特許6758112サセプタ、基板処理装置

発明の名称　サセプタ、基板処理装置

出願人　エーエスエム　アイピー　ホールディング　ビー．ブイ．　（識別番号 512144771）

　　　　特許公開件数ランキング 14110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11941 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6758112

公報発行日　2020年9月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6758112

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