特許6746052真空アーク蒸着成膜装置

発明の名称　真空アーク蒸着成膜装置

出願人　株式会社北熱　（識別番号 503221573）

　　　　特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6746052

公報発行日　2020年8月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6746052

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