【図1a】一例示的な清掃方法を示すフローチャートである。

【図1b】一例示的な清掃方法を示すフローチャートである。

【図1c】一例示的な清掃方法を示すフローチャートである。

【図2】一例示的な清掃方法を示すフローチャートである。

【図3】一例示的な清掃方法を示すフローチャートである。

【図4a】一例示的な清掃装置を示す構成模式図である。

【図4b】一例示的な清掃装置を示す構成模式図である。

【図4c】一例示的な清掃装置を示す構成模式図である。

【図4d】一例示的な清掃装置を示す構成模式図である。

【図4e】一例示的な清掃装置を示す構成模式図である。

【図4f】一例示的な清掃装置を示す構成模式図である。

【図4g】一例示的な清掃装置を示す構成模式図である。

【図5】一例示的な清掃装置を示す構成ブロック図である。