、および、第２把持部３２のプローブ５０によってバイパス回路が構成されている。

【0041】

検査装置１０は、本体部３０、プローブ５０、および、架橋部７０の他に、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の相対位置を規定する位置規定部９０を有する。位置規定部９０は、図１に示す連結ネジ９１と、図１と図６に示すナット９２を有する。図３に示すように第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの固定端部３０ｂには、連結ネジ９１を挿入するための規定孔３０ｅが形成されている。規定孔３０ｅは第１把持部３１と第２把持部３２の対向する方向に沿って形成されている。図１で言えば、規定孔３０ｅはｘ方向に沿って形成されている。規定孔３０ｅは、第１把持部３１と第２把持部３２の互いに対向する面（以下、内面と示す）と、その反対側の外面それぞれに開口している。

【0042】

第１把持部３１の規定孔３０ｅにはネジ溝が形成されている。この第１把持部３１の規定孔３０ｅに連結ネジ９１が締結される。連結ネジ９１はネジ頭９３とネジ軸９４を有する。ネジ軸９４の端部にネジ頭９３が一体的に連結されている。このネジ頭９３が第１把持部３１の外面と接触するように、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの規定孔３０ｅに連結ネジ９１が挿入される。これによりネジ軸９４の先端が第２把持部３２の規定孔３０ｅを挿通している。

【0043】

第２把持部３２の規定孔３０ｅはネジ軸９４よりも径が長くなっている。連結ネジ９１と第２把持部３２の規定孔３０ｅを構成する内壁面とは、本体部３０の弾性変形によっては、非接触状態となっている。ナット９２は、第２把持部３２の規定孔３０ｅから外に飛び出したネジ軸９４の先端に取り付けられている。このためネジ頭９３とナット９２との間に第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの固定端部３０ｂが位置している。ナット９２の連結ネジ９１への取り付け位置は、連結ネジ９１の軸方向に可変となっている。このナット９２のネジ軸９４への取り付け位置の調整により、第１把持部３１と第２把持部３２との最大離間距離が規定される。

【0044】

図７の（ａ）欄に示すように、本実施形態では、ユーザによって本体部３０が弾性変形させられていない場合、ナット９２と第２把持部３２とは離間している。しかしながら、図７の（ｂ）欄に示すように、例えばユーザが第１把持部３１と第２把持部３２の先端が互いに離れるように本体部３０を変形すると、第２把持部３２がナット９２に接触する。これにより第１把持部３１と第２把持部３２との最大離間距離が規定されている。この本体部３０の変形により可撓基板７１は伸びるように変形する。しかしながらその可撓基板７１の伸びは、上記の第２把持部３２とナット９２との接触によって規定される。なおもちろんではあるが、ユーザによって本体部３０が弾性変形させられていない状態において、ナット９２と第２把持部３２とが接触する構成を採用することもできる。

【0045】

図７の（ｃ）欄に示すように、ユーザによって第１把持部３１と第２把持部３２の先端が互いに近づくように本体部３０が変形すると、第１配線基板７２と第２配線基板７３の一端の端面同士が接触する。これにより第１把持部３１と第２把持部３２との最小離間距離が規定されている。この本体部３０の変形により可撓基板７１は縮むように変形する。しかしながらその可撓基板７１の縮みは、上記の第１配線基板７２と第２配線基板７３との接触によって規定されている。この第１配線基板７２と第２配線基板７３との接触により、第１把持部３１のプローブ５０と第２把持部３２のプローブ５０との接触が避けられている。

