特許6759790ゲートバルブ、真空処理装置及び真空処理装置の制御方法

発明の名称　ゲートバルブ、真空処理装置及び真空処理装置の制御方法

出願人　日新電機株式会社　（識別番号 3942）

　　　　特許公開件数ランキング 291 位（109件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 386 位（69件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6759790

公報発行日　2020年9月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6759790

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