特許第6761028号(P6761028)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6761028コンフォーマルな金属又はメタロイド窒化ケイ素膜を堆積するための方法及びその結果として得られる膜
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  • 特許6761028-コンフォーマルな金属又はメタロイド窒化ケイ素膜を堆積するための方法及びその結果として得られる膜 図000010
  • 特許6761028-コンフォーマルな金属又はメタロイド窒化ケイ素膜を堆積するための方法及びその結果として得られる膜 図000011
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