【0046】

（ノイズ検証方法）
次に、図８に基づいて検査装置１０を用いたノイズ検証方法を説明する。先ずステップＳ１０において、ユーザはノイズ対策素子７４を選択する。本実施形態の検査装置１０は本体部３０にノイズ対策素子７４の設けられた架橋部７０がはんだによって接続された構成となっている。そのため、ユーザは異なるノイズ対策素子７４を有する検査装置１０を複数用意し、その複数の検査装置１０の中から、ノイズ検証に用いるノイズ対策素子７４の設けられたものを選択する。この後にユーザはステップＳ２０へ進む。なお、第４実施形態などで例示するように、検査装置１０へのノイズ対策素子７４の取り付けが可変な構成の場合、ステップＳ１０においてユーザはノイズ検証に用いるノイズ対策素子７４を選択し、それを検査装置１０に取り付ける。

【0047】

ステップＳ２０において、ユーザは本体部３０を把持して、回路基板のノイズ検証部位に応じて本体部３０を弾性変形させる。すなわちユーザは第１把持部３１と第２把持部３２とを手でつかみ、回路基板のノイズ検証部位に応じて第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端が互いに近づくように、若しくは、互いに離れるように本体部３０を弾性変形させる。これにより第１把持部３１と第２把持部３２それぞれに設けられたプローブ５０の接触端子５３の相対距離を変動させる。ユーザはこの接触端子５３の先端をノイズ検証部位に押圧する。こうすることでプローブ５０のスプリング５４を弾性変形させ、スプリング５４の復元力によって接触端子５３とノイズ検証部位との電気的な接続を安定化させる。この後にユーザはステップＳ３０へ進む。

【0048】

ステップＳ３０において、ユーザはスペクトルアナライザなどによって回路基板の出力に含まれる電磁ノイズが減少したか否かを判定する。電磁ノイズがユーザの所望値よりも減少した場合、ノイズ検証は終了となる。これとは異なり電磁ノイズが所望値よりも減少していない場合、ユーザはステップＳ４０へ進む。

【0049】

ステップＳ４０において、ユーザは検査装置１０と回路基板との接触位置を変更する。すなわちユーザはノイズ検証部位を変更する。この後にユーザはステップＳ５０へ進む。

【0050】

ステップＳ５０において、ユーザはスペクトルアナライザなどによって回路基板の出力に含まれる電磁ノイズが減少したか否かを判定する。電磁ノイズが所望値よりも減少した場合、ノイズ検証は終了となる。これとは異なり電磁ノイズが所望値よりも減少していない場合、ユーザはステップＳ１０へと戻る。そしてユーザは再度ステップＳ１０〜ステップＳ５０の処理を繰り返す。以上に示したように、回路基板の設計レイアウトを変更せずに、検査装置１０や検査装置１０の接触位置を変更することで電磁ノイズの減少を検証する。

【0051】

（作用効果）
次に、本実施形態にかかる検査装置１０の作用効果を説明する。上記したように検査装置１０は本体部３０とプローブ５０を有する。本体部３０は、第１把持部３１、第２把持部３２、および、連結部４１を有する。これら第１把持部３１、第２把持部３２、および、連結部４１は同一の弾性体からなる。第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部が連結部４１によって一体的に連結されている。これにより本体部３０を弾性変形させることで、第１把持部３１と第２把持部３２の先端同士の離間間隔が変動する。

【0052】

第１把持部３１と第２把持部３２それぞれにプローブ５０が設けられている。したがって本体部３０の弾性変形により、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の相対位置を変動させることができる。

【0053】

以上により、回路基板の形状や配置、また測定対象物として回路基板そのものが変更されたとしても、それに応じて第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の相対位置を変動する。これにより検査装置１０と回路基板との電気的な接続が困難となることが抑制される。

【0054】

検査装置１０は架橋部７０を有する。架橋部７０はノイズ対策素子７４を有し、架橋部７０によって第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０が電気的に接続されている。これによれば回路基板の設計レイアウトを変更しなくとも、回路基板の電磁ノイズの増減を検証することができる。そのためノイズ検証時間を短縮することができる。

【0055】

第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部が連結部４１によって一体的に連結されている。これによれば、例えば複数の把持部の中央部が連結部によって連結される構成とは異なり、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれと連結部４１との連結部位が、ユーザによる第１把持部３１と第２把持部３２の操作の妨げになることが抑制される。

