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特許6750040基板処理装置及び基板処理方法
発明の名称 基板処理装置及び基板処理方法
出願人 芝浦メカトロニクス株式会社 （識別番号 2428）
特許公開件数ランキング 346 位（28件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 398 位（20件）（共同出願を含む）
出願人 中興化成工業株式会社 （識別番号 211156）
特許公開件数ランキング 2018 位（3件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1389 位（4件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6750040
公報発行日 2020年9月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6750040
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