発明の名称 エッチング液およびエッチング液により加工されたフォトマスク
出願人 関東化学株式会社 (識別番号 591045677)
特許公開件数ランキング 13975 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2323 位(2件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6761255
公報発行日 2020年9月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6761255
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