【0056】

プローブ５０の電気的接点５１は接触端子５３とスプリング５４を有し、接触端子５３の延長方向に沿う圧力によってスプリング５４が弾性変形する。これによれば、スプリング５４の復元力によって接触端子５３と回路基板との接触状態が確保される。この結果、電気的接点５１と回路基板との電気的な接続が安定化される。

【0057】

架橋部７０は、可撓基板７１、第１配線基板７２、第２配線基板７３、および、ノイズ対策素子７４を有する。可撓基板７１は可撓性を有し、その中央は湾曲している。この可撓基板７１の両端に、可撓基板７１よりも硬い第１配線基板７２と第２配線基板７３が連結されている。そして第１配線基板７２にノイズ対策素子７４が搭載されている。第１配線基板７２は第１把持部３１に固定され、第２配線基板７３は第２把持部３２に固定されている。

【0058】

これによれば、第１把持部３１と第２把持部３２の相対位置の変動によって、ノイズ対策素子７４とプローブ５０との接続が不安定になることが抑制される。

【0059】

またノイズ対策素子７４が可撓基板７１に搭載される構成と比べて、第１把持部３１と第２把持部３２の相対位置の変動による可撓基板７１の変形によって、ノイズ対策素子７４と架橋部７０との接続が不安定になることが抑制される。

【0060】

位置規定部９０により第１把持部３１と第２把持部３２との最大離間距離が規定されている。これにより、架橋部７０の可撓基板７１の伸びが規定されている。そのため第１把持部３１と第２把持部３２との離間により架橋部７０に損傷が生じることが抑制される。

【0061】

架橋部７０の有する第１配線基板７２と第２配線基板７３の一端の端面同士の接触により第１把持部３１と第２把持部３２との最小離間距離が規定されている。これにより、架橋部７０の可撓基板７１の縮みが規定されている。そのため第１把持部３１と第２把持部３２との接近により架橋部７０に損傷が生じることが抑制される。

【0062】

ノイズ対策素子７４の一部は第１把持部３１の横穴３０ｄ内に設けられている。これによれば、ノイズ対策素子７４に外部から力が印加されることが抑制される。そのためノイズ対策素子７４と架橋部７０との接続が不安定になることが抑制される。なおもちろんではあるが、ノイズ対策素子７４の全てが横穴３０ｄ内に設けられた構成を採用することもできる。

【0063】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を図９および図１０に基づいて説明する。以下に示す各実施形態にかかる検査装置は上記した実施形態によるものと共通点が多い。そのため以下においては共通部分の説明を省略し、異なる部分を重点的に説明する。また以下においては上記した実施形態で示した要素と同一の要素には同一の符号を付与する。

【0064】

第１実施形態では、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部が連結部４１によって一体的に連結された例を示した。これに対して本実施形態では、別体の第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部が、連結ネジ４２によって回転可能に連結された構成となっている点を特徴とする。連結ネジ４２が第１連結部に相当する。

【0065】

図９に第１把持部３１を示す。第２把持部３２は第１把持部３１と構成が同等なのでその記載を省略している。第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの固定端部３０ｂの一端には、ｙ方向に沿う連結孔３０ｆが形成されている。この連結孔３０ｆに連結ネジ４２が通される。これにより図１０に示すように第１把持部３１と第２把持部３２とが、連結ネジ４２を中心として回転可能になっている。なお図１０では架橋部７０と位置規定部９０の図示を省略している。

【0066】

これによれば第１把持部３１と第２把持部３２を回転させることで、第１把持部３１と第２把持部３２のプローブ５０の相対位置を変動させることができる。

【0067】

なお本実施形態にかかる検査装置１０には、第１実施形態に記載の検査装置１０と同等の構成要素が含まれている。そのため同等の作用効果を奏することは言うまでもない。以下に示す各実施形態でも同様である。したがってその記載を省略する。

【0068】

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態を図１１および図１２に基づいて説明する。

【0069】

第２実施形態では、別体の第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部が、連結ネジ４２によって回転可能に連結された例を示した。これに対して本実施形態では第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部に形成されたボールジョイント４３によって、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部が回転可能に連結された構成となっている点を特徴とする。ボールジョイント４３が第１連結部に相当する。

【0070】

ボールジョイント４３は、球体部４４と、球殻部４５と、を有する。球体部４４はその名の通り球体形状を成している。球殻部４５はその名の通り球殻形状を成している。球体部４４は第１把持部３１の固定端部３０ｂの一端に形成されている。球殻部４５は第２把持部３２の固定端部３０ｂの一端に形成されている。

【0071】

球殻部４５には、その内部に球体部４４を挿入するための切欠きが形成されている。この切欠きを介して球殻部４５の内部に球体部４４が挿入される。これにより第１把持部３１と第２把持部３２とが連結される。

【0072】

なお、球殻部４５の内径は球体部４４の径と同等、若しくは、若干長い構成となっている。球殻部４５の内径は、球体部４４が球殻部４５に対して摺動可能となるように設定される。これにより図１２に示すように第１把持部３１と第２把持部３２とが、ボールジョイント４３を中心として回転可能になっている。この結果、第１把持部３１と第２把持部３２のプローブ５０の相対位置を変動可能となっている。なお図１２では架橋部７０と位置規定部９０の図示を省略している。もちろんではあるが、検査装置１０は位置規定部９０を有していなくともよい。

【0073】

また、球体部４４から球殻部４５を抜くことができる。すなわち、第１把持部３１は第２把持部３２の球殻部４５に対して着脱可能である。逆に言えば、第２把持部３２は第１把持部３１の球体部４４に対して着脱可能である。これによれば、第１把持部３１、若しくは、第２把持部３２にて故障が生じたとしても、故障した把持部を交換することができる。

【0074】

なお、検査装置１０が第１把持部３１と第２把持部３２の他に、第３把持部３３を有する構成の場合においても、第３把持部３３を第１把持部３１と第２把持部３２それぞれに対して回転可能に連結することができる。

【0075】

説明の都合上、第２把持部３２に連結された球殻部４５を第１球殻部４５とすると、ボールジョイント４３は、球体部４４と、第１球殻部４５と、第２球殻部４６と、を有する。図１３に示すように第２球殻部４６は第３把持部３３の固定端部３０ｂの一端に形成されている。第２球殻部４６の内径は、第１球殻部４５が第２球殻部４６に対して摺動可能となるように設定される。第２球殻部４６には、その内部に第１球殻部４５を挿入するための切欠きが形成されている。この切欠きを介して第２球殻部４６の内部に球体部４４とともに第１球殻部４５が挿入される。これにより第１把持部３１、第２把持部３２、および、第３把持部３３が連結される。

【0076】

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態を図１４〜図１７に基づいて説明する。図１４では位置規定部９０の図示を省略している。

【0077】

これまでの各実施形態では、検査装置１０が架橋部７０を有する例を示した。これに対して本実施形態では検査装置１０が挟持部１１０を有する点を特徴とする。挟持部１１０が第２連結部に相当する。

【0078】

図１４に示すように挟持部１１０はノイズ対策素子７４のリード７７を挟持して本体部３０に固定する機能を果たす。挟持部１１０は第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの自由端部３０ａに設けられている。より詳しく言えば、挟持部１１０は自由端部３０ａの横穴３０ｄに設けられている。

【0079】

図１５に示すように挟持部１１０は第１挟持部１１１と第２挟持部１１２を有する。第１挟持部１１１と第２挟持部１１２それぞれは、板部１１３、バネ１１４、押圧部１１５を有する。板部１１３とバネ１１４それぞれは横穴３０ｄに設けられている。押圧部１１５の一部が横穴３０ｄに設けられている。板部１１３は横穴３０ｄの中心側に位置している。この板部１１３と押圧部１１５とはバネ１１４を介して連結されている。バネ１１４はｙ方向に弾性変形可能となっている。また板部１１３は導電性の材料から成り、導電部５２と電気的に接続されている。

【0080】

横穴３０ｄの上面と下面との間の左面と右面それぞれには押圧部１１５の一部を外に露出させるための窓が形成されている。第１挟持部１１１の押圧部１１５は左面の窓に設けられている。第２挟持部１１２の押圧部１１５は右面の窓に設けられている。そして第１挟持部１１１の板部１１３と第２挟持部１１２の板部１１３とはｘ方向に並ぶ態様で、横穴３０ｄの中心側に設けられている。図１５〜図１７では第１挟持部１１１が紙面上方に、第２挟持部１１２が紙面下方に位置することを明示するために、第２挟持部１１２における第１挟持部１１１で隠れた部位を破線で示している。

【0081】

第１挟持部１１１と第２挟持部１１２それぞれの板部１１３にはｘ方向に貫通する挟持孔１１３ａが形成されている。挟持孔１１３ａはリード７７よりも径が長くなっている。この第１挟持部１１１と第２挟持部１１２それぞれの挟持孔１１３ａにノイズ対策素子７４のリード７７が挿入される。

【0082】

図１５に示すようにリード７７が挟持孔１１３ａに挿入される前の状態において、第１挟持部１１１と第２挟持部１１２それぞれの挟持孔１１３ａはｘ方向で互いに重なっている。より詳しく言えば、第１挟持部１１１と第２挟持部１１２それぞれの挟持孔１１３ａの横穴３０ｄの中心側が、ｘ方向で互いに重なっている。この２つの挟持孔１１３ａの重なりにより、ｘ方向に貫通する貫通孔が構成されている。この貫通孔のｙ方向の間隔は、リード７７の径よりも短くなっている。

【0083】

図１６に示すように２つの挟持孔１１３ａによって構成される貫通孔にリード７７が挿入される。すると板部１１３は、貫通孔が広がるようにバネ１１４の復元力に抗して移動する。詳しく言えば、第１挟持部１１１の板部１１３は実線矢印で示すようにｙ方向に沿って右面側に移動する。第２挟持部１１２の板部１１３は破線矢印で示すようにｙ方向に沿って左面側に移動する。これにより、第１挟持部１１１のバネ１１４には左面側に移動しようとする復元力が生じる。第２挟持部１１２のバネ１１４には右面側に移動しようとする復元力が生じる。この互いに逆向きの復元力によって、リード７７は２つの板部１１３それぞれの挟持孔１１３ａを形作る環状の端面によって挟持される。これによりリード７７と板部１１３とが機械的および電気的に接続される。この結果、リード７７と板部１１３とを介してノイズ対策素子７４とプローブ５０とが電気的に接続される。

【0084】

図１７に白抜き矢印で示すように、第１挟持部１１１と第２挟持部１１２それぞれの押圧部１１５における横穴３０ｄの外に飛び出している部位を横穴３０ｄの中心へと向かって押圧する。そうすることで第１挟持部１１１の板部１１３を実線矢印で示すようにｙ方向に沿って右面側に移動させる。第２挟持部１１２の板部１１３を破線矢印で示すようにｙ方向に沿って左面側に移動させる。これにより貫通孔を広げてリード７７と挟持孔１１３ａを形作る環状の端面との接触を解除する。この状態でリード７７を挟持孔１１３ａから抜く。これにより挟持部１１０によるリード７７の挟持が解除される。

【0085】

なお当然ではあるが、図１７に示すように押圧部１１５を押圧して貫通孔を広げた状態で、貫通孔にリード７７を挿入する。その後に押圧部１１５への押圧を解除する。これによってリード７７を挟持部１１０に挟持してもよい。

【0086】

上記したように、リード７７を有するノイズ対策素子７４であれば、検査装置１０に対して着脱可能である。したがって、ノイズ対策素子７４として例えば容量の異なるコンデンサを用意しておき、そのコンデンサを適宜選択して検査装置１０に接続することで、ノイズ検証を行うことができる。

【0087】

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。

【0088】

（第１の変形例）
各実施形態では、自由端部３０ａと固定端部３０ｂが一体物である例を示した。しかしながら図１８に示すように自由端部３０ａと固定端部３０ｂとは別体でもよい。これによれば、自由端部３０ａ、若しくは、固定端部３０ｂにて故障が生じたとしても、故障した自由端部３０ａ、若しくは、固定端部３０ｂを交換することができる。

【0089】

自由端部３０ａと固定端部３０ｂとの連結構造としては、例えば図１８に示す構成を採用することもできる。図１８では、自由端部３０ａの一端と固定端部３０ｂの他端とにネジ溝３０ｇが形成されている。自由端部３０ａの一端は凸型のネジ形状を成している。固定端部３０ｂの他端は凹型のネジ形状を成している。ネジ溝３０ｇは自由端部３０ａの軸方向（延設方向）周りに形成されている。

【0090】

以上により、自由端部３０ａの一端を固定端部３０ｂの他端にネジ締結することで、自由端部３０ａと固定端部３０ｂとを固定することができる。逆に、ネジ締結を解除することで、自由端部３０ａと固定端部３０ｂとの固定を解除することができる。さらに言えば、自由端部３０ａと固定端部３０ｂとのネジ締め具合を調整することで、自由端部３０ａを固定端部３０ｂに対して延設方向に移動させることができる。これによれば、自由端部３０ａに設けられるプローブ５０と回路基板との接続位置を調整することができる。

【0091】

なお図示しないが、例えば、自由端部３０ａの一端と固定端部３０ｂの他端それぞれに、自由端部３０ａの軸方向に直交する環状の複数の溝を形成してもよい。すなわち、図１８で言えば、ネジ溝のようならせん形状ではなく、円環状の溝を自由端部３０ａの一端と固定端部３０ｂの他端それぞれに形成してもよい。これによれば、自由端部３０ａを固定端部３０ｂに対して延設方向に押し込んだり、引っ張ったりして自由端部３０ａと固定端部３０ｂの互いに嵌合する溝の位置を調整することで、自由端部３０ａを固定端部３０ｂに対して延設方向に移動することができる。

【0092】

（第２の変形例）
第３実施形態では、球体部４４が第１把持部３１の固定端部３０ｂの一端に形成され、球殻部４５は第２把持部３２の固定端部３０ｂの一端に形成された例を示した。しかしながら図１８に示すように、球体部４４が第１把持部３１の固定端部３０ｂの一端に連結された構成を採用することもできる。図示しないが、球殻部４５が第２把持部３２の固定端部３０ｂの一端に連結された構成を採用することもできる。これによれば、固定端部３０ｂ、若しくは、ボールジョイント４３にて故障が生じたとしても、故障した固定端部３０ｂ、若しくは、ボールジョイント４３を交換することができる。なお、図１８に示す変形例では、固定端部３０ｂの一端と球体部４４の支持部４４ａそれぞれに互いを嵌合して連結するための鈎部４７が形成されている。

【0093】

（第３の変形例）
例えば第１実施形態では、ノイズ対策素子７４がはんだを介して第１配線基板７２の第２配線パターン７６と電気的に接続され、第１配線基板７２に固定された例を示した。しかしながら、例えば図１９に破線で囲って模式的に示すように、第１配線基板７２に、第２配線パターン７６とともにノイズ対策素子７４を形成してもよい。また図示しないが、ノイズ対策素子７４は第１配線パターン７５とともに可撓基板７１に形成されてもよい。

【0094】

（第４の変形例）
例えば第１実施形態では、架橋部７０によって第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０を電気的に接続する例を示した。しかしながら例えば図２０に示すように第１実施形態に記載の連結部４１の端面にノイズ対策素子７４が固定される構成を採用することもできる。この場合、固定端部３０ｂの内部には、プローブ５０と電気的に接続するための配線を設ける。そしてその配線を連結部４１の端面から外部に露出させる。この配線とノイズ対策素子７４とをはんだ１３０を介して電気的に接続する。またはんだ１３０によってノイズ対策素子７４を連結部４１に固定する。このはんだ１３０が第２連結部に相当する。

【0095】

これによれば第１把持部３１と第２把持部３２の相対位置の変化範囲が、ノイズ対策素子７４とプローブ５０との接続によって規制されることが抑制される。また、第１把持部３１と第２把持部３２の相対位置が変動したとしても、ノイズ対策素子７４とプローブ５０との電気的な接続が不安定になることが抑制される。

【0096】

なお、この変形例の場合、配線長が長くなりがちである。そのために検査装置１０のインピーダンスの増大が懸念される。したがってこの変形例の場合、検査装置１０の大きさとしては、片手で操作できる程度を採用することはできるが、より好適には指で操作できる程度を採用するとよい。

【0097】

（その他の変形例）
各実施形態では、自由端部３０ａと固定端部３０ｂとが交差して連結された例を示した。しかしながら図２１に示すように自由端部３０ａと固定端部３０ｂとが連続して連結された構成を採用することもできる。

【0098】

カードエッジコネクタなどの多数の端子が並列に並んだ電子デバイスの場合、複数の端子の離間距離が短いため、任意の２つの端子と検査装置１０との電気的な接続を保持することが困難と成りやすい。そこで、図２２に示すようにプローブ５０の接触端子５３に接続される導電性の端子部５６を検査装置１０は有してもよい。この端子部５６は接触端子５３と電気的に接続されるとともに接触端子５３を固定するための固定孔の形成された本体部５６ａを有する。また端子部５６は複数の新たな接触端子としての機能を果たす、本体部５６ａに連結された複数の端子接点５６ｂを有する。この端子接点５６ｂの太さは、図２２および図２３に示すように接触端子５３よりも太くとも細くともよい。これによれば１つの接触端子５３によって複数の端子間を電気的に接続することができる。

【0099】

各実施形態ではノイズ対策素子７４の具体例としてコンデンサを示した。当然ながらノイズ対策素子７４としては上記例に限定されず、一般的な受動素子を採用することができる。例えば、ノイズ対策素子７４としては抵抗、インダクタ、コモンモードチョークコイルなどを採用することもできる。

【0100】

各実施形態では検査装置１０が２つの把持部を有する例を示した。しかしながら、検査装置１０は３つ以上の把持部を有してもよい。このように３つ以上の把持部を有する構成は、特に第２実施形態や第３実施形態の構成で有用である。

【0101】

例えば第１実施形態では第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの端部が連結部４１によって連結された例を示した。しかしながら第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの中央部が連結部４１によって連結された構成を採用することもできる。なおもちろんではあるが、連結部４１ではなく、例えば第２実施形態に示した連結ネジ４２によって第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの中央部が連結された構成を採用することもできる。

【符号の説明】

【0102】

１０…検査装置、３０ａ…自由端部、３０ｂ…固定端部、３０ｄ…横穴、３１…第１把持部、３２…第２把持部、３３…第３把持部、４１…連結部、４２…連結ネジ、４３…ボールジョイント、５１…電気的接点、５２…導電部、５３…接触端子、５４…スプリング、５６…端子部、５６ｂ…端子接点、７０…架橋部、７１…可撓基板、７２…第１配線基板、７３…第２配線基板、７４…ノイズ対策素子、９０…位置規定部、１１０…挟持部、１３０…はんだ